一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置的制作方法

文档序号:28401754发布日期:2022-01-08 01:31阅读:96来源:国知局
一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置的制作方法

1.本实用新型属于石英制品及其他的无机材料干燥储存技术领域,具体涉及一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置。


背景技术:

2.石英制品顾名思义是指利用石英材料制作而成的产品,且石英制品广泛运用于半导体行业中,在石英制品清洗后,为了使得石英制品达到半导体行业生产高洁净度的生产环境标准,通常需要利用干燥储存装置对清洗后的石英制品进行干燥处理;然而,现有的大多数高纯石英制品干燥储存装置在使用的过程中,难以在充分洁净的环境下,进行快速升温、均匀干燥,且不便于在不用拿出样品的情况下进行低温洁净干燥保存,为此,我们提出了一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置,包括存储箱、铰链和箱门,所述存储箱与箱门之间通过铰链活动连接,且存储箱的内部开设有导风气道,所述存储箱的顶部固定套接有百级空气净化器,所述百级空气净化器的顶部固定安装有引风机,所述存储箱的内侧固定连接有导风管,且存储箱内腔的底部开设有通孔,所述存储箱内腔底端的中部固定安装有对流电机,所述对流电机的输出轴上固定安装有对流扇叶,所述存储箱的内部固定连接有承重板,所述承重板的中部与存储箱内腔顶端的中部之间固定连接有密封柱,所述存储箱内腔的顶部固定安装有高温辐射灯,所述存储箱内腔的一侧固定连接有分隔块,所述分隔块的顶部设置有放置板,所述承重板的顶部设置有支架推车,所述存储箱的背面设置有排风机构。
5.作为一种优选的实施方式,所述百级空气净化器包括外壳,所述外壳的内部从上到下依次铺设有过滤网层、纱布层和活性炭层。
6.作为一种优选的实施方式,所述密封柱位于存储箱内腔的中部,且密封柱与存储箱的内腔相适配。
7.作为一种优选的实施方式,所述高温辐射灯的数量为两组,且两组高温辐射灯的大小相等,两组所述高温辐射灯对称分布在存储箱内腔顶部的两侧。
8.作为一种优选的实施方式,所述支架推车包括底座,所述底座的底部固定安装有金属耐高温滚轮,且底座的顶部固定连接有摆放板,所述摆放板的正面固定连接有导向卡条,且摆放板的内部固定连接有隔板,所述摆放板的顶部开设有螺孔,且摆放板的顶部放置有挡板,所述挡板与摆放板之间通过螺栓固定连接,且挡板的一侧固定连接有耐高温弹性块。
9.作为一种优选的实施方式,所述排风机构包括排风叶片,所述排风叶片固定安装
在存储箱内腔的背面,且排风叶片的一侧固定连接有排风罩,所述排风罩的内部固定安装有排风机,且排风罩的一侧固定套接有排风管,所述排风管的外部固定安装有单向阀,且排风管一端的内部铺设有过滤棉网层。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
11.该用于干燥和存储高纯石英制品的装置,可以在充分洁净的环境下,进行快速升温、均匀干燥,且能够在不用拿出样品的情况下进行低温洁净干燥保存,同时存储箱中装有耐高温干燥吸湿硅胶,在高温干燥的同时,其实也是对于我的干燥硅胶进行再生,当低温洁净保存时,其实也是在这个温度范围内进行正常干燥辅助使用;
12.该用于干燥和存储高纯石英制品的装置,通过设置高温辐射灯,可以在高纯石英制品干燥的过程中,便于在存储箱的内部产生150-400℃的高温,且通过设置引风机、导风气道、导风管、通孔、对流电机、对流扇叶、排风叶片和排风机,可以使得存储箱的空气发生快速流动,便于利用流动气体带走石英制品表面水分,以达到干燥目的,使得石英制品能够快速受热均匀,从而提高了石英制品的干燥效果;
13.该用于干燥和存储高纯石英制品的装置,通过设置百级空气净化器,可以在高纯石英制品干燥的过程中,便于对进入的外界空气进行净化处理,能够有效的去除外界空气混合的杂质,从而确保了存储箱内部的洁净,且通过设置单向阀和过滤棉网层,可以避免在缓慢通风条件下外部大气环境对于箱体内部石英制品产生不利影响的问题,从而为石英制品的干燥储存带来了便利;
14.该用于干燥和存储高纯石英制品的装置,通过设置若干个分隔块,可以在石英制品摆放的过程中,便于根据高纯石英制品的高度大小对放置板之间的间距大小进行调节,避免了对存储箱内部的空间造成浪费的问题,从而提高了存储箱内部空间的利用率;
