物品搬运设备的制作方法
本发明涉及物品搬运设备，该物品搬运设备的物品搬运车的车轮在设置于行驶轨道的上表面的行驶面上滚动而行驶。
背景技术：
利用有轨道的物品搬运车的各种物品搬运设备被实用化。在有轨道的物品搬运设备中，轨道与物品搬运车的车轮接触，从而产生尘埃，存在损害物品搬运设备的清洁度的情况。若定期地利用人工对其进行清扫，则需要劳力以及时间。在日本特开2001-128303号公报中，公开有具备去除这样的尘埃的功能的物品搬运设备（以下，在背景技术中括弧内的附图标记是参照的文件的附图标记。）。在该物品搬运设备中，台车（12）的行驶车轮（25）与截面为u字状的轨道（2）的底部接触，引导辊（26）与u字状的轨道（2）的内侧侧面接触，台车（12）沿着轨道（2）行驶。在轨道（2）的底部设置有孔，在轨道（2）的底部的外侧设置有过滤器风扇单元（10）。对于由于台车（12）的行驶而产生的尘埃，通过过滤器风扇单元（10）从底部的孔吸引空气而去除（专利文件1：图1，[0011]等）。
在如物品搬运车以u字状的轨道的底部为行驶面而行驶那样的情况下，由于行驶而产生的尘埃堆积在轨道的内部，所以能够经由设置在底部的孔吸出尘埃。但是，在物品搬运设备中，还有物品搬运车以轨道的上表面为行驶面而行驶的方式的物品搬运设备。在该情况下，由于行驶而产生的尘埃不是堆积在比较封闭的空间（即使一部分敞开周围也被包围的空间，例如，u字状的轨道的内部等。）中，所以自动地回收尘埃变得更加困难。因而，要求即使在行驶面设置在敞开空间的情况下，也适当地去除由于物品搬运车的行驶而产生的尘埃。
技术实现要素：
鉴于上述背景，期望提供一种技术，该技术在物品搬运车的车轮在设置于行驶轨道的上表面的行驶面上滚动而行驶的情况下，适当地去除由于行驶而产生的尘埃。
鉴于上述内容的物品搬运设备沿着物品搬运车的行驶路径配置行驶轨道，所述物品搬运车的车轮在设置于所述行驶轨道的上表面的行驶面上滚动，从而所述物品搬运车行驶，作为1个方案，
所述行驶轨道具有：周壁，其包括形成所述行驶面的面；以及内部空间，其形成于被该周壁包围的内侧，沿着所述行驶路径延伸，
所述行驶面具有贯通孔，该贯通孔贯通所述周壁，将所述内部空间与外部空间连通，
该物品搬运设备还具备吸引装置，该吸引装置与所述内部空间连通，吸引所述内部空间的空气，
所述内部空间除了所述吸引装置的连接部和所述贯通孔之外被封闭。
根据该结构，由于车轮向存在于敞开的空间中的行驶轨道的上表面（行驶面）的接触而产生的尘埃不易飞散到敞开的空间。也就是说，与中空构造的行驶轨道的内部空间连通的贯通孔在行驶面上开口，内部空间的空气被吸引装置吸引从而使负压施加于贯通孔。因而，在行驶面上产生的尘埃穿过贯通孔而被向内部空间吸入，不易飞散到外部空间。另外，内部空间除了与吸引装置的连接部和贯通孔之外被封闭，所以能够在贯通孔处产生足够的负压。这样，根据本结构，在物品搬运车的车轮在设置于行驶轨道的上表面的行驶面上滚动而行驶的情况下，能够适当地去除由于行驶而产生的尘埃。
从关于参照附图说明的实施方式的以下记载，物品搬运设备的进一步的特征和优点变得清楚。
附图说明
图1是物品搬运设备的俯视图。
图2是物品搬运车的后视图。
图3是行驶轨道对的立体图。
图4是安装有风扇过滤器单元的位置处的行驶轨道的剖视图。
图5是轨道部件的结合部的透视立体图。
具体实施方式
以下，基于附图，说明物品搬运设备的实施方式。如图1以及图2所示，物品搬运设备100具备：行驶轨道2，其沿着行驶路径1设置；以及物品搬运车3，其在行驶轨道2上沿着行驶路径1行驶。此外，在本实施方式中，物品搬运车3将收纳半导体基板的foup（frontopeningunifiedpod，前开式统集盒）作为物品f搬运。
