一种真空箱及氦质谱密封性测试设备的制作方法

本发明涉及密封性测试技术领域，具体涉及一种真空箱及氦质谱密封性测试设备。

背景技术：

氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。随着新能源汽车的发展，新能源汽车的动力电池、电机、电机驱动器，对密封性要求都比较高。动力电池对密封性要求的原因：电池包/箱体防止进水导致电路短路、电池包内的液冷管路不允许有渗漏、电池单元的电解液不允许渗漏不允许水气。电机、电机驱动器对封性要求的原因：冷却液渗入电机内部影响整车安全性、其性能和寿命是决定整车能否持续、稳定运行的重要因素。传统的气密性检测技术有些满足不了新能源汽车对气密性的要求，用氦质谱密封性设备检测具有稳定、可靠、灵敏度高等优点，能更好的适应密封性技术发展的要求。

传统的氦质谱检测设备，其检测过程为：将充了氦气被测产品放置于真空箱内，真空箱抽真空，氦质谱检漏仪进行检测，氦质谱检漏仪得到产品的泄漏率，最后排放氦气。传统氦质谱检测设备存在如下问题：真空箱的门采用翻转打开方式，需要人工控制打开或关闭箱门，存在操作麻烦、占用空间大和密封效果差的缺点。因为真空箱一般设计得比较厚重，以防止在抽真空时出现变形，一旦箱体变形可能会导致密封平面的密封能力失效、导致箱体焊接部分或者结构脆弱部分在反复测试中变形疲劳出现裂纹导致箱体报废，因为真空箱比较厚，其门盖自然也很重，一般翻转式开门的箱体一侧被轴固死(即像家里的门一样，带有门轴)只有一个面是能动的，密封失效的风险比我们平移式的门大，而且如果人手操作翻转式开门的话要非得大的力气，如果用气缸来带动的话，要非常大缸径的大体积的气缸。

技术实现要素：

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种真空箱，它采用平移式压紧设计，能够自动控制打开或关闭箱门，具有操作方便、占用空间小和密封效果好的特点。

本发明的目的之二在于提供一种包括上述真空箱的氦质谱密封性测试设备。

本发明的目的之一采用如下技术方案实现：

一种真空箱，其特征在于，包括：

箱体，所述箱体包括箱主体和箱门体，所述箱主体包括容纳腔室；

平移驱动机构，连接所述箱门体和所述箱主体，用于驱动所述箱门体相对所述箱主体滑动以打开或关闭所述容纳腔室；

压紧机构，所述压紧机构包括压紧件；当箱门体滑动至关闭所述容纳腔室的位置时，所述压紧机构适于驱动所述压紧件压紧或松开所述箱门体。

一种可选的实施方式中，还包括支撑架，所述平移驱动机构、压紧机构分别安装于所述支撑架上；所述支撑架包括对称设置于所述箱主体左右两侧的第一竖向支撑板和第二竖向支撑板，以及连接于第一竖向支撑板和第二竖向支撑板之间的第一横向连接板，所述第一横向连接板位于箱主体的上方。

一种可选的实施方式中，所述箱主体与竖向平面之间形成向后倾斜的倾斜角度，使得所述箱主体形成倾斜的产品放置口；所述箱门体包括覆盖所述箱主体的产品放置口的封盖部，所述封盖部的倾斜角度与箱主体的倾斜角度相同；所述第一竖向支撑板、第二竖向支撑板均具有与箱主体的倾斜角度相同的前倾斜面；所述倾斜角度为10°-30°。

一种可选的实施方式中，所述平移驱动机构包括平移气缸、活塞杆连接件、平移导向机构；

所述箱门体还包括沿封盖部的左右两侧向外延伸出的第一滑块连接部、第二滑块连接部；

所述平移气缸固定安装于所述第一竖向支撑板或第二竖向支撑板的外侧壁上；

所述平移导向机构包括第一导向组件和第二导向组件；

第一导向组件包括设置于第一竖向支撑板顶部的第一链轮、设置于第一链轮上的第一链条、设置于第一竖向支撑板的前倾斜面上的第一前导轨、滑动配合于所述第一前导轨上的第一前滑块，设置于第一竖向支撑板的后侧面上的第一后导轨、滑动配合于所述第一后导轨上的第一后滑块和第一滑块连接组件；所述第一链条的一端与第一前滑块固定连接，其另一端与第一后滑块固定连接；第一滑块连接组件的一端与第一前滑块连接，其另一端与所述第一滑块连接部连接；