15.该用于干燥和存储高纯石英制品的装置,通过设置底座、摆放板、隔板、螺孔、挡板、螺栓和耐高温弹性块,可以在管状或杆状的高纯石英制品放置的过程中,便于根据管状或杆状的高纯石英制品摆放的位置对其进行调节固定,且通过设置导向卡条,可以在支架推车放入至存储箱内部时,便于对支架推车的位置进行卡紧,避免了支架推车在存储箱的内部发生晃动的问题,从而提高了支架推车放置的稳定性。
附图说明
16.图1为本实用新型结构的正面示意图;
17.图2为本实用新型结构的局部剖视图;
18.图3为本实用新型结构的侧面局部剖视图;
19.图4为本实用新型结构中支架推车的俯视图。
20.图中:1、存储箱;2、铰链;3、箱门;4、导风气道;5、百级空气净化器;51、外壳;52、过滤网层;53、纱布层;54、活性炭层;6、引风机;7、导风管;8、通孔;9、对流电机;10、对流扇叶;11、承重板;12、密封柱;13、高温辐射灯;14、分隔块;15、放置板;16、底座;17、摆放板;18、导向卡条;19、隔板;20、螺孔;21、挡板;22、螺栓;23、耐高温弹性块;24、排风叶片;25、排风罩;26、排风机;27、排风管;28、单向阀;29、过滤棉网层。
具体实施方式
21.下面结合实施例对本实用新型做进一步的描述。
22.以下实施例用于说明本实用新型,但不能用来限制本实用新型的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整,在本实用新型的构思前提下对本实用新型的方法简单改进都属于本实用新型要求保护的范围。
23.请参阅图1和图2,本实用新型提供一种用于干燥和存储高纯石英制品的装置,包括存储箱1、铰链2和箱门3,为了便于对进入存储箱1内部的空气进行净化,存储箱1与箱门3之间通过铰链2活动连接,且存储箱1的内部开设有导风气道4,存储箱1的顶部固定套接有百级空气净化器5,百级空气净化器5包括外壳51,外壳51的内部从上到下依次铺设有过滤网层52、纱布层53和活性炭层54,百级空气净化器5的顶部固定安装有引风机6;当启动引风机6,使得外界的空气在引风机6的作用下进入至外壳51的内部,并促使空气依次经过过滤网层52、纱布层53和活性炭层54,便于对空气进行多级过滤处理,能够对进入存储箱1内部的空气进行净化,从而确保了存储箱1内部空气的洁净。
24.请参阅图2,为了便于对存储箱1内部的储存空间进行分割,可在存储箱1的内侧固定连接导风管7,且存储箱1内腔的底部开设有通孔8,存储箱1内腔底端的中部固定安装有对流电机9,对流电机9的输出轴上固定安装有对流扇叶10,存储箱1的内部固定连接有承重板11,此承重板11的中部设置有网格,承重板11的中部与存储箱1内腔顶端的中部之间固定连接有密封柱12,密封柱12位于存储箱1内腔的中部,且密封柱12与存储箱1的内腔相适配;当引风机6引入的空气经过百级空气净化器5净化后,会顺着导风气道4进行流通,且空气会从导风管7进入至存储箱1的内部,同时打开对流电机9,使得对流扇叶10发生高速转动,此时外界进入的空气会从通孔8和承重板11进入至存储箱1的内部,而密封柱12可以将存储箱1内部的储存空间分割成两个部分,从而便于对不同种类的高纯石英制品进行分开存放。
25.请参阅图2,为了便于对存储箱1内部储存的高纯石英制品进行干燥处理,可在存储箱1内腔的顶部固定安装高温辐射灯13,高温辐射灯13的数量为两组,且两组高温辐射灯13的大小相等,两组高温辐射灯13对称分布在存储箱1内腔顶部的两侧,当高纯石英制品放入至存储箱1的内部后,接通高温辐射灯13的电路,使得高温辐射灯13因通电而运行,此时高温辐射灯13会产生150-400℃的温度,并配合空气的流动,使得高温辐射灯13产生的热量能够快速扩散在存储箱1的内部,从而便于对存储箱1内部储存的高纯石英制品进行干燥处理。
26.请参阅图2和图4,为了便于对管状或杆状的高纯石英制品进行摆放,可在存储箱1内腔的一侧固定连接分隔块14,分隔块14的顶部设置有放置板15,此放置板15的材质为金属材料,且放置板15的表面开设有微孔,通过设置若干个分隔块14,可以在高纯石英制品摆放的过程中,便于根据高纯石英制品的高度大小对放置板15之间的间距大小进行调节,避免了对存储箱1内部的空间造成浪费的问题,从而提高了存储箱1内部空间的利用率,可在承重板11的顶部设置支架推车,支架推车包括底座16,底座16的底部固定安装有金属耐高温滚轮,且底座16的顶部固定连接有摆放板17,摆放板17的正面固定连接有导向卡条18,且摆放板17的内部固定连接有隔板19,摆放板17的顶部开设有螺孔20,且摆放板17的顶部放置有挡板21,挡板21与摆放板17之间通过螺栓22固定连接,且挡板21的一侧固定连接有耐高温弹性块23,先反向旋转螺栓22,使之与螺孔20之间相分离,并从摆放板17的顶部拿开挡