行驶路径1具备一个环状的主路径4、多个环状的副路径5、以及将主路径4与副路径5连接的多个连接路径6。副路径5是比主路径4小的环状，是经由多个物品处理部p的路径。物品搬运车3在主路径4以及多个副路径5上，都沿相同的环绕方向（在图1中如箭头所示地顺时针旋转）行驶。行驶路径1具有设定为直线状的直线部分1a和设定为曲线状的曲线部分1b。在连接路径6中，存在从主路径4分支到副路径5的分支用的连接路径6、和从副路径5合流到主路径4的合流用的连接路径6。
在以下的说明中，将在沿上下方向观察时相对于物品搬运车3的前后方向（行驶的方向）正交的方向称为车体横宽方向来进行说明。图2示出了从后方观察物品搬运车3时的状态（后视）。当在车体横宽方向上表示左右方向来进行说明的情况下，在后视中特定左右。另外，对于行驶路径1（行驶轨道2），将沿着行驶路径1的方向称为路径长度方向（或者行驶轨道2的延伸方向），将在沿上下方向观察时相对于路径长度方向正交的方向（在水平面上与行驶路径1正交的方向）称为宽度方向w来进行说明。例如，在物品搬运车3在行驶路径1的直线部分1a行驶时，行驶方向与路径长度方向成为相同的方向，车体横宽方向与宽度方向w成为相同的方向。此外，如后所述，在水平面上两根行驶轨道2平行地配置，构成行驶轨道对2p。也就是说，行驶轨道对2p在宽度方向w上按照一定间隔相互平行地配置（参照图3等）。将在宽度方向w上行驶轨道2对置的各个侧称为宽度方向内侧w1，将在宽度方向w上与宽度方向内侧w1相反一侧的方向分别称为宽度方向外侧w2来进行说明。
如图2所示，物品搬运车3具备：行驶部9，其通过车轮15在设置于行驶轨道2的上表面的行驶面21上滚动而行驶，该行驶轨道2从顶板c被悬吊支承；搬运车本体10，其位于行驶轨道2的下方，被悬吊支承于行驶部9；以及受电部12，其从沿着行驶路径1配设的供电线11以非接触的方式接受驱动用电力。
在搬运车本体10上配备有支承部13，该支承部13被配备成在搬运车本体10中升降，以悬吊状态支承物品f。此外，也可以以在前后方向上排列的状态配备有多个行驶部9（例如，前方侧的第1行驶部和后方侧的第2行驶部这两个行驶部），但在本实施方式中，不对这些进行区分，而仅称为行驶部9。
在行驶部9（各个行驶部9）中，配备有由未图示的马达驱动的左右一对车轮15（车轮对15p）。该车轮对15p配备于行驶部9，以便在构成行驶轨道2的左右一对行驶轨道2（行驶轨道对2p）各自的上表面（行驶面21）上行驶。另外，在行驶部9中，配备有绕沿着车体上下方向的轴心（绕上下轴心）自由旋转的左右一对导引轮16（导引轮对16p）。该左右一对导引轮16设置于行驶部9，以便与各个行驶轨道2中的内侧面27（参照图4等）抵接。
在行驶部9（各个行驶部9）中，以从车轮对15p的下端向下方突出的状态配备有连结轴17。如图2所示，行驶部9的连结轴17和搬运车本体10能够绕沿着上下方向的纵轴心相对旋转地连结。例如，在行驶部9具有前方侧的第1行驶部和后方侧的第2行驶部这两个行驶部的情况下，在第1行驶部以及第2行驶部中，分别设置有连结轴17。第1行驶部以及第2行驶部分别以与搬运车本体10能够相对旋转的状态连结。也就是说，第1行驶部以及第2行驶部相对于搬运车本体10能够绕纵轴心摆动。由此，即使物品搬运车3构成为具备多个行驶部9，物品搬运车3也能够沿着行驶路径1的曲线部分1b行驶。就物品搬运车3而言，导引轮16与行驶轨道对2p接触而被导引，从而行驶部9一边维持沿着行驶路径1的姿势，一边沿着行驶路径1行驶。
如图2所示，在行驶部9中，在比车轮15靠上方侧部位，设置有绕上下轴心（沿着车体上下宽度方向的轴心）旋转的导引辅助轮19。优选的是，在一个行驶部9中，夹着车轮15的旋转轴地设置有前后一对导引辅助轮19。在统称前后一对导引辅助轮19时，称为导引辅助轮对19p。导引辅助轮对19p利用马达一体地在车体横宽方向上移动。
