吸盘安装结构及芯片抓取结构的制作方法

本实用新型涉及芯片加工领域，具体涉及一种吸盘安装结构及芯片抓取结构。

背景技术：

在芯片的加工过程中，需要利用吸盘对芯片进行抓取、定位以及移位等操作，为了保证芯片的运动精度，避免因芯片角度不正而导致芯片受挤压甚至发生裂片的情况，需要保证驱动芯片运动的吸盘的平行度。现有的调整吸盘平行度的方法是首先将吸盘掀开较大的缝隙，然后在缝隙中塞入垫片，这种调整方式的效率低，操作难度大，调节位置不灵活，且垫片极易发生脱落而导致吸盘位置偏移或者吸盘的平行度发生很大的变化，从而影响吸盘使用的可靠性。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的之一在于提供一种能够方便快捷的调节吸盘的方位状态的吸盘安装结构及采用该吸盘安装结构的芯片抓取结构。

为达到上述目的，一方面，本实用新型采用以下技术方案：

一种吸盘安装结构，用于将吸盘安装于基体上，所述安装结构包括调节件和安装部，所述吸盘通过所述安装部与所述基体相连，所述调节件与所述安装部连接，且所述调节件抵靠在所述基体上，或者，所述调节件与所述基体连接，且所述调节件抵靠在所述安装部上，所述调节件通过调节所述安装部与所述基体之间的距离，以调整所述吸盘的吸附面的方位状态。

优选地，所述安装部包括臂部，所述臂部的一端与所述吸盘相连，另一端通过紧固件与所述基体连接。

优选地，所述臂部呈板状结构，所述调节件用于调节所述板状结构相对所述基体的倾斜角度，以调整所述吸附面的方位状态。

优选地，所述调节件包括杆件，所述杆件与所述板状结构螺纹连接，且所述杆件的一端抵靠在所述基体上。

优选地，所述杆件的另一端的端面为操作面，所述操作面上设置有操作结构，用于与工具配合。

优选地，所述板状结构呈长形，所述板状结构具有沿其长度方向延伸的对称轴，

所述紧固件设置有多个，多个所述紧固件相对所述对称轴对称布置；和/或，

所述调节件设置有多个，多个所述调节件相对所述对称轴对称布置。

优选地，在所述板状结构的延伸方向上，所述调节件相互间隔设置有多个。

优选地，所述基体包括驱动装置和连接件，所述安装部与所述连接件连接，所述驱动装置通过所述连接件驱动所述安装部和所述吸盘动作，所述调节件用于调节所述安装部与所述连接件之间的距离。

另一方面，本实用新型采用如下技术方案：

一种芯片抓取结构，包括吸盘和基体，所述吸盘用于抓取芯片，所述吸盘通过安装结构安装于基体上，所述安装结构包括调节件和安装部，所述吸盘通过所述安装部与所述基体相连，所述调节件与所述安装部连接，且所述调节件抵靠在所述基体上，或者，所述调节件与所述基体连接，且所述调节件抵靠在所述安装部上，所述调节件通过调节所述安装部与所述基体之间的距离，以调整所述吸盘的吸附面的方位状态。

优选地，所述安装部包括臂部，所述臂部的一端与所述吸盘相连，另一端通过紧固件与所述基体连接。

优选地，所述臂部呈板状结构，所述调节件用于调节所述板状结构相对于所述基体的倾斜角度，以调整所述吸附面的方位状态。

优选地，所述调节件包括杆件，所述杆件与所述板状结构螺纹连接，且所述杆件的一端抵靠在所述基体上。

优选地，所述杆件的另一端的端面为操作面，所述操作面上设置有操作结构，用于与工具配合。

优选地，所述板状结构呈长形，所述板状结构具有沿其长度方向延伸的对称轴，

所述紧固件设置有多个，多个所述紧固件相对所述对称轴对称布置；和/或，

所述调节件设置有多个，多个所述调节件相对所述对称轴对称布置。

优选地，在所述板状结构的延伸方向上，所述调节件相互间隔设置有多个。

优选地，所述基体包括驱动装置和连接件，所述安装部与所述连接件连接，所述驱动装置通过所述连接件驱动所述安装部和所述吸盘动作，所述调节件用于调节所述安装部与所述连接件之间的距离。

本实用新型提供的吸盘安装结构包括调节件，调节件与所述安装部连接且调节件抵靠在基体上，或者，调节件与基体连接且调节件抵靠在安装部上，通过调节件可以调节在调节件位置处安装部与基体之间的距离，进而调整吸盘的吸附面的方位状态，如此，既能够方便地调节吸盘的方位状态，又能够保证吸盘的运行可靠性，当吸盘应用于芯片的抓取时，能够保证芯片的运动精度，避免芯片因吸盘位置偏移而导致芯片与其他结构发生挤压甚至出现裂片的问题。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出本实用新型提供的芯片抓取结构的结构示意图；

图2示出图1中A处的放大图。

图中，11、吸盘；12、臂部；2、基体；21、驱动装置；211、驱动气缸；212、活塞杆；22、连接件；3、紧固件；4、调节件；41、杆件；411、操作结构；5、工件盘。

具体实施方式

以下基于实施例对本实用新型进行描述，但是本实用新型并不仅仅限于这些实施例。此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的附图都是为了说明的目的，并且附图不一定是按比例绘制的。

除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1和图2所示，本申请提供了一种吸盘安装结构，用于将吸盘11安装于基体2上，下面本申请主要以吸盘安装结构应用于芯片抓取结构为例介绍其各种实施例，当然，可以理解的是，其也可以应用于其他需要进行抓取动作的装置中。

