专利名称：真空干燥机及其干燥方法
技术领域：
本发明涉及一种真空干燥机及其干燥方法，尤其涉及一种具有较高工作效率的真空干燥 机及其干燥方法。
背景技术：
镜头模组是照相机、摄像机等光学成像装置的重要组成部分，其一般包括镜片、滤光片 等多种光学元件。有关镜片的设计方法请参阅Chao等人在2000年IEEE系统、超声波会议 (2000 IEEE Ultrasonics Symposium)上发表的论文Aspheric lens design。在镜头模组的 组装过程中，通常需要对所述光学元件进行清洗、干燥，以保证光学元件的清洁度，从而避 免因光学元件表面的颗粒物被带入镜头模组而导致成像质量不良的现象。
对所述光学元件进行干燥通常采用烘干干燥法或高速旋转干燥法。所述烘干干燥法是将 光学元件放置在一高温环境下并保持一段时间，从而将光学元件上附着的水份蒸发掉。然而 ，由于光学元件一般采用塑料或玻璃制成，故采用该方法对光学元件进行干燥容易使所述光 学元件受热不均而发生变形。所述高速旋转干燥法是将光学元件高速旋转，利用元件旋转时 产生的离心力将光学元件上附着的水份甩出而达到干燥的目的，然而该方法对于吸附在光学 元件微细结构内的水汽不能达到有效的干燥效果。
为了达到更好的干燥效果，业界引入了真空干燥法对光学元件进行干燥。真空干燥法是 将光学元件放置在真空干燥机的密闭室内并抽真空，通过降低密闭室内的压力从而降低水的 沸点，使依附在光学元件上的水份在较低温度下蒸发挥发而干燥所述光学元件。采用真空干 燥法对所述光学元件进行干燥可不受上述高温及光学元件自身结构的限制，保证良好的干燥 效果。然而，所述真空干燥机在干燥过程中，需要较长的时间对所述密闭室进行抽真空，从 而导致干燥效率较低。
有鉴于此，提供一种具有较高工作效率的真空干燥机及其干燥方法实为必要。
发明内容
下面将以具体实施例说明一种真空干燥机及其干燥方法，其具有较高的工作效率。 一种真空干燥机，其包括一装料腔、 一第一干燥腔、 一第二干燥腔、 一第三干燥腔及一 卸料腔，所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔分别相连通形成一干燥装置，所述装料 腔与所述卸料腔分别与所述干燥装置的两端相连通；四个隔离闸门，其分别设置于所述装料
腔与所述第一干燥腔之间、所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间、所述第二干燥腔与所述 第三干燥腔之间、以及所述第三干燥腔与所述卸料腔之间，以分别将所述装料腔、所述第一 干燥腔、所述第二干燥腔、所述第三干燥腔及所述卸料腔隔离； 一个装料闸门，其设置于所 述装料腔远离所述第一干燥腔的一侧； 一个卸料闸门，其设置于所述卸料腔远离所述第三干 燥腔的一侧；三个取料装置，其分别可旋转地设置在所述装料腔、所述第二干燥腔及所述卸 料腔内；以及一个抽气装置，其分别通过一抽气管与所述装料腔、所述第一干燥腔、第二干 燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔相连通，并进一步分别独立地对所述装料腔、所述第一干燥 腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔抽真空。
以及， 一种采用上述真空干燥机进行干燥的真空干燥方法，其包括步骤(a广(g):
(a) 关闭所述装料腔与所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述卸 料腔之间的隔离闸门，对所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第一真空状态 ，同时开启所述装料闸门，所述装料腔中的取料装置将待干燥的元件携取至装料腔中；
(b) 关闭所述装料闸门及所述卸料闸门，对所述装料腔及所述卸料腔抽真空至第一真空 状态，同时关闭所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第二干燥腔与 所述第三干燥腔之间的隔离闸门，对所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第 二真空状态，所述第二真空状态的真空度大于第一真空状态的真空度；
(c) 开启所述装料腔与所述第一干燥腔的之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述 卸料腔之间的隔离闸门，所述装料腔内的取料装置将位于所述装料腔中的元件携取至所述第 一干燥腔，同时所述抽气装置对所述第二干燥腔抽真空至第三真空状态，所述第三真空状态 的真空度大于所述第二真空状态的真空度；