行驶部9构成为通过使导引辅助轮对19p在车体横宽方向上移动，而使导引辅助轮19的位置移动到右导引位置和左导引位置。如图2所示，右导引位置是导引辅助轮对19p位于行驶部9的比车体横宽方向的中央靠右侧的位置并相对于导引轨道41从右侧抵接的位置。左导引位置是导引辅助轮对19p位于行驶部9的比车体横宽方向的中央靠左侧的位置并相对于导引轨道41从左侧抵接的位置。
如图2以及图3所示，在本实施方式中，在水平面上两根行驶轨道2平行地配置，构成行驶轨道对2p。也就是说，行驶轨道对2p在宽度方向w上按照一定间隔相互平行地配置。在各个行驶轨道2上，沿着行驶路径1（沿着行驶轨道2的延伸方向）形成有供支承部件43以及悬吊部件44安装的安装槽22。如图2所示，在安装槽22上，安装有悬吊部件44的一方的端部。悬吊部件44的另一方的端部固定于顶板c。构成行驶轨道对2p的两个行驶轨道2由悬吊部件44悬吊支承于顶板。
另外，如图2所示，在沿着行驶路径1（沿着行驶轨道2的延伸方向）设置有多个的悬吊部件44之间，构成行驶轨道对2p的两个行驶轨道2由支承部件43连结，该支承部件43在沿着路径长度方向的方向上观察时（在宽度方向截面上）形成为倒置的u字状。此外，上述导引轨道41连结于支承部件43，由支承部件43支承。另外，行驶轨道2具有：周壁24，其包括形成行驶面21的面；以及内部空间28，其形成在被周壁24包围的内侧，沿着行驶路径1延伸。
如图3以及图4所示，行驶面21具有贯通孔30，该贯通孔30贯通周壁24，将内部空间28与外部空间连通。也就是说，在行驶面21上形成有贯通孔30的开口部31（参照图4）。另外，在行驶轨道2上安装有吸引装置50，该吸引装置50与内部空间28连通，吸引内部空间28的空气。如图1所示，在本实施方式中，行驶路径1为环状，所以内部空间28除了吸引装置50的连接部（参照图4的吸引孔29）和贯通孔30之外被封闭。在行驶路径1不是环状而具有端部的情况下封堵该端部，从而能够使内部空间28成为封闭空间。
如上所述，与中空构造的行驶轨道2的内部空间28连通的贯通孔30在行驶面21上开口。内部空间28的空气被吸引装置50吸引，从而使负压施加于贯通孔30。如上所述，内部空间28除了与吸引装置50的连接部（吸引孔29）和贯通孔30之外被封闭，所以能够在贯通孔30处产生足够的负压。因而，如图4所示，在行驶面21上产生的尘埃d穿过贯通孔30而被向内部空间28吸入，从而不易飞散到外部空间。
在本实施方式中，吸引装置50是将吸引用的风扇51与捕获尘埃d的过滤器53一体化而成的风扇过滤器单元。将吸引装置50设成风扇过滤器单元，从而能够在贯通孔30处产生负压，并且能够利用过滤器53捕获已吸引的尘埃d，能够适当地去除尘埃d。另外，风扇51与过滤器53被一体化，从而吸引装置50向物品搬运设备100的设置、维护时的更换等也容易。
如图4所示，吸引装置50设置于周壁24中的、不形成行驶面21的壁面（在本实施方式中是外侧面23）。在该壁面（外侧面23）上形成有吸引孔29，该吸引孔29将吸引装置50与内部空间28连通。贯通孔30在行驶面21上开口，在行驶面21以外的面上设置吸引孔29，从而能够如图4中虚线所示，使经由内部空间28在贯通孔30处产生负压的情况下的空气的流动变得顺畅。另外，车轮15在行驶面21上滚动，所以为了在行驶面21上设置吸引孔29，有时需要增大行驶轨道2的宽度，或者在行驶范围外（例如，后述的行驶区域r1外）的场所设置吸引孔29。但是，通过在不形成行驶面21的壁面（外侧面23、下表面25、内侧面27等）上设置吸引孔29，从而不会受到这样的制约。
在本实施方式中，作为吸引装置50的风扇过滤器单元设置于周壁24的宽度方向外侧w2的外侧面23（侧壁面）。因而，即使在行驶路径1上设置有吸引装置50的位置处存在物品搬运车3，作业者也能够容易地进行吸引装置50的点检、过滤器53的更换等维护。
