一种用于基板传送的控制装置的制作方法

本实用新型属于液晶治具的技术领域，尤其涉及一种用于基板传送的控制装置。

背景技术：

控制装置在TFT-LCD、AMOLED等新型半导体显示以及半导体行业中有广泛应用，如药液腔室、水洗腔室及传送单元等。

目前控制装置一般设置在入口、出口及有转向需求的位置，随着设备大型化，腔室宽度及对应传送轴长度增加，控制装置设置数量随之增加，而为方便设备传送一般控制装置设置为圆柱或者圆锥形状，因此，为避免影响设备传送等，控制装置一般设置并固定在腔室边缘位置。

目前，现有技术存在以下缺点：

1、一般控制装置设置为圆柱和圆锥形状，与基板接触面积小，由于基板与控制装置接触时的瞬间冲击力度达到100MPa以上，因此极易造成破片。

2、控制装置一般设置并固定在腔室边缘位置，在停止过程中不能起到有效的缓冲作用，一定程度上也导致基板的破裂。

3、随着设备大型化，传送轴长度增加，部分长度可达2.6米以上(如8代线)，因为传送轴的使用环境问题、轴的长度和机构设置等，传送轴中部极易出弯曲变形，容易引起传送轴中部下沉，特别是中部无法加装支撑的传送轴，不能有效与基板接触提供摩擦力，导致位置控制异常，基板在设备内转向位置发生位置停止异常，滚轮与基板无法正常接触，摩擦力降低，无法精确控制基板停止位置。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型的用于基板传送的控制装置，通过增大接触面积，可增加基板在停止位置与限位装置的接触面积，有效降低停止瞬间的接触应力，避免破片形成。

本实用新型提供一种用于基板传送的控制装置，所述控制装置固定在腔室壁上，其包括限位机构、传动机构、弹性机构以及连接限位机构和传动机构的连杆机构；所述传动机构安装在腔室壁上；所述弹性机构的一端连接连杆机构，另一端固定在传动机构或腔室壁上；所述限位机构带动连杆机构在水平方向移动。

优选地，所述限位机构呈正方体、长方体或梯形体。

优选地，所述传动机构包括壳体、设置在壳体内部的滚动轴承和固定轴；所述滚动轴承固定在固定轴上，所述传动机构具有上下两组滚动轴承，所述连杆机构的一端位于两组滚动轴承之间。

优选地，所述控制装置还包括连接传动机构和腔室壁的固定安装组件，所述固定安装组件位于传动机构两侧，所述固定安装组件包括连接固定块和固定螺丝，所述连接固定块与所述壳体一体形成或固定连接。

优选地，所述连杆机构包括横向连杆和竖向连杆，所述竖向连杆的一端连接横向连杆，另一端连接限位机构；所述横向连杆夹设在两组滚动轴承之间。

优选地，所述连杆机构还包括连接横向连杆和竖向连杆的角撑。

优选地，所述弹性机构位于壳体内，所述弹性机构一端固定在横向连杆上，所述弹性机构另一端固定在壳体上。

优选地，所述弹性机构是弹簧、阻尼器、缓冲块或上述的组合。

优选地，所述限位机构还包括柔性层。

优选地，所述控制装置还包括传感机构和报警机构，所述传感机构固定在连杆机构上。

本实用新型的控制装置，通过增加基板停止时基板与限位机构的接触面积，并降低基板从高速传送到停止时的撞击力度，从而在确保基板能够运行到正确位置的情况下，降低相应的撞击力度，减少或者避免破片的发生。同时，还增设了传动机构和弹性机构，可有效降低基板破裂和停止位置异常的状况。

附图说明

图1为本实用新型的控制装置的结构剖面示意图；

图2为本实用新型的控制装置的正视图；

图3为本实用新型的控制装置的俯视图；

图4为本实用新型的控制装置的侧视图。

具体实施方式

如图1-4所示，本实用新型的控制装置固定在腔室壁1上，其包括限位机构、传动机构、弹性机构以及连杆机构。

具体地，限位机构为一限位块9，限位块9的形状是正方体、长方体、梯形体或平行六面体等六面体形状。优选地，限位块9是长方体。限位块9用于控制基板的停止位置。由于限位块9相比现有技术接触面的面积更大，因此当基板在限位块9的位置停止时，就可以从原来的点接触改善为线接触，明显增加了接触面积，并能够降低基板从高速传送到停止时的撞击压强，从而在确保基板能够运行到正确位置的情况下，降低相应的撞击力度，有效改善发生破片的情况，并且在实际操作中，改善效果在设备端验证结果良好，改善效果十分明显。