(d) 关闭所述装料腔与所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述卸 料腔之间的隔离闸门，同时开启所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第二 干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，所述第二 干燥腔内的取料装置将位于所述第一干燥腔中的元件携取至所述第三干燥腔，所述装料腔中 的取料装置将另一待干燥的元件携取至所述装料腔内；
(e) 关闭所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间的隔离 闸门、以及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，对所述装料腔、所述卸料腔 抽真空至第一真空状态，同时对所述第二干燥腔抽真空至第三真空状态；
(f) 开启所述装料腔与所述第一干燥腔的之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述 卸料腔之间的隔离闸门，所述装料腔内的取料装置将位于所述装料腔中的元件携取至所述第
一干燥腔，所述卸料腔内的取料装置将位于所述第三干燥腔中的元件携取至所述卸料腔；
(g)关闭所述装料腔与所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述卸 料腔之间的隔离闸门，同时开启所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第二 干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，所述第二 干燥腔内的取料装置将所述第一干燥腔中的元件携取至所述第三干燥腔，所述卸料腔中的取 料装置将位于所述卸料腔中且已干燥完毕的元件携取至外界，所述装料腔中的取料装置将另 一待干燥的元件携取至装料腔中。
一种真空干燥机，其包括一装料腔、多个干燥腔及一卸料腔，所述多个干燥腔分别相连 通形成一干燥装置，所述装料腔与所述卸料腔分别与所述干燥装置的两端相连通；多个隔离 闸门，其分别设置于所述装料腔与所述多个干燥腔之间、所述多个干燥腔的每两个干燥腔之 间，及所述多个干燥腔与所述卸料腔之间，以分别将所述装料腔、所述多个干燥腔及所述卸 料腔隔离； 一个装料闸门，其设置于所述装料腔远离所述第一干燥腔的一侧； 一个卸料闸门 ，其设置于所述卸料腔远离所述第三干燥腔的一侧；多个取料装置，其分别选择性且可旋转 地设置在所述装料腔、所述多个干燥腔及所述卸料腔内；以及一个抽气装置，其分别通过一 抽气管与所述装料腔、所述多个干燥腔及所述卸料腔相连通，并进一步分别独立地对所述装 料腔、所述多个干燥腔及所述卸料腔抽真空。
相对于现有技术，所述真空干燥机及真空干燥法通过设置相连通的一装料腔、 一第一干 燥腔、 一第二干燥腔、 一第三干燥腔及一卸料腔并依次分别对其进行抽真空， 一方面，经由 控制所述装料腔的装料闸门、所述卸料腔的卸料闸门及隔离所述第一干燥腔、第二干燥腔、 第三干燥腔的各个隔离闸门的开启和闭合，并经由控制抽气装置对所述装料腔、所述第一干 燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔进行不同真空度的抽取，可使元件在先提升后 下降的真空环境下依次在所述装料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸 料腔内进行干燥，并在较低的真空环境下破真空而取出至外界，从而可有效地提高所述元件 的干燥效果并减小所述元件破真空所造成的能量浪费；另一方面，当所述元件进行干燥的时 候，可同时进行再次装载元件，或选择性地对所述装料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、 第三干燥腔及所述卸料腔进行抽真空的动作，从而可有效地利用时间，使所述真空干燥机及 真空干燥法获得较佳的工作效率。
图l是本发明第一实施例所提供的真空干燥机的结构示意图。 图2是本发明第一实施例所提供的真空干燥方法的工作过程图。图3是本发明第三实施例所提供的真空干燥机的结构示意图。