然而，行驶路径1为长距离，在多数情况下，行驶轨道2是在沿着行驶路径1的方向上结合多个轨道部件2a而形成的（参照图5）。通过结合多个轨道部件2a，从而内部空间28也被连接，成为一个连续的内部空间28。但是，在沿着行驶路径1邻接的两个轨道部件2a结合的结合部20（参照图5）处，内部空间28的气密性有可能被损害。
因此，在本实施方式中，如图5所示，在结合部20处配备有密封部件2b，该密封部件2b对内部空间28与外部空间的连通进行密封。此外，轨道部件2a在为金属的情况下，有可能根据温度在沿着行驶路径1的方向上伸缩。在轨道部件2a收缩的情况下，沿着行驶路径1邻接的两个轨道部件2a空出间隔，所以密封部件2b的沿着行驶路径1的方向的长度l1被设定成比由于轨道部件2a收缩而产生的间隙l2长。
另外，在本实施方式中，行驶面21上的贯通孔30的开口部31的直径
进而，在本实施方式中，如图3以及图4所示，车轮15行驶的行驶区域r1在行驶面21上设置在宽度方向内侧w1，贯通孔30的开口部31在行驶面21上设置在比行驶区域r1靠宽度方向外侧w2的位置。即使开口部31的直径
〔其它实施方式〕
以下，对其它实施方式进行说明。此外，以下说明的各实施方式的结构不限于分别单独地应用，只要不产生矛盾，也可以与其它实施方式的结构组合地应用。
（1）在上述内容中，例示出物品搬运车3在由行驶轨道对2p形成的行驶路径1上行驶的方式，该行驶轨道对2p使行驶轨道2成对。但是，也可以是物品搬运车3在由1根行驶轨道2形成的行驶路径1上行驶的、所谓的单轨道形式的物品搬运设备100。
（2）在上述内容中，例示出在轨道部件2a的结合部20处具备密封部件2b从而提高内部空间28的气密性的方式。但是，轨道部件2a也可以由气密性比密封部件2b低的连接部件结合。轨道部件2a一般为长条，利用内部空间28的内壁上的流体阻力，能够得到某种程度的封闭性。能够通过精心设计吸引装置50的吸引力、设置部位、设置数量等，从而在不使用气密性高的密封部件2b的情况下，在贯通孔30处产生适当的负压。
（3）在上述内容中，例示出在行驶面21上车轮15行驶的行驶区域r1设置在宽度方向内侧w1、贯通孔30的开口部31设置在比行驶区域r1靠宽度方向外侧w2的位置的方式。但是，根据物品搬运车3的构造等，并不妨碍行驶区域r1设置在宽度方向外侧w2、贯通孔30的开口部31设置在比行驶区域r1靠宽度方向内侧w1的位置的方式。
（4）在上述内容中，例示出吸引装置50设置在周壁24的宽度方向外侧w2的侧壁面（外侧面23）的方式。但是，根据物品搬运车3的方式，当在行驶轨道2的宽度方向内侧w1具有吸引装置50的设置空间的情况下，也可以将吸引装置50设置在宽度方向内侧w1（例如内侧面27）。另外，当在行驶轨道2的下方具有设置空间的情况下，也可以将吸引装置50设置在下方（例如下表面25）。
（5）在上述内容中，例示出行驶面21上的贯通孔30的开口部31的直径
〔实施方式的概要〕
以下，简单地对在上述内容中说明的物品搬运设备的概要进行说明。
一种物品搬运设备，其沿着物品搬运车的行驶路径配置行驶轨道，所述物品搬运车的车轮在设置于所述行驶轨道的上表面的行驶面上滚动，从而所述物品搬运车行驶，作为1个方案，
所述行驶轨道具有：周壁，其包括形成所述行驶面的面；以及内部空间，其形成于被该周壁包围的内侧，沿着所述行驶路径延伸，
所述行驶面具有贯通孔，该贯通孔贯通所述周壁，将所述内部空间与外部空间连通，
该物品搬运设备还具备吸引装置，该吸引装置与所述内部空间连通，吸引所述内部空间的空气，
所述内部空间除了所述吸引装置的连接部和所述贯通孔之外被封闭。
根据该结构，由于车轮向存在于敞开的空间中的行驶轨道的上表面（行驶面）的接触而产生的尘埃不易飞散到敞开的空间。也就是说，与中空构造的行驶轨道的内部空间连通的贯通孔在行驶面上开口，内部空间的空气被吸引装置吸引从而使负压施加于贯通孔。因而，在行驶面上产生的尘埃穿过贯通孔而被向内部空间吸入，不易飞散到外部空间。另外，内部空间除了与吸引装置的连接部和贯通孔之外被封闭，所以能够在贯通孔处产生足够的负压。这样，根据本结构，在物品搬运车的车轮在设置于行驶轨道的上表面的行驶面上滚动而行驶的情况下，能够适当地去除由于行驶而产生的尘埃。
