专利名称：一种硅烷燃烧塔的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅烷燃烧塔，特别用于太阳能硅片的生产。
背景技术：
在太阳能硅片生产中，硅烷燃烧塔是PECVD工段的一种尾气处理装置，主要将尾气以及尾气中的硅烷(SIH4)在燃烧室燃烧后，再通过洗涤室净化，然后由抽风机抽排到大气中。但是，在PECVD工段中还需要使用三氟化氮(NF3)气体，并在高频电离的情况下与腔体附着的硅反应进行腔体清洗，而三氟化氮(NF!3)气体与硅烷(SIH4)在一定比例和有火源的情况下会发生剧烈爆炸。鉴于安全性考虑，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，即控制在负100 左右。
发明内容本实用新型的目的是提供能确保生产安全的一种硅烷燃烧塔。本实用新型采取的技术方案是一种硅烷燃烧塔，燃烧室、洗涤塔和抽风机依次通过管道连接，其特征在于在洗涤塔之后以及抽风机前连接有负压传感器，且负压传感器连接着控制装置。采用本实用新型，如遇抽风不良或者风机故障，可以及时将信号送到控制装置，便于及时切断相关电源和气源，确保生产安全。
图1是本实用新型的示意图。图中序号表示燃烧室1、洗涤塔2、抽风机3、负压传感器4和控制装置5。
具体实施方式
下面对本实用新型作进一步说明。参照图1，该硅烷燃烧塔依次通过管道连接有燃烧室1、洗涤塔2和抽风机3，在洗涤塔2之后以及抽风机3前连接有负压传感器4，且负压传感器4连接着控制装置5。使用时，硅烷通过管道进入燃烧室1燃烧，再通过洗涤塔2净化，然后通过抽风机3排向大气，其中，负压传感器4检测负压范围，并将状态信号送到控制装置5，一旦抽风压力过低或者抽风机3发生故障时，控制装置5得到负压传感器4的报警信号，就会切断相关电源和气源， 确保生产安全。
权利要求1. 一种硅烷燃烧塔，燃烧室、洗涤塔和抽风机依次通过管道连接，其特征在于在洗涤塔之后以及抽风机前连接有负压传感器，且负压传感器连接着控制装置。
专利摘要本实用新型涉及一种硅烷燃烧塔，该燃烧塔的燃烧室、洗涤塔和抽风机依次通过管道连接，在洗涤塔之后以及抽风机前连接有负压传感器，且负压传感器连接着控制装置。采用本实用新型，如遇抽风不良或者风机故障，可以及时将信号送到控制装置，便于及时切断相关电源和气源，确保生产安全。
文档编号F23G7/06GK202253680SQ20112034918
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月9日 优先权日2011年9月9日
发明者徐新毅, 李德云, 童鹏飞 申请人:浙江嘉毅能源科技有限公司