具体实施例方式
下面将结合附图对本发明实施例作进一步的详细说明。
请参阅图l，本发明第一实施例所提供的一种真空干燥机IO，其包括一装料腔12a、 一第 一干燥腔lla、 一第二干燥腔llb、 一第三干燥腔llc及一卸料腔12b;多个隔离闸门如隔离闸 门13a、 13b、 13c、 13d; —装料闸门14a; —卸料闸门14b;多个取料装置如取料装置15a、 15b、 15c;以及一个抽气装置16。
所述第一干燥腔l la、第二干燥腔l lb及第三干燥腔l lc分别相连通而形成一干燥装置l 1 ，所述所述第一干燥腔lla及第三干燥腔llc分别位于该干燥装置l 1的两端。所述装料腔12a 与所述第一干燥腔lla相连通，所述卸料腔12b与所述第三干燥腔llc相连通。所述装料腔 12a、第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及卸料腔12b均为密闭腔体，且该装 料腔12a、第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及卸料腔12b的腔体体积可设置 为相等。所述装料腔12a用于收容从外界进入的待干燥的元件20，如透镜、滤光片等光学元 件，并对该元件20进行初步干燥，以待送入所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三干燥 腔llc依次进行进一步干燥。所述卸料腔12b用于收容经所述第三干燥腔llc进行干燥的元件 20并对该元件20进行最后干燥，以便进一步将该元件20取出至外界，完成干燥过程。
所述隔离闸门13a、 13b、 13c、 13d分别设置于所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间 、所述第一干燥腔lla与所述第二干燥腔llb之间、所述第二干燥腔llb与所述第三干燥腔 llc之间、以及所述第三干燥腔llc与所述卸料腔12b之间，以分别将所述装料腔12a、所述第 一干燥腔lla、所述第二干燥腔llb、所述第三干燥腔llc及所述卸料腔12b隔离。
所述装料闸门14a设置于所述装料腔12a远离所述第一干燥腔lla的一侧，所述卸料闸门 14b设置于所述卸料腔12b远离所述第二干燥腔l lb的一侧。
所述取料装置15a、 15b及15c分别可旋转地设置在所述装料腔12a、所述第二干燥腔llb 及所述卸料腔12b内，其分别为可旋转伸縮式机械手臂。
所述抽气装置16分别通过一抽气管(未标示)与所述装料腔12a、所述第一干燥腔lla、第 二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b相连通，并进一步分别独立地对所述装料腔 12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b抽真空。该抽 气装置16可包括分别与所述装料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔 11c及所述卸料腔12b相连通的真空泵，如水环真空泵、罗茨真空泵、油封式真空泵、无油干 式机械真空泵等。请一并参阅图2，下面将对本发明第一实施例所述的真空干燥机10的工作过程进行详细 说明。
(a) 关闭所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间的隔离闸门13a、以及所述第三干燥 腔11 c与所述卸料腔12b之间的隔离闸门13d，对所述第一干燥腔11 a、第二干燥腔1 lb及第三 干燥腔llc抽真空至第一真空状态，同时开启所述装料闸门14a，所述装料腔12a中的取料装 置15a将待干燥的元件20携取至装料腔12a中。
具体地，打开所述抽气装置16，对所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三干燥腔 llc抽真空至第一真空状态，并定义该第一真空状态的真空度为P。
可以理解的是，当打开所述装料闸门14a时，外界的空气将进入所述装料腔12a，并使该 装料腔12a的真空度与外界空气的真空度相等，可设其为0，此时所述可旋转伸縮式机械手臂 15a可旋转靠近该装料闸门14a，并进一步伸长至外界，从而可将所述待干燥的元件20夹持， 并经由收縮动作将其移入所述装料腔12a内。
(b) 关闭所述装料闸门14a及所述卸料闸门14b，对所述装料腔12a及所述卸料腔12b抽真 空至第一真空状态，同时关闭所述第一干燥腔11 a与所述第二干燥腔11 b之间的隔离闸门13b