第二导向组件包括设置于第二竖向支撑板顶部的第二链轮、设置于第二链轮上的第二链条、设置于第二竖向支撑板的前倾斜面上的第二前导轨、滑动配合于所述第二前导轨上的第二前滑块，设置于第二竖向支撑板的后侧面上的第二后导轨、滑动配合于所述第二后导轨上的第二后滑块和第二滑块连接组件；所述第二链条的一端与第二前滑块固定连接，其另一端与第二后滑块固定连接；第二滑块连接组件的一端与第二前滑块连接，其另一端与所述第二滑块连接部连接；

平移气缸的活塞杆通过活塞杆连接件与第一前滑块或第二前滑块固定连接。

一种可选的实施方式中，所述第一后滑块和/或第二后滑块上还设置有配重块。

一种可选的实施方式中，所述第一滑块连接组件包括第一导柱、第一弹簧；所述第一导柱的一端固定安装于所述第一滑块上，其另一端穿过所述第一滑块连接部向外伸出，所述第一导柱的伸出端设置有第一限位板；所述第一弹簧套设于所述第一滑块与所述第一滑块连接部之间的第一导柱上；

所述第二滑块连接组件包括第二导柱、第二弹簧；所述第二导柱的一端固定安装于所述第二滑块上，其另一端穿过所述第二滑块连接部向外伸出，所述第二导柱的伸出端设置有第二限位板；所述第二弹簧套设于所述第二滑块与所述第二滑块连接部之间的第二导柱上。

一种可选的实施方式中，所述箱门体还包括沿第一滑块连接部或第二滑块连接部向外延伸出的承压部；所述压紧机构还包括固定安装于所述第一竖向支撑板或第二竖向支撑板的外侧壁上的压紧气缸，所述压紧件包括平行设置的固定块和压紧块，以及连接在固定块与压紧块之间的连接块；所述固定块的一端与所述压紧气缸的活塞杆固定连接，其另一端通过连接块与所述压紧块固定连接；所述固定块与所述压紧块之间形成供承压部通过的通道；当箱门体滑动至关闭所述容纳腔室的位置时，所述压紧气缸适于驱动所述压紧块压紧或松开所述承压部。

一种可选的实施方式中，所述承压部的数量为两个，它们对称设置在第一滑块连接部和第二滑块连接部的外侧；所述压紧机构的数量为两个，它们对称安装于第一竖向支撑板和第二竖向支撑板上。

一种可选的实施方式中，所述支撑架上设置有多个缓冲件，所述第一前导轨、第二前导轨上对应每个缓冲件的位置设置有一个抵接件；所述缓冲件用于对所述抵接件提供沿上下滑动方向的阻尼。

本发明的目的之二采用如下技术方案实现：

氦质谱密封性测试设备，其特征在于，包括本发明的目的之一所述的真空箱。

一种可选的实施方式中，所述真空箱的数量为两个，分别记为第一真空箱和第二真空箱；还包括氦气源、氦质谱检漏仪、第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵、氦气回收装置；

所述氦气源通过第一氦气输送管与所述第一真空箱的进气口连接，氦气源还通过第二氦气输送管与所述第二真空箱的进气口连接；

所述第一真空箱的抽气口通过第一抽气管与所述第一真空泵连接，所述第二真空箱的抽气口通过第二抽气管与所述第二真空泵连接；

所述第一真空箱的检查通气口通过第一检查通气管与所述氦质谱检漏仪的进气口连接，所述第二真空箱的检查通气口通过第二检查通气管与所述氦质谱检漏仪的进气口连接；所述氦质谱检漏仪的抽气口通过抽吸管道与所述第二真空泵连接；

