一种提升太阳电池表面光能俘获的微纳结构及制备方法

文档序号:26145783发布日期:2021-08-03 14:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种提升太阳电池表面光能俘获的微纳结构及制备方法。其特征是:首先将太阳能级玻璃衬底a经过微加工工艺制备成凹坑阵列结构玻璃b,接着在凹坑阵列结构上浇注pdms溶胶形成pdms溶胶与结构玻璃混合体c,最后将固化后的pdms胶膜进行拔模,制备出带有表面微纳凸包阵列结构的pdms胶膜d。所述结构的制备方法中,太阳能级玻璃衬底a需要经过rca(标准清洗法)步骤进行彻底的清洗,然后通过光刻、显影、离子束刻蚀等微加工工艺,结合hf刻蚀与干法刻蚀的方法,在太阳能级玻璃衬底的表面上形成凹坑阵列结构,制备出凹坑阵列结构玻璃b,接着将调配好的pdms溶胶浇注在凹坑阵列结构玻璃结构面并进行真空处理,采取70度的温度对pdms胶进行不小于4小时的加热固化,最后将固化好的胶膜进行拔膜,制备出带有表面微纳凸包阵列结构的pdms胶膜d。

2.根据权利要求1所述的,带有表面微纳凸包阵列结构的pdms胶膜中的微纳凸包阵列结构及制备方法,其特征是:以制备好的凹坑阵列结构玻璃b为模板,然后在模板上浇注pdms胶,将结构玻璃上面的凹坑阵列结构“复制”转移到pdms胶膜上,在其表面形成微纳凸包阵列结构;所述微纳凸包阵列结构为周期排列的几何图形,其高宽比在0.1-0.8,周期与尺寸均为微纳米级别;所述周期排列的几何图形为半球凸包结构、椭球形凸包结构等。

3.根据权利要求1所述的带有表面微纳凸包阵列结构的pdms胶膜中的pdms胶膜,其特征是:所采用的材料为pdms(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷),是一种高分子有机硅化合物分子;所述pdms在使用时要将pdms主体胶与固体胶按(10:1,质量比)均匀混合,并进行抽真空处理,以排除混合液中的空气;所述pdms混合液在浇注到结构玻璃上时,要再次进行抽真空处理,并采用70度的温度加热固化不下于4小时后进行脱模,制备出带有表面微纳凸包阵列结构的pdms胶膜。


技术总结
本发明提供的是一种提升太阳电池表面光能俘获的微纳结构及制备方法。其特征是:首先将太阳能级玻璃衬底a经过微加工工艺制备成凹坑阵列结构玻璃b,接着在凹坑阵列结构上浇注PDMS溶胶形成PDMS溶胶与结构玻璃混合体c,最后将固化后的PDMS胶膜进行拔模,制备出带有表面微纳凸包阵列结构的PDMS胶膜d。本发明应用于薄膜太阳能电池的上表面形成表面陷光结构,相对于平板结构能有效减少光反射,增加光吸收,延长光程,加强表面光能俘获能力,最终提升太阳能电池的光电转化效率。本发明能重复多次的利用凹坑阵列结构玻璃制备表面微纳凸包阵列结构,具有工艺简单,降低成本的优点。

技术研发人员:陈乐;罗炜;孙嘉伟;方博闻
受保护的技术使用者:桂林电子科技大学
技术研发日:2021.04.28
技术公布日:2021.08.03
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