板21,可将管状或杆状的高纯石英制品竖直依次摆放在两个相邻的隔板19之间,当管状或杆状的高纯石英制品摆放完成后,再将挡板21放置在摆放板17的顶部,并水平推动挡板21,使得挡板21与管状或杆状的高纯石英制品靠近,促使耐高温弹性块23与管状或杆状的高纯石英制品紧密接触,同时正向旋转螺栓22,使之与螺孔20之间螺纹连接,便于对挡板21的位置进行固定,从而方便对管状或杆状的高纯石英制品进行摆放。
27.请参阅图2和图3,为了便于对存储箱1内部的进行排风,可在存储箱1的背面设置排风机构,排风机构包括排风叶片24,排风叶片24固定安装在存储箱1内腔的背面,且排风叶片24的一侧固定连接有排风罩25,排风罩25的内部固定安装有排风机26,且排风罩25的一侧固定套接有排风管27,排风管27的外部固定安装有单向阀28,且排风管27一端的内部铺设有过滤棉网层29;当需要进行排风时,启动排风机26,存储箱1内部的空气会因吸力的作用从排风叶片24进入至排风罩25的内部,且排风罩25内部的空气会通过单向阀28,顺着排风管27向外界空气中排风,若排风机26不工作时,通过设置过滤棉网层29,可以对外界的空气进行过滤,避免了外界空气中的颗粒物进入存储箱1的内部对储存的高纯石英制品造成影响的问题,从而为高纯石英制品的干燥储存带来了便利。
28.上述方案中,需要说明的是:干燥一定时间后,逐步降温至75℃左右,减小引风机6的功率,使得存储箱1的内部缓慢通风,保持存储箱1内部微正压,底部扰流风扇继续运行,打开柜门,在相应储盒放入耐温干燥剂,关闭柜门,降温至45-60℃,恒温保存。
29.本实用新型的工作原理及使用流程:首先反向旋转螺栓22,使之与螺孔20之间相分离,并从摆放板17的顶部拿开挡板21,可将管状或杆状的高纯石英制品竖直依次摆放在两个相邻的隔板19之间,当管状或杆状的高纯石英制品摆放完成后,再将挡板21放置在摆放板17的顶部,并水平推动挡板21,使得挡板21与管状或杆状的高纯石英制品靠近,促使耐高温弹性块23与管状或杆状的高纯石英制品紧密接触,同时正向旋转螺栓22,使之与螺孔20之间螺纹连接,便于对挡板21的位置进行固定,从而方便对管状或杆状的高纯石英制品进行摆放;
30.接着打开箱门3,将摆放有管状或杆状的高纯石英制品的支架推车放入至存储箱1的内部,再根据高纯石英制品的高度大小对放置板15之间的间距大小进行调节,避免了对存储箱1内部的空间造成浪费的问题,从而提高了存储箱1内部空间的利用率,当所有的石英制品都放入至存储箱1的内部后,关闭箱门3,启动引风机6,使得外界的空气在引风机6的作用下进入至外壳51的内部,并促使空气依次经过过滤网层52、纱布层53和活性炭层54,便于对空气进行多级过滤处理,能够对进入存储箱1内部的空气进行净化,从而确保了存储箱1内部空气的洁净;
31.紧接着当引风机6引入的空气经过百级空气净化器5净化后,会顺着导风气道4进行流通,且空气会从导风管7进入至存储箱1的内部,同时打开对流电机9,使得对流扇叶10发生高速转动,此时外界进入的空气会从通孔8和承重板11进入至存储箱1的内部,同时启动排风机26,存储箱1内部的空气会因吸力的作用从排风叶片24进入至排风罩25的内部,且排风罩25内部的空气会通过单向阀28,顺着排风管27向外界空气中排风,使得存储箱1内部的空气发生流动;
32.最后接通高温辐射灯13的电路,使得高温辐射灯13因通电而运行,此时高温辐射灯13会产生150-400℃的温度,并配合空气的流动,使得高温辐射灯13产生的热量能够快速
扩散在存储箱1的内部,便于利用流动气体带走石英制品表面水分,以达到干燥目的,使得石英制品能够快速受热均匀,从而提高了石英制品的干燥效果,若排风机26不工作时,通过设置过滤棉网层29,可以对外界的空气进行过滤,避免了外界空气中的颗粒物进入存储箱1的内部对储存的高纯石英制品造成影响的问题,从而为高纯石英制品的干燥储存带来了便利。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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