所述第一真空箱的氦气回收口通过第一氦气回收气管与所述第三真空泵的进气口连接，所述第二真空箱的氦气回收口通过第二氦气回收气管与所述第三真空泵的进气口连接，所述第三真空泵的出气口通过管道与所述氦气回收装置连接；

所述第一真空箱与第二真空箱上分别设置有与大气联通的第一大气管道与第二大气管道；

所述第一氦气输送管、第二氦气输送管、第一抽气管、第二抽气管、第一检查通气管、第二检查通气管、抽吸管道、第一氦气回收气管、第二氦气回收气管、第一大气管道、第二大气管道上均设置有电动控制阀门。

一种可选的实施方式中，还包括氮气清扫系统，所述氮气清扫系统包括氮气源、第一氮气输送管和第二氮气输送管，所述氮气源通过所述第一氮气输送管与所述第一真空箱的氮气输入口连接，所述氮气源还通过所述第二氮气输送管与所述第二真空箱的氮气输入口连接；所述第一氮气输送管和第二氮气输送管上均设置有电动控制阀门。

一种可选的实施方式中，还包括自检系统包括氦气标准漏孔、第一自检气管和第二自检气管；所述氦气标准漏孔通过第一自检气管与第一真空箱连接，所述氦气标准漏孔还通过第二自检气管与第二真空箱连接；所述第一自检气管和第二自检气管上均设置有电动控制阀门。

一种可选的实施方式中，还包括机柜，所述机柜的中部设置有用于放置两个真空箱的工作台，所述机柜上位于工作台的下方设置有用于放置第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵的第一容纳空间；所述机柜上位于工作台的背侧中部设置有用于放置氦质谱检漏仪的放置平台，使得氦质谱检漏仪在柜体的高度方向上位于真空箱与第一真空泵之间。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：

1、本发明的真空箱包括平移驱动机构和压紧机构，平移驱动机构用于驱动所述箱门体相对所述箱主体滑动以打开或关闭所述容纳腔室；当箱门体滑动至关闭所述容纳腔室的位置时，压紧机构适于驱动所述压紧件压紧或松开所述箱门体。它采用平移式压紧设计，能够自动控制打开或关闭箱门体，具有操作方便、占用空间小和密封效果好的特点。本发明将翻转开门变成平移开门，整个箱门体都可以进行压紧，提高密封的可靠性，因为箱门体很厚重，本发明还设计使用了配重的方式，这样用比较小的气缸就能实现门的开关，如果不用配重，那么开门的气缸将会大很多。

2、本发明的氦质谱密封性测试设备具有以下优点：

a.通过第一、第二真空箱的切换，可以让氦质谱一直处于工作状态，提高测试效率。

b.加入氦气回收系统，回收的氦气可以用于产品测试，提高氦气利用率，降低测试成本，同时还可以防止氦气直接排放污染氦质谱检漏仪的风险。

c.加入清扫系统，通过氮气清扫真空箱，可以有效清扫真空箱残留的氦气，提高测试数据的可靠性。

d.加入自检系统，当对氦质谱检漏仪数据产生怀疑时可进行自检。

e.真空箱能兼容测试多种类型的产品。

f.在真空箱内对产品充氦气，可以减少在测试前要往产品充氦气的步骤，且能实现氦气自动充注和回收，如果是在设备外的独立一个充氦工艺，则自动化程度较低。

附图说明

图1为实施例1的真空箱的立体图；

图2为实施例1的真空箱的另一角度的立体图；

图3为实施例1的箱门体的结构示意图；

图4为实施例2的氦质谱密封性测试设备的立体图；

图5为实施例2的氦质谱密封性测试设备的另一角度的立体图；

图6为实施例2的氦质谱密封性测试设备的局部结构示意图；

图7为实施例2的氦质谱密封性测试设备的管路连接示意图；图7中，p1-p13、v1-v9均为电动控制阀门；l为第一真空箱110、r为第二真空箱120；a、b为被测产品。

