专利名称：多室型热处理装置及温度控制方法
技术领域：
本发明涉及将处理对象物在加热室内加热处理、接着移动到冷却室内、在冷却室 内进行冷却处理的多室型热处理装置和其温度控制方法。
背景技术：
所谓多室型热处理装置，是具备将处理对象物加热处理的加热室、和将在加热室 中加热处理后的处理对象物冷却处理的冷却室、将处理对象物在加热室与冷却室之间输送 而热处理的热处理装置。在该多室型热处理装置中，在需要测量热处理中的处理对象物的温度的情况下， 以往如在专利文献1中公开那样，在处理对象物上安装温度传感器，将处理对象物与存储 借助该温度传感器的温度检测结果的数据记录器一起输送。即，在此情况下，在加热室及冷却室内，与处理对象物一起存在数据记录器。该数 据记录器由于被与处理对象物一起被加热处理，所以收容在耐热性、绝热性良好的盒中。并 且，将数据记录器在处理对象物的冷却处理完成后从冷却室内取出，根据存储在数据记录 器中的温度测量结果掌握热处理中的处理对象物的温度。但是，专利文献1的方法具有加热室内及冷却室内的处理对象物的配置空间变 窄、并且不能实时地测量处理对象物的温度的问题。所以，为了解决该问题，本发明的发明者创想出专利文献2、3的发明并已经提出 申请°专利文献2的目的是缩小配置在热处理炉内的温度测量装置的专有空间、将热处 理炉内的处理对象物的配置空间确保得较大并且实时地测量配置在热处理炉内的处理对 象物的温度。因此，该发明如图1所示，是至少具备将处理对象物X加热处理的加热室53、和将 在加热室53中加热处理后的处理对象物X冷却处理的冷却室52的多室型热处理装置，具 备固定在用来输送处理对象物X的托盘的规定部位上的传感器部51、与传感器部51电气地 连接并且配置在外部的测量部(未图示)、通过在一端部上连接传感器部51并且在另一端 部上连接测量部而将传感器部51与测量部电气地连接的连接线54、和配置在冷却室52内 并且能够卷绕上述连接线54的卷轴部(未图示)。专利文献3的目的是将加热室内及冷却室内的处理对象物的配置空间确保得较 大并且通过实时地测量处理对象物的温度来准确地进行冷却控制。因此，该发明如图2所示，是至少具备将处理对象物X加热处理的加热室53、和将 在加热室中加热处理后的处理对象物X冷却处理的冷却室52的多室型热处理装置，具备检 测冷却室52内的处理对象物的温度、输出表示该温度的温度检测信号的温度传感器51、配 置在加热室及冷却室的外部、并且基于从温度传感器51输入的温度检测信号表示的冷却 室内的处理对象物的温度控制冷却处理的冷却控制部56、和将上述温度传感器与上述冷却 控制部连接的连接线54。
专利文献1 特开平9-280968号公报专利文献2 特开2005-241132号公报专利文献3 特开2007-46123号公报但是，在上述专利文献2、3中，由于没有用来承受作用在连接线54上的张紧的固 定机构，所以在卷绕张紧较强的情况下，装填在加热室中的处理对象物有可能移动。因此， 不能应用到需要由卷轴部卷绕较长的距离的大型炉中。此外，在上述专利文献2、3的多室型热处理装置的情况下，在加热室中将处理对 象物加热处理的期间中，有不能将冷却室的真空屏蔽门密闭的问题。因此，在处理对象物的加热处理中，冷却室内的气体环境变得与加热室相同，有在 加热处理后必须将处理对象物收容到冷却室内后将冷却室再次减压、再调节气体环境的问题。此外，在加热室中将处理对象物加热处理的期间中，由于在由加热室的绝热门咬 住信号线的状态下将绝热门封闭，所以有绝热门与信号线的间隙较大、加热中的热泄露到 外部的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而创想出的。即，本发明的目的是提供能够将处理对 象物在加热室内加热处理、接着移动到冷却室内、在冷却室内冷却处理、能够实时地测量加 热处理中及冷却处理中的处理对象物的温度、并且即使在卷绕张紧较强的情况下、装填在 加热室中的处理对象物也没有移动的可能性的多室型热处理装置及温度控制方法。此外，本发明的另一目的是提供在加热室处理中抑制加热室的绝热门的放热、并 且能够进行冷却室的真空屏蔽门的密封、由此能够独立地控制加热室和冷却室的气体环境 的多室型热处理装置及温度控制方法。根据本发明，提供一种多室型热处理装置，具备加热室，内置具有能够使载置有 处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在内部将处理对象物加热处理的加热容器； 绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室，相邻于上述加热室，具有载置有处理对象 物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2开口，在内部将处理对象物冷却；真空屏 蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在上述加热室与冷却室之间将载置有处理 对象物的上述移送台水平地移送；其特征在于，具备安装在处理对象物上的温度传感器、和将该温度传感器的检测 信号传送到上述加热室及冷却室的外部的信号传送装置。根据本发明的优选的实施方式，具备配置在上述加热室及冷却室的外部、根据从 信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度的温度测量装置。此外，上述信号传送装置具有柔性的张紧部件，一端固定在上述移送台上，穿过上述第1开口及第2开口延伸， 另一端在冷却室内被水平地卷绕；信号线，在一端上具有与上述温度传感器的输出线连接的连接器，沿着上述张紧 部件延伸到另一端；卷轴装置，一边对上述张紧部件附加卷绕方向的张紧，一边将张紧部件与信号线