在此，优选的是，所述吸引装置设置在所述周壁中的、不形成所述行驶面的壁面上，该壁面具有将所述吸引装置与所述内部空间连通的吸引孔。
贯通孔在行驶面上开口，在行驶面以外的面上设置吸引孔，从而能够使经由内部空间在贯通孔处产生负压的情况下的空气的流动变得顺畅。另外，车轮在行驶面上滚动，所以为了在行驶面上设置吸引孔，有时需要增大行驶轨道的宽度，或者在行驶范围外的场所设置吸引孔。但是，通过在不形成行驶面的壁面上设置吸引孔，从而不会受到这样的制约。
在此，优选的是，所述行驶轨道是在沿着所述行驶路径的方向上结合多个轨道部件形成的，在沿着所述行驶路径邻接的两个所述轨道部件结合的结合部处，具备对所述内部空间与所述外部空间的连通进行密封的密封部件。
在多数情况下，行驶轨道是连结多个轨道部件而构成的。若空气在轨道部件结合的结合部处泄漏，则施加于贯通孔的负压变弱，所以吸引尘埃的力变弱。若为了确保吸引力而增强吸引装置的吸引力，则存在吸引装置的成本变高、或者消耗电力变大、或者吸引装置的外形变得大型化的情况。因而，为了保持内部空间的封闭性，优选在结合部处具备密封部件。
在此，优选的是，所述行驶面上的所述贯通孔的开口部的直径比车轮宽度短，该车轮宽度是所述车轮与所述行驶面接触的接触面的旋转轴方向的长度。
贯通孔的直径越大，尘埃越容易进入到内部空间。但是，贯通孔在行驶面上开口，所以若开口部的直径大，则车轮会陷入到贯通孔，噪音和物品搬运车的振动会增加。另外，还有可能由于开口部的边缘与车轮的接触，而容易在边缘产生缺损、磨损，大量地产生尘埃。因而，贯通孔的开口部的直径优选比车轮宽度短。
另外，作为1个方案，优选的是，物品搬运设备具备将两根所述行驶轨道平行地配置的行驶轨道对，将与所述行驶路径正交的方向设为宽度方向，将在所述宽度方向上所述行驶轨道对置的各个侧设为宽度方向内侧，将在所述宽度方向上与所述宽度方向内侧相反一侧的方向分别设为宽度方向外侧，所述车轮行驶的行驶区域在所述行驶面上设置在所述宽度方向内侧，所述贯通孔的开口部在所述行驶面上设置在比所述行驶区域靠所述宽度方向外侧的位置。
若车轮在贯通孔的开口部上滚动，则噪音和物品搬运车的振动有可能增加。另外，还有可能由于开口部的边缘与车轮的接触，而容易在边缘产生缺损、磨损，大量地产生尘埃。因而，优选的是，在行驶面上，车轮行驶的路径（行驶区域）与贯通孔开口的区域分开。这些区域无需完全被分开，但优选靠近某一方向地设置各个区域，以便使重叠的区域变少。即，如本结构那样，若行驶区域设置在宽度方向内侧，贯通孔的开口部设置在比行驶区域靠宽度方向外侧的位置，则两区域不易重叠，是优选的。
所述吸引装置为将吸引用的风扇与捕获尘埃的过滤器一体化而成的风扇过滤器单元，该风扇过滤器单元优选设置在所述周壁的所述宽度方向外侧的侧壁面上。
通过将吸引装置设成风扇过滤器单元，从而能够在贯通孔处产生负压，并且能够利用过滤器捕获已吸引的尘埃，能够适当地去除尘埃。另外，风扇与过滤器被一体化，从而吸引装置向物品搬运设备的设置、维护时的更换等也容易。
附图标记说明
1：行驶路径，
2：行驶轨道，
2p：行驶轨道对，
2a：轨道部件，
2b：密封部件，
3：物品搬运车，
15：车轮，
20：结合部，
21：行驶面，
23：外侧面（宽度方向外侧的侧壁面），
24：周壁，
28：内部空间，
29：吸引孔（连接部），
30：贯通孔，
31：开口部，
50：吸引装置、风扇过滤器单元，
51：风扇，
53：过滤器，
100：物品搬运设备，
h1：车轮宽度，
r1：行驶区域，
w：宽度方向，
w1：宽度方向内侧，
w2：宽度方向外侧，
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