图1-7中：100、真空箱；10、箱体；11、箱主体；111、容纳腔室；12、箱门体；121、封盖部；122、第一滑块连接部；123、第二滑块连接部；124、承压部；21、平移气缸；22、活塞杆连接件；231、第一链轮；233、第一前导轨；234、第一前滑块；235、第一后导轨；236、第一后滑块；237、第一滑块连接组件；2371、第一导柱；2372、第一弹簧；2373、第一限位板；241、第二链轮；243、第二前导轨；244、第二前滑块；245、第二后导轨；246、第二后滑块；247、第二滑块连接组件；2471、第二导柱；2472、第二弹簧；2473、第二限位板；25、配重块；31、压紧件；311、固定块；312、压紧块；313、连接块；32、压紧气缸；40、支撑架；41、第一竖向支撑板；42、第二竖向支撑板；43、第一横向连接板；50、缓冲件；60、抵接件；110、第一真空箱；120、第二真空箱；200、氦气源；300、氦质谱检漏仪；400、第一真空泵；500、第二真空泵；600、第三真空泵；711、第一氦气输送管；712、第二氦气输送管；721、第一抽气管；722、第二抽气管；731、第一检查通气管；732、第二检查通气管；741、抽吸管道；751、第一氦气回收气管；752、第二氦气回收气管；761、第一大气管道；762、第二大气管道；771、氮气源；773、第一氮气输送管；774、第二氮气输送管；781、氦气标准漏孔；782、第一自检气管；783、第二自检气管；800、机柜；810、工作台；820、放置平台。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。除特殊说明的之外，本实施例中所采用到的材料及设备均可从市场购得。所述实施例的实例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非是另有精确具体地规定。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连通”、“连接”应作广义理解，例如，可以使固定连接，也可以是通过中介媒介间相连，可以是两个元件内部的连通或者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

实施例1：

参照图1-3，一种真空箱100，包括：

箱体10，箱体10包括箱主体11和箱门体12，箱主体11包括容纳腔室111；

平移驱动机构，连接箱门体12和箱主体11，用于驱动箱门体12相对箱主体11滑动以打开或关闭容纳腔室111；

压紧机构，压紧机构包括压紧件31；当箱门体12滑动至关闭容纳腔室111的位置时，压紧机构适于驱动压紧件31压紧或松开箱门体12。

本实施例中，真空箱100的箱主体11和箱门体12均可以使用厚的不锈钢板，目的为了在箱内抽真空时保证箱体10无变形现象，这样才能保证箱门体12在密封时无变形，更好的贴合箱主体11进行密封。另外，不锈钢材质的真空箱100的结构使用焊接技术，兼顾经济性能和技术性能，为保证测试的准确度，需要保证焊缝的粗糙度和避免焊缝有细微缝隙；焊接处的表面粗糙度要求：ra≤0.3μm,l＝2.5mm。

在本发明较佳的实施例中，还包括支撑架40，平移驱动机构、压紧机构分别安装于支撑架40上；支撑架40包括对称设置于箱主体11左右两侧的第一竖向支撑板41和第二竖向支撑板42，以及连接于第一竖向支撑板41和第二竖向支撑板42之间的第一横向连接板43，第一横向连接板43位于箱主体11的上方。由此，能够留出足够的安装位置，避免平移驱动机构及压紧机构对箱门体12的滑动造成干扰，同时也具有拆装方便的优点。

在本发明较佳的实施例中，箱主体11与竖向平面之间形成向后倾斜的倾斜角度，使得箱主体11形成倾斜的产品放置口；箱门体12包括覆盖箱主体11的产品放置口的封盖部121，封盖部121的倾斜角度与箱主体11的倾斜角度相同；第一竖向支撑板41、第二竖向支撑板42均具有与箱主体11的倾斜角度相同的前倾斜面。优选地，倾斜角度为10°-30°。更优选地，倾斜角度为20°。这样设计，具有如下优点：方便被测产品的放入和拿出，另外还可以更快速的清理真空箱100内残留的氦气。