、以及所述第二干燥腔llb与所述第三干燥腔llc之间的隔离闸门13c，对所述第一干燥腔 lla、第二干燥腔llb及第三干燥腔llc抽真空至第二真空状态。
所述第二真空状态的真空度大于第一真空状态的真空度P，优选地，可定义该第二真空 状态的真空度为所述第一真空状态的真空度P的两倍，即为2P。
(c) 开启所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间的隔离闸门13a、以及所述第三干燥 腔11 c与所述卸料腔12b之间的隔离闸门13d，所述装料腔12a内的取料装置l5a将位于所述装 料腔12a中的元件20携取至所述第一干燥腔lla，同时所述抽气装置16对所述第二干燥腔1 lb 抽真空至第三真空状态。
所述第三真空状态的真空度大于所述第二真空状态的真空度2P，优选地，可定义所述第 三真空状态的真空度为所述第一真空状态的真空度P的三倍，S卩3P。
可以理解，当所述隔离闸门13a及13d开启时，由于原来所述装料腔12a及所述卸料腔 12b均处于真空度为P的第一真空状态，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均处于真空 度为2P的第二真空状态，且由于所述装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔 llc的腔体体积相等，故该装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔llc经抽真 空后的残留空气通过扩散流通后，将使该装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干 燥腔llc分别处于第四真空状态，且该第四真空状态的真空度为所述第一真空状态的真空度P
与所述第二真空状态的真空度2P的和的一半，即为l. 5P。
另外，当所述隔离闸门13a打开时，所述可旋转伸縮式机械手臂15a可旋转靠近该隔离闸 门13a并进一步伸长至所述装料腔12a，从而可将位于所述装料腔12a的元件20经由伸长动作 移动并放置于所述第一干燥腔lla内。当所述元件20放置于所述第一干燥腔lla内时，所述可 旋转伸縮式机械手臂15a的机械手臂可縮回至所述装料腔12a内。
(d) 关闭所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间的隔离闸门13a、所述第三干燥腔 11 c与所述卸料腔12b之间的隔离闸门13d，同时开启所述装料闸门14a、所述卸料闸门14b、 所述第一干燥腔lla与所述第二干燥腔llb之间的隔离闸门13b、以及所述第二干燥腔llb与所 述第三干燥腔l lc之间的隔离闸门13c，所述第二干燥腔l lb内的取料装置15b将所述第一干燥 腔lla中的元件携取至所述第三干燥腔llc，所述装料腔12a中的取料装置15a将另一待干燥的 元件20携取至所述装料腔12a内。
具体地，当所述隔离闸门13a及所述隔离闸门13d关闭，而所述隔离闸门13b及l3c开启时 ，由于所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均处于真空度为1.5P的第四真空状态，而所 述第二干燥腔llb处于真空度为3P的第三真空状态，且由于所述第一干燥腔、第二干燥腔 1 lb及第三干燥腔llc的腔体体积相等，故该第一干燥腔、第二干燥腔llb及第三干燥腔llc经 抽真空后的残留空气通过进一步扩散流通后，将使该第一干燥腔lla、第二干燥腔llb及第三 干燥腔llc同时处于真空度为2P的第二真空状态。此时所述可旋转伸縮式机械手臂15b可旋转 靠近所述隔离闸门13b并伸长至所述第一干燥腔lla，从而可将位于该第一干燥腔lla内的元 件20夹持，并经由收縮动作将该元件20移动至所述第二干燥腔llb中，进一步地，所述可旋 转伸縮式机械手臂15b旋转靠近所述隔离闸门13c并伸长至所述第三干燥腔llc内，将元件20 移动并放置于所述第三干燥腔llc内。当所述元件20放置于所述第三干燥腔llc内时，所述可 旋转伸縮式机械手臂15b的机械手臂可縮回至所述第二干燥腔llb内。
另外，当所述装料闸门14a打开时，外界的空气将进入所述装料腔12a并使该装料腔12a 的真空度与外界空气的真空度相等，所述装料腔12a的真空度变为0，此时所述可旋转伸縮式 机械手臂15a可旋转靠近所述装料闸门14a并进一步伸长至外界，从而可将另一待干燥的元件 20夹持，并经由收縮动作将该待干燥的元件20移入所述装料腔12a内。