如图1所示，吸盘安装结构包括安装部，吸盘11通过安装部与基体2相连，安装部例如包括臂部12，吸盘11用于抓取例如芯片等零件，吸盘11例如为真空吸盘，通过真空吸附的方式对芯片等零件进行吸附，臂部12与吸盘11相连，臂部12用于将吸盘11安装于基体2上，优选地，臂部12的一端与吸盘11相连，另一端通过紧固件3与基体连接，例如，在图1所示的实施例中，基体2包括驱动装置21和连接件22，臂部12与连接件22连接，例如通过螺钉、螺栓等紧固件3与连接件22连接，驱动装置21通过连接件22驱动臂部12以及吸盘11运动，例如，在图1所示的实施例中，驱动装置21能够驱动臂部12以及吸盘11做升降运动，例如驱动臂部12以及吸盘11下降以将吸盘11抓取的芯片放入工件盘5进行加工，驱动臂部12以及吸盘11上升以使得吸盘11抓取的芯片离开工件盘5。连接件22例如为如图1中所示的块状结构，驱动装置21例如可以为驱动气缸211，驱动气缸211的活塞212与连接件22连接，驱动气缸211的活塞212上下运动以带动臂部12以及吸盘11升降。

当臂部12歪斜时，吸盘11的吸附面就会发生歪斜，造成吸盘11抓取的芯片与工件盘5不平行，此时，如果驱动装置21驱动吸盘11下降，芯片的位置较低的部分就会首先与工件盘5接触，当吸盘11继续下降时，工件盘5就会对芯片的部分区域形成挤压，从而造成芯片的损坏。

现有技术中采用在臂部12与基体2之间塞入垫片的方式来调节吸盘11的方位状态，调节非常不便且垫片极易发生松脱，针对这一问题，本申请提供的吸盘安装结构包括调节件4，调节件4与安装部连接，具体为调节件4与臂部12连接，且调节件4能够抵靠在基体2上，调节件4能够调节在调节件4所在位置处臂部12与基体2之间的距离，以此来调节吸盘11的方位状态，既能够方便地调节吸盘11的方位状态，又能够保证吸盘11的运行可靠性。

调节件4调节臂部12与基体2之间的距离的方式例如可以为，在调节件4上设置有多个定位结构，臂部12与调节件4上的不同的定位结构配合以改变调节件4与臂部12的相对位置关系，又由于调节件4与基体2相抵靠，因此当调节件4与臂部12之间的相对位置改变时，基体2与臂部12之间在调节件4所在位置处的相对位置也会发生变化，定位结构例如可以为定位凸起，臂部12上相应的位置上设置定位卡槽。

为了方便调节，优选地，如图1和图2所示，调节件4包括杆件41，杆件41与臂部12螺纹连接，杆件41的一端抵靠在基体2上，如此，当需要调节吸盘11的方位状态时，只需要转动杆件41，臂部12就会相对杆件41沿杆件41的轴线方向移动，从而能够调节在该位置处臂部12与基体2之间的距离，进而调节吸盘11的方位状态，使得吸盘11的吸附面与工件盘5相平行。通过转动杆件41的方式对吸盘11的方位状态进行调节能够实现无级调节，提高调节的精确度。

杆件41可以为螺栓、螺钉等具有螺纹结构的结构件，为了方便操作，优选地，如图2所示，杆件41为顶丝，其一端抵靠在基体2上，另一端的端面为操作面，操作面上设置有操作结构411，用于与工具配合，操作结构411例如可以为六角孔，方便与内六角扳手配合。

优选地，臂部12呈板状结构，进一步优选为长形板状结构，其一端部结构与吸盘11相连，另一端部结构与基体2连接，杆件41的轴线优选与板状结构相垂直，从而方便杆件41对板状结构相对基体2的倾斜角度的调节，通过调节板状结构相对基体2的倾斜角度，即可调整吸附面的方位状态。

为了提高对吸盘11的方位状态调节的灵活性和便捷性，优选地，板状结构具有沿其长度方向延伸的对称轴，例如，如图1所示，板状结构为矩形板，对称轴即为连接矩形板的两条短边中点的轴线，紧固件3设置有多个，多个紧固件3相对所述对称轴对称布置，例如如图1所示，紧固件3设置有两个，两个紧固件3相对所述对称轴对称设置。调节件4设置有多个，多个调节件4相对所述对称轴对称布置，如此，在板状结构的两侧均能够进行调节，从而提高调节的灵活性，在板状结构的延伸方向上，调节件4也相互间隔设置有多个，例如，在图1所示的实施例中，调节件4共有四个，四个调节件4分别位于方形的四个顶点位置，如此，能够实现对吸盘11多个方位上的调节，以进一步保证吸盘11的吸附面与工件盘5的平行度。

可以理解的是，调节件4也可以与基体2连接并抵靠在安装部例如臂部12上，其结构与调节件4与臂部12连接时相类似，在此不再赘述。

本实用新型提供的吸盘安装结构包括调节件4，调节件4与安装部连接且调节件4抵靠在基体2上，或者，调节件4与基体2连接且调节件4抵靠在安装部上，通过调节件4可以调节在调节件4位置处安装部与基体2之间的距离，进而调节吸盘11的吸附面的方位状态，如此，既能够方便地调节吸盘11的方位状态，又能够保证吸盘11的运行可靠性，当吸盘11应用于芯片的抓取时，能够保证芯片的运动精度，避免芯片因吸盘11位置偏移而导致芯片与其他结构发生挤压甚至出现裂片的问题。

本领域的技术人员容易理解的是，在不冲突的前提下，上述各优选方案可以自由地组合、叠加。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，对于本领域技术人员而言，本实用新型可以有各种改动和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。