在本发明较佳的实施例中，平移驱动机构包括平移气缸21、活塞杆连接件22、平移导向机构；

箱门体12还包括沿封盖部121的左右两侧向外延伸出的第一滑块连接部122、第二滑块连接部123；

平移气缸21固定安装于第一竖向支撑板41的外侧壁上；

平移导向机构包括第一导向组件和第二导向组件；

第一导向组件包括设置于第一竖向支撑板41顶部的第一链轮231、设置于第一链轮231上的第一链条(图中未示出)、设置于第一竖向支撑板41的前倾斜面上的第一前导轨233、滑动配合于第一前导轨233上的第一前滑块234，设置于第一竖向支撑板41的后侧面上的第一后导轨235、滑动配合于第一后导轨235上的第一后滑块236和第一滑块连接组件237；第一链条(图中未示出)的一端与第一前滑块234固定连接，其另一端与第一后滑块236固定连接；第一滑块连接组件237的一端与第一前滑块234连接，其另一端与第一滑块连接部122连接；

第二导向组件包括设置于第二竖向支撑板42顶部的第二链轮241、设置于第二链轮241上的第二链条(图中未示出)、设置于第二竖向支撑板42的前倾斜面上的第二前导轨243、滑动配合于第二前导轨243上的第二前滑块244，设置于第二竖向支撑板42的后侧面上的第二后导轨245、滑动配合于第二后导轨245上的第二后滑块246和第二滑块连接组件247；第二链条(图中未示出)的一端与第二前滑块244固定连接，其另一端与第二后滑块246固定连接；第二滑块连接组件247的一端与第二前滑块244连接，其另一端与第二滑块连接部123连接；

平移气缸21的活塞杆通过活塞杆连接件22与第一前滑块234固定连接。这样设计，由于采用两组链轮传动机构，使得平移过程更加平稳，工作效率高。

关门过程如下：由平移气缸21驱动活塞杆下移，活塞杆带动活塞杆连接件22下移，活塞杆连接件22依次通过第一前滑块234、第一滑块连接组件237、第一滑块连接部122带动箱门体12沿第一前导轨233下移，进而能够滑动至预设位置以关闭容纳腔室111；箱门体12在移动过程中，第一前滑块234通过第一链条(图中未示出)、第一链轮231带动第一后滑块236沿第一后导轨235上移；箱门体12的第二滑块连接部123通过第二滑块连接组件247带动第二前滑块244沿第二前导轨243下移，第二前滑块244通过第二链条(图中未示出)、第二链轮241带动第二后滑块246沿第二后导轨245上移；

开门过程如下：由平移气缸21驱动活塞杆上移，活塞杆带动活塞杆连接件22上移，活塞杆连接件22依次通过第一前滑块234、第一滑块连接组件237、第一滑块连接部122带动箱门体12沿第一前导轨233上移，进而能够滑动至预设位置以打开容纳腔室111；箱门体12在移动过程中，第一前滑块234通过第一链条(图中未示出)、第一链轮231带动第一后滑块236沿第一后导轨235下移；箱门体12的第二滑块连接部123通过第二滑块连接组件247带动第二前滑块244沿第二前导轨243上移，第二前滑块244通过第二链条(图中未示出)、第二链轮241带动第二后滑块246沿第二后导轨245下移；

在本发明较佳的实施例中，第一后滑块236和/或第二后滑块246上还设置有配重块25。实际应用过程中，由于箱门体12的体积大而重，在箱门体12复位的时候需要采用长量程及拉力大的气缸，符合这两个条件的气缸体积较大，所以通过设置配重块25可以减小把箱门体12拉上的拉力。