可以理解的是，当所述卸料闸门14b打开时，外界的空气也将进入所述卸料腔12b，使得 所述卸料腔12b真空度也变为0。
(e) 关闭所述装料闸门14a、所述卸料闸门14b、所述第一干燥腔lla与所述第二干燥腔 1 lb之间的隔离闸门13b、以及所述第二干燥腔llb与所述第三干燥腔llc之间的隔离闸门13c
，对所述装料腔12a、所述卸料腔12b抽真空至第一真空状态，同时对所述第二干燥腔llb抽 真空至第三真空状态。
在该过程中，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc的保持真空度为2P的第二真度状 态不变。
(f) 开启所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间的隔离闸门13a、以及所述第三干燥 腔11 c与所述卸料腔12b之间的隔离闸门13d，所述装料腔12a内的取料装置l5a将位于所述装 料腔12a中的元件20携取至所述第一干燥腔lla，所述卸料腔12b内的取料装置15c将位于所述 第三干燥腔中11 c的元件携取至所述卸料腔12b 。
可以理解，当所述隔离闸门13a及13d开启时，由于原来所述装料腔12a及所述卸料腔 12b均处于真空度为P的第一真空状态，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均处于真空 度为2P的第二真空状态，且由于所述装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔 llc的腔体体积相等，故该装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及第三干燥腔llc经抽真 空后的残留空气通过进一步扩散流通后，将使该装料腔12a、卸料腔12b、第一干燥腔lla及 第三干燥腔llc分别处于真空度为l. 5P的第四真空状态。
另外，当所述隔离闸门13a打开时，所述可旋转伸縮式机械手臂15a可旋转靠近该隔离闸 门13a并进一步伸长至所述装料腔12a，从而可将位于所述装料腔12a的元件20经伸长动作而 移动至所述第一干燥腔lla内。当所述隔离闸门13d打开时，所述可旋转伸縮式机械手臂15c 可旋转靠近该隔离闸门13d并进一步伸长至第三干燥腔llc，从而可将位于所述第三干燥腔 11c的元件20夹持，并经由收縮动作将该元件20移入所述卸料腔12b中。
(g) 关闭所述装料腔12a与所述第一干燥腔lla之间的隔离闸门13a、以及所述第三干燥 腔11 c与所述卸料腔12b之间的隔离闸门13d，同时开启所述装料闸门14a、所述卸料闸门14b
、所述第一干燥腔lla与所述第二干燥腔llb之间的隔离闸门13b、以及所述第二干燥腔llb与 所述第三干燥腔l lc之间的隔离闸门13c，所述第二干燥腔l lb内的取料装置15b将所述第一干 燥腔lla中的元件20携取至所述第三干燥腔llc内，所述卸料腔12b中的取料装置15c将位于所 述卸料腔12b中且已干燥完毕的元件20携取至外界，所述装料腔12a中的取料装置15a将另一 待干燥的元件20携取至所述装料腔12a内。
具体地，当所述隔离闸门13a及隔离闸门13d关闭，而所述隔离闸门13b及隔离闸门13c开 启时，由于原来所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc均处于真空度为l. 5P的第四真空状 态，而所述第二干燥腔llb处于真空度为3P的第三真空状态，而所述第一干燥腔、第二干燥 腔llb及第三干燥腔llc的腔体体积分别相等，故该第一干燥腔、第二干燥腔llb及第三干燥
腔llc经抽真空后的残留空气通过进一步扩散流通后，将使该第一干燥腔lla、第二干燥腔 11b及第三干燥腔llc同时处于真空度为2P的第二真空状态。此时所述可旋转伸縮式机械手臂 15b可旋转靠近所述隔离闸门13b并伸长至所述第一干燥腔lla，从而将位于该第一干燥腔 11a内的元件20夹持，并经由收縮动作将该元件20移动至所述第二干燥腔llb内，进一步地， 所述可旋转伸縮式机械手臂15b旋转靠近所述隔离闸门13c并伸长至所述第三干燥腔11 c，将 元件20移动并放置于所述第三干燥腔llc内。当所述元件20放置于所述第三干燥腔llc内时， 所述可旋转伸縮式机械手臂15b的机械手臂可縮回至所述第二干燥腔llb内。