传动机构包括壳体8、滚动轴承5和固定轴6，滚动轴承5和固定轴6都设置在壳体8的内部，其中，滚动轴承5固定在固定轴6上，从而便于控制连杆机构移动，防止基板和限位装置刚性接触。传动机构具有上下两组轴承，连杆机构的一端位于两组轴承之间，防止连杆机构上下移动，造成破片现象的产生。每组轴承包括至少两个滚轮轴承5，滚动轴承5的数量和固定轴6的数量是一一对应的。优选地，每组轴承包括两个滚轮轴承5。

连杆机构连接限位机构和传动机构，连杆机构包括一L型连杆7，L型连杆 7包括横向连杆和竖向连杆，其中，竖向连杆的一端与横向连杆的一端固定连接，并且呈垂直连接，竖向连杆的另一端连接限位块9，用于支撑限位块9；横向连杆的大部分容纳在壳体8的内部，并且位于两组轴承之间，在滚动轴承5的作用下，L型连杆7可以在横向位置移动。

弹性机构固定在壳体8的壁上，或者腔室壁1上，弹性机构可以与横向连杆的另一端连接也可以不连接。弹性机构包括弹簧、缓冲器、阻尼器、缓冲垫、缓冲块等能够起到缓冲减震作用的器件或者是任意器件的组合，优选地，弹性机构是弹簧3。弹簧3设置在壳体8的内部，一端与横向连杆连接，另一端固定在壳体8上，弹簧3的选型可根据基板破片临界应力、基板允许位置偏差和允许弹簧形变长度等进行选择。

在传送轴弯曲的情况下，为确保每一枚基板都传送到位置，必须设定为过量传送，因为传送轴弯曲导致了摩擦力不足，如设定正常传送距离等，会有部分基板传送不到位置，导致设备异常停机，因此，弹簧3主要起到缓冲和限位作用。在基板过量传送中，滚轮轴承5与固定轴6以及横向连杆配合作用，通过将撞击力量传送到弹簧3，避免因为无法位移导致压强过大引起的破片。同时，壳体8 还可以限定滚动轴承5的活动范围，并提供合理的转送轨迹。

本实用新型的控制装置还包括固定安装组件，传动机构通过固定安装组件安装固定在腔室壁1上。固定安装组件包括连接固定块2和固定螺丝4，连接固定块2可以是独立的部件，通过焊接、熔接、卡接、螺栓等连接方式与壳体8连接固定，也可以是壳体8的一部分与壳体8一体成型。控制装置包括两个连接固定块2，分别位于壳体8的上下两侧，每个连接固定块2上优选地设置两个固定螺丝4。通过固定安装组件的固定，传动机构可以方便的拆卸，便于更换其内部构件，利于工作人员的维修检测。

作为改进的实施例，在限位块9的外部还有一层柔性层，柔性层可以是橡胶等柔性材料，从而减少对基板的损害。

作为改进的实施例，连杆机构还包括角撑，角撑分别固定连接横向连杆和竖向连杆，横向连杆和竖向连杆的尺寸可以相同也可以不同。

作为改进的实施例，控制装置还包括传感机构和报警机构，传感机构可以固定在横向连杆的端部，用于检测端部与腔室壁1之间的距离，当超过预设距离时，传感机构会向报警机构发出信号，便于引起工作人员的注意。

在基板传送过程中，设定基板传送均为过量传送，避免出现传送位置不到位的设备异常或者破片发生，当基板接触到限位块9时，限位块9受到冲击，由于滚动轴承5的作用，限位块9带动L型连杆7向腔室壁1的方向横向移动，衰减了基板带来的冲击力；又由于弹簧3的作用，在L型连杆7横向移动的同时，弹簧3传递给L型连杆7一阻尼力，防止L型连杆7撞击到腔室壁1，起到了一定的缓冲限位作用。

本实用新型的结构简单并具有普适性，可用于需要基板停止货有转向需求的设备，并且相关限位机构、传送机构以及弹性机构的位置以及数量可以根据需求，灵活设置。同时，本实用新型的控制装置也可以使用在其他行业，例如需要做速度切换及需要限定位置的机构等等。对于组成部件的选择需要考虑到使用环境的影响，选择合适的材质，以避免可能造成的机构腐蚀等异常。

本实用新型的控制装置，在基板传送转向过程中，通过增大限位机构的接触面积，从而增加基板在停止位置与限位机构的接触面积，有效降低停止瞬间的接触应力，避免破片形成；同时提供了传动机构和弹性机构，可有效的降低基板破裂和停止位置异常的状况；此外，本实用新型结构制作简单方便，可准确控制基板停机位置，减少大量的基板报废，提高生产良率，降低生产成本。

以上详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换(如数量、形状、位置等)，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。