在本发明较佳的实施例中，第一滑块连接组件237包括第一导柱2371、第一弹簧2372；第一导柱2371的一端固定安装于第一滑块上，其另一端穿过第一滑块连接部122向外伸出，第一导柱2371的伸出端设置有第一限位板2373；第一弹簧2372套设于第一滑块与第一滑块连接部122之间的第一导柱2371上；第二滑块连接组件247包括第二导柱2471、第二弹簧2472；第二导柱2471的一端固定安装于第二滑块上，其另一端穿过第二滑块连接部123向外伸出，第二导柱2471的伸出端设置有第二限位板2473；第二弹簧2472套设于第二滑块与第二滑块连接部123之间的第二导柱2471上。这样设计，第一弹簧2372和第二弹簧2472配合压紧气缸32可以实现自动弹开和压紧的功能，压紧气缸32装在支撑架40上，可以增大压紧的力度和强度。另外，第一限位板2373及第二限位板2473能够对弹开位置进行限位。

在本发明较佳的实施例中，箱门体12还包括沿第一滑块连接部122和第二滑块连接部123向外延伸出的承压部124；压紧机构还包括固定安装于第一竖向支撑板41的外侧壁上的压紧气缸32，压紧件31包括平行设置的固定块311和压紧块312，以及连接在固定块311与压紧块312之间的连接块313；固定块311的一端与压紧气缸32的活塞杆固定连接，其另一端通过连接块313与压紧块312固定连接；固定块311与压紧块312之间形成供承压部124通过的通道；当箱门体12滑动至关闭容纳腔室111的位置时，压紧气缸32适于驱动压紧块312压紧或松开承压部124。

在本发明较佳的实施例中，承压部124的数量为两个，它们对称设置在第一滑块连接部122和第二滑块连接部123的外侧；压紧机构的数量为两个，它们对称安装于第一竖向支撑板41和第二竖向支撑板42上。这样设计，密封时各个点的受力均匀，密封性效果更好。

在本发明较佳的实施例中，支撑架40上设置有多个缓冲件50，所述第一前导轨233、第二前导轨243上对应每个缓冲件50的位置设置有一个抵接件60；缓冲件50用于对抵接件60提供沿上下滑动方向的阻尼。由于箱门体12的重量较大，有必要在箱门体12平移的上限位置及下限位置均设置缓冲件50，从而起到缓冲避震作用。

在本发明较佳的实施例中，箱主体11上还可以设置用于夹持被测产品的夹持机构。

实施例2：

参照图4-7，氦质谱密封性测试设备，包括实施例1的真空箱100。

在本发明较佳的实施例中，真空箱100的数量为两个，分别记为第一真空箱110和第二真空箱120；还包括氦气源200、氦质谱检漏仪300、第一真空泵400、第二真空泵500、第三真空泵600、氦气回收装置；

氦气源200通过第一氦气输送管711与第一真空箱110的进气口连接，氦气源200还通过第二氦气输送管712与第二真空箱120的进气口连接；

第一真空箱110的抽气口通过第一抽气管721与第一真空泵400连接，第二真空箱120的抽气口通过第二抽气管722与第二真空泵500连接；

第一真空箱110的检查通气口通过第一检查通气管731与氦质谱检漏仪300的进气口连接，第二真空箱120的检查通气口通过第二检查通气管732与氦质谱检漏仪300的进气口连接；氦质谱检漏仪300的抽气口通过抽吸管道741与第二真空泵500连接；

第一真空箱110的氦气回收口通过第一氦气回收气管751与第三真空泵600的进气口连接，第二真空箱120的氦气回收口通过第二氦气回收气管752与第三真空泵600的进气口连接，第三真空泵600的出气口通过管道与氦气回收装置连接；

第一真空箱110与第二真空箱120上分别设置有与大气联通的第一大气管道761与第二大气管道762；

第一氦气输送管711、第二氦气输送管712、第一抽气管721、第二抽气管722、第一检查通气管731、第二检查通气管732、抽吸管道741、第一氦气回收气管751、第二氦气回收气管752、第一大气管道761、第二大气管道762上均设置有电动控制阀门。