另外，当所述卸料闸门14b打开时，外界的空气将进入所述卸料腔12b，使得所述卸料腔 12b真空度也变为0，此时位于所述卸料腔12b内的可旋转伸縮式机械手臂15c可将位于该卸料 腔12b内的且已干燥完毕的元件20夹持并旋转靠近所述卸料闸门14b，再伸长至外界，从而可 将该已干燥完毕的元件20移动至外界。
可以理解的是，当所述装料闸门14a打开时，外界的空气也将进入所述装料腔12a并使该 装料腔12a的真空度与外界空气的真空度相等，使得所述装料腔12a的真空度变为0，此时所 述可旋转伸縮式机械手臂15a可旋转靠近该装料闸门14a并进一步伸长至外界，从而可将另一 待干燥的元件20夹持，并经由收縮动作将该待干燥的元件20移动至所述装料腔12a内。
重复所述循环步骤(e)、 (f)、 (g)，即可实施连续不断的干燥。
由上述干燥过程可知，所述元件20将分别经历真空度为P的第一真空度、真空度为1.5P 的第四真空度、真空度为2P的第二真空度及真空度为1.5P的第四真空度的四个干燥过程。即 该元件20经历了真空度由低至高，再由高至低的干燥过程。所述真空度由低至高的干燥过程 有利于提高所述元件20的干燥效果，而所述真空度由高至低的干燥过程则可使所述元件20在 较低的真空度环境下进入外界，以避免真空度忽然下降所造成的能量损失。
可以理解的是，所述第一干燥腔lla及所述第三干燥腔llc还可分别进一步可旋转地设置 一取料装置(图未示)，以方便利用其携取所述元件20进行传输，当然，该取料装置也可分别 为可旋转伸縮式机械手臂。
本发明第一实施例所述的真空干燥机10通过设置相连通的一装料腔12a、 一第一干燥腔 lla、 一第二干燥腔llb、 一第三干燥腔llc及一卸料腔12b并依次分别对其进行抽真空， 一方 面，经由控制所述装料腔12a的装料闸门14a、所述卸料腔12b的卸料闸门14b及隔离所述第一 干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc的各个隔离闸门13a、 13b、 13c、 13d的开启和 闭合，并经由控制抽气装置16对所述装料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第 三干燥腔llc及所述卸料腔12b进行不同真空度的抽取，可使元件20在先提升后下降的真空环
境下依次在所述装料腔12a、所述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸 料腔12b内进行干燥，并在真空度为1.5P的较低真空环境下破真空而取出至外界，从而可有 效地提高所述元件20的干燥效果并减小该元件20破真空所造成的能量浪费；另一方面，当所 述元件20进行干燥的时候，可同时进行再次装载元件20，或选择性地对所述装料腔12a、所 述第一干燥腔lla、第二干燥腔llb、第三干燥腔llc及所述卸料腔12b进行抽真空的动作，从 而可有效地利用时间，使所述真空干燥机10获得较佳的工作效率。
请参阅图3，本发明第二实施例所提供的一种真空干燥机30，其包括一装料腔32a，多个 干燥腔如干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b，及一卸料腔32b;多个隔离闸门如 隔离闸门33a、 33b、 33c、 33d、 33e、 33f、 33g; —装料闸门34a; —卸料闸门34b;多个取 料装置如取料装置35a、 35b、 35c、 35d、 35e、 35f、 35g、 35h;以及一个抽气装置36。
所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b分别相连通形成一干燥装置33，所述 装料腔32a与所述干燥腔311a相连通，所述卸料腔32b与所述干燥腔313b相连通。所述装料腔 32a用于收容从外界进入的待干燥的元件30，如透镜、滤光片等光学元件，并对该元件30进 行初步干燥，以待送入所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b依次进行进一步干 燥。所述卸料腔32b用于收容经所述干燥腔313b进行干燥的元件30并对该元件30进行最后干 燥，以便进一步将该元件30取出至外界，完成干燥过程。
所述隔离闸门33a、 33b、 33c、 33d、 33e、 33f、 33g分别设置于所述装料腔32a、所述干 燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b之间，以分别将所述装料腔 32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b隔离。
所述装料闸门34a设置于所述装料腔32a远离所述干燥腔311 a的一侧，所述卸料闸门34b 设置于所述卸料腔32b远离所述干燥腔313b的一侧。
所述取料装置35a、 35b、 35c、 35d、 35e、 35f、 35g及35h分别可旋转地设置在所述装料 腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b内，其分别为可 旋转伸縮式机械手臂。
所述抽气装置36分别一抽气管(未标示)与所述装料腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b相连通，并进一步分别分别独立地对所述装料腔 32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所述卸料腔32b抽真空。该抽气装 置16可包括分别与所述装料腔32a、所述干燥腔311a、 311b、 312a、 312b、 313a、 313b及所 述卸料腔32b相连通的真空泵，如水环真空泵、罗茨真空泵、油封式真空泵、无油干式机械 真空泵等。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它 各种对应的改变与变形，如变更弹性元件的种类，而所有这些改变与变形都应属于本发明权 利要求的保护范围。
权利要求
1.一种真空干燥机，其包括一装料腔、一第一干燥腔、一第二干燥腔、一第三干燥腔及一卸料腔，所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔分别相连通形成一干燥装置，所述装料腔与所述卸料腔分别与所述干燥装置的两端相连通；四个隔离闸门，其分别设置于所述装料腔与所述第一干燥腔之间、所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间、所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间、以及所述第三干燥腔与所述卸料腔之间，以分别将所述装料腔、所述第一干燥腔、所述第二干燥腔、所述第三干燥腔及所述卸料腔隔离；一个装料闸门，其设置于所述装料腔远离所述第一干燥腔的一侧；一个卸料闸门，其设置于所述卸料腔远离所述第三干燥腔的一侧；三个取料装置，其分别可旋转地设置在所述装料腔、所述第二干燥腔及所述卸料腔内；以及一个抽气装置，其分别通过一抽气管与所述装料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔相连通，并进一步分别独立地对所述装料腔、所述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔抽真空。
2.如权利要求l所述的真空干燥机，其特征在于，所述取料装置为 可伸縮式旋转机械手臂。
3.如权利要求l所述的真空干燥机，其特征在于，所述装料腔、所 述第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及所述卸料腔的腔体体积相等。
4.如权利要求l所述的真空干燥机，其特征在于，所述抽气装置包 括多个真空泵。
5.如权利要求4所述的真空干燥机，其特征在于，所述真空泵选自 水环真空泵、罗茨真空泵、油封式真空泵及无油干式机械真空泵。
6. 一种真空干燥方法，其包括步骤(a)提供一种如权利要求l所 述的真空干燥机； (b) 关闭所述装料腔与所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述 卸料腔之间的隔离闸门，对所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至第一真空状 态，同时开启所述装料闸门，所述装料腔中的取料装置将待干燥的元件携取至装料腔中；(c) 关闭所述装料闸门及所述卸料闸门，对所述装料腔及所述卸料腔抽真空至第一真 空状态，同时关闭所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第二干燥腔 与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，对所述第一干燥腔、第二干燥腔及第三干燥腔抽真空至 