在本发明较佳的实施例中，还包括氮气清扫系统，氮气清扫系统包括氮气源771、第一氮气输送管773和第二氮气输送管774，氮气源771通过第一氮气输送管773与第一真空箱110的氮气输入口连接，氮气源771还通过第二氮气输送管774与第二真空箱120的氮气输入口连接；第一氮气输送管773和第二氮气输送管774上均设置有电动控制阀门。由此，通过氮气清扫真空箱100，可以有效清扫真空箱100残留的氦气，提高测试数据的可靠性。

在本发明较佳的实施例中，还包括自检系统包括氦气标准漏孔781、第一自检气管782和第二自检气管783；氦气标准漏孔781通过第一自检气管782与第一真空箱110连接，氦气标准漏孔781还通过第二自检气管783与第二真空箱120连接；第一自检气管782和第二自检气管783上均设置有电动控制阀门。当对氦质谱检漏仪300数据产生怀疑时可进行自检。

在本发明较佳的实施例中，还包括机柜800，机柜800的中部设置有用于放置两个真空箱100的工作台810，机柜800上位于工作台810的下方设置有用于放置第一真空泵400、第二真空泵500、第三真空泵600的第一容纳空间；机柜800上位于工作台810的背侧中部设置有用于放置氦质谱检漏仪300的放置平台820，使得氦质谱检漏仪300在柜体的高度方向上位于真空箱100与第一真空泵400之间。具体地，氦质谱检漏仪300的位置摆放需要远离第一真空泵400的震动源，同时也不能高于不锈钢真空箱100，因为真空箱100在清扫的时候会把测试残留的氦气排放到空气中，氦气空气环境中会上升，可能会污染氦质谱仪。

参照图7，其中，p1-p13、v1-v9均为电动控制阀门；l为第一真空箱110、r为第二真空箱120；产品放置于真空箱100内充氦气测试，a、b为被测产品。

第一真空泵400的作用是将第一真空箱110、第二真空箱120内的环境变为真空。

第二真空泵500的作用是为氦质谱检漏仪300提供工作环境。

第三真空泵600的作用是将的氦气抽到氦气回收系统循环利用。

氦气标准漏孔781的作用是用于设备的自检。

设备密封性检测的过程：第一真空箱110、第二真空箱120抽真空，在真空箱100内对被测产品充氦气，选择检测第一真空箱110还是第二真空箱120的产品，氦质谱检漏仪300进行检测，氦质谱检漏仪300得到产品的泄漏率，氦气排放到回收系统，用氮气对真空箱100进行清扫，最后释放真空。通过第一真空箱110、第二真空箱120切换，当其中有一个真空箱100的产品检测完毕时，另外一个真空箱100就可以进行检测了，即两个真空箱100可以同时处于测试和氦气回收、清扫、释放真空的过程，提高了产品的检测效率。设备上装有经过cnas认可的实验室校准过的氦气标准漏孔781，确保检测数据准确可靠。

设备的工作过程：

1.将被测产品放入真空箱100，并与真空箱100内的氦气出气口连接好；

2.第一真空泵400将真空箱100的气体抽出，使真空箱100内的环境为真空，然后通过氦气供气系统为被测产品充氦气；

3.经过一段时间后，氦质谱检漏仪300检测时间和泄漏量得处产品的泄漏率，第三真空泵600将产品测试的氦气抽到回收系统中，以备下次测试循环使用；

4.待氦气回收完毕，将由氮气清扫系统对真空箱100进行清扫。

5.真空箱100排气，即破环真空箱100的真空环境，排气完毕打开真空箱100的箱门体12，取处产品则完成了一次产品测试。

其它实施例：

压紧机构和平移驱动机构还可以采用液压油缸作为动力源，具体可以根据用户的需要进行相应调整。虽然仅仅已经对本申请的某些部件和实施例进行了图示并且描述，但是在不实际脱离在权利要求书中的范围和精神的情况下，本领域技术人员可以想到许多修改和改变(例如，各个元件的大小、尺寸、结构、形状和比例、安装布置、材料使用、颜色、取向等的变化)。

最后应说明的是：上述实施方式仅为本发明的优选实施例方式，不能以此来限定本发明保护的范围，本领域的技术人员在本发明的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本发明所要求保护的范围。