第二真空状态，所述第二真空状态的真空度大于第一真空状态的真空度；(d) 开启所述装料腔与所述第一干燥腔的之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所 述卸料腔之间的隔离闸门，所述装料腔内的取料装置将位于所述装料腔中的元件携取至所述 第一干燥腔，同时所述抽气装置对所述第二干燥腔抽真空至第三真空状态，所述第三真空状 态的真空度大于所述第二真空状态的真空度；(e) 关闭所述装料腔与所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述 卸料腔之间的隔离闸门，同时开启所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第 二干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，所述第 二干燥腔内的取料装置将位于所述第一干燥腔中的元件携取至所述第三干燥腔，所述装料腔 中的取料装置将另一待干燥的元件携取至所述装料腔内；(f) 关闭所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间的隔 离闸门、以及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，对所述装料腔、所述卸料 腔抽真空至第一真空状态，同时对所述第二干燥腔抽真空至第三真空状态；(g)开启所述装 料腔与所述第一干燥腔的之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述卸料腔之间的隔离闸 门，所述装料腔内的取料装置将位于所述装料腔中的元件携取至所述第一干燥腔，所述卸料 腔内的取料装置将位于所述第三干燥腔中的元件携取至所述卸料腔；(h)关闭所述装料腔与 所述第一干燥腔之间的隔离闸门、以及所述第三干燥腔与所述卸料腔之间的隔离闸门，同时 开启所述装料闸门、所述卸料闸门、所述第一干燥腔与所述第二干燥腔之间的隔离闸门、以 及所述第二干燥腔与所述第三干燥腔之间的隔离闸门，所述第二干燥腔内的取料装置将所述 第一干燥腔中的元件携取至所述第三干燥腔，所述卸料腔中的取料装置将位于所述卸料腔中 且已干燥完毕的元件携取至外界，所述装料腔中的取料装置将另一待干燥的元件携取至装料 腔中。
7.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述第二真空 状态的真空度为所述第一真空状态的真空度的两倍。
8.如权利要求6所述的真空干燥方法，其特征在于，所述第三真空 状态的真空度为所述第一真空状态的真空度的三倍。
9. 一种真空干燥机，其包括一装料腔、多个干燥腔及一卸料腔，所 述多个干燥腔分别相连通形成一干燥装置，所述装料腔与所述卸料腔分别与所述干燥装置的 两端相连通；多个隔离闸门，其分别设置于所述装料腔与所述多个干燥腔之间、所述多个干燥腔的 每两个干燥腔之间，及所述多个干燥腔与所述卸料腔之间，以分别将所述装料腔、所述多个 干燥腔及所述卸料腔隔离；一个装料闸门，其设置于所述装料腔远离所述第一干燥腔的一侧； 一个卸料闸门，其设置于所述卸料腔远离所述第三干燥腔的一侧；多个取料装置，其分别选择性且可旋转地设置在所述装料腔、所述多个干燥腔及所述 卸料腔内；以及一个抽气装置，其分别通过一抽气管与所述装料腔、所述多个干燥腔及所述卸料腔相 连通，并进一步分别独立地对所述装料腔、所述多个干燥腔及所述卸料腔抽真空。
全文摘要
本发明涉及一种真空干燥机，该真空干燥机包括分别相连通的一装料腔、一第一干燥腔、一第二干燥腔、一第三干燥腔及一卸料腔；四个隔离闸门，其分别设置于该装料腔、该第一干燥腔、该第二干燥腔、该第三干燥腔与该卸料腔之间；一设置于该装料腔远离该第一干燥腔的一侧的装料闸门；一设置于该卸料腔远离该第三干燥腔的一侧的卸料闸门；三个取料装置，其分别可旋转地设置在该装料腔、该第二干燥腔及该卸料腔内；以及一个抽气装置，其分别通过一抽气管与该装料腔、该第一干燥腔、第二干燥腔、第三干燥腔及该卸料腔相连通。本发明还提供一种真空干燥方法。所述真空干燥机及真空干燥法具有干燥效果好、干燥效率高的特点。
文档编号F26B5/04GK101338967SQ20071020102
公开日2009年1月7日 申请日期2007年7月6日 优先权日2007年7月6日
发明者张仁淙 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司