5一起卷绕；外部输出线，经由上述卷轴装置与上述信号线的另一端连接，将上述检测信号传 送到上述冷却室的外部。上述张紧部件具有当将上述第1开口用绝热门封闭时、被夹持在绝热门与加热容 器之间而将该部分密封的第1夹持部。上述第1夹持部由将上述耐热绳部件与上述温度传感器的输出线扎束为对应于 绝热门与加热室的间隙的薄板状的具有耐受加热室内的温度的耐热性的第1耐热密封材 构成。此外，上述张紧部件具有在将上述第2开口用真空屏蔽门封闭时、被夹持在真空 屏蔽门与冷却室之间、将该部分密封的第2夹持部。上述张紧部件由以下部分构成耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到 冷却室内，具有耐受加热室内及冷却室内的温度的耐热性；柔性软管，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有 至少耐受冷却室内的温度的耐热性。上述第2夹持部设在上述耐热绳的中间位置上，由将连结上述耐热绳部件的导引 带板和上述信号线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第2耐热密封 材构成，并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。此外，根据另一优选的实施方式，上述张紧部件由以下部分构成耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到 第1开口与第2开口的中间位置，具有耐受加热室内的温度的耐热性；导引带板，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有 至少耐受冷却室内的温度的耐热性。上述第2夹持部设在上述导引带板的中间位置上，由将上述导引带板和上述信号 线扎束而一体成形的具有耐受冷却室内的温度的耐热性的第2耐热密封材构成，并且具有 真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。此外，根据本发明，提供一种多室型热处理装置的温度控制方法，该多室型热处理 装置具备加热室，内置具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在 内部将处理对象物加热处理的加热容器；绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室， 相邻于上述加热室，具有载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2 开口，在内部将处理对象物冷却；真空屏蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在 上述加热室与冷却室之间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送；其特征在于，将安装在处理对象物上的温度传感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外 部；在上述加热室及冷却室的外部，根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信 号测量处理对象物的温度；基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。根据上述本发明的装置及方法，由于具备将处理对象物加热处理的加热室、绝热门、将处理对象物冷却的冷却室、真空屏蔽门、以及在加热室与冷却室之间将载置有处理对 象物的移送台水平移送的移送装置，所以能够将处理对象物在加热室内加热处理、接着移 动到冷却室内、在冷却室内冷却处理。此外，由于具备安装在处理对象物上的温度传感器、和将温度传感器的检测信号 传送到加热室及冷却室的外部的信号传送装置，所以能够将安装在处理对象物上的温度传 感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外部、在加热室及冷却室的外部根据从信号传送 装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度、实时地测量加热处理中及冷却 处理中的处理对象物的温度。此外，由于上述张紧部件由一端固定在上述移动台上的耐热绳部件、和前端固定 在耐热绳部件的末端上且末端卷绕在卷轴装置上的柔性软管或导引带板构成，还具有设在上述耐热绳部件的中间位置上的第1夹持部，所以在将第1开口用绝热门封闭时，第1夹持部被夹持在绝热门与加热容器之间， 所以将该部分绝热密封，并且在处理对象物上没有作用张紧，所以即使是卷绕张紧较强的 情况，装填在加热室中的处理对象物也没有移动的可能性。此外，由于具有设在上述耐热绳部件或导引带板的中间位置上的第2夹持部，所 以在将第2开口用真空屏蔽门封闭时，通过第2夹持部被夹持在真空屏蔽门与冷却室之间 而将该部分密封，在加热室处理中抑制加热室的绝热门的放热，并且能够进行冷却室的真空屏蔽门 的密封，由此能够独立地控制加热室与冷却室的气体环境。因而，在加热室及冷却室的外部，能够根据从信号传送装置传送的温度传感器的 检测信号测量处理对象物的温度，基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。
图1是专利文献2的多室型热处理装置的示意图。图2是专利文献3的多室型热处理装置的示意图。图3是表示本发明的多室型热处理装置的一实施方式的横剖视图。图4是信号传送装置的第1实施方式的整体结构图。图5是信号传送装置的第2实施方式的整体结构图。图6是表示载置有处理对象物的移送台与第1夹持部的位置关系的图。图7是表示关闭了绝热门的加热容器与第1夹持部的位置关系的图。图8A是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第1图。图8B是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第2图。图8C是表示真空屏蔽门与冷却室的分隔壁之间的密封构造的第3图。图9A是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第1示意图。图9B是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第2示意图。图9C是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第3示意图。图9D是表示本发明的多室型热处理装置的使用方法的第4示意图。
具体实施例方式以下，参照
本发明的优选的实施例。另外，对于在各图中共通的部分赋予 相同的附图标记，省略重复的说明。图3是表示本发明的多室型热处理装置的一实施方式的横剖视图。如该图所示，本发明的多室型热处理装置1是具备将处理对象物X冷却的冷却室 2、和将处理对象物X加热的加热室3的多室型热处理装置，除了这些以外，在冷却室2与加 热室3之间具有中间室4。冷却室2是大致中空圆筒形的气密容器，设定姿势以使圆筒形的中心轴为水平。 在冷却室2的一侧(图的右侧)设置有沿冷却室2的轴向水平移动的离合器式的门5。门 5为了将处理对象物X收容到冷却室2中而使用。此外，在另一侧(图的左侧)的分隔壁2a的开口 7a(第2开口)上，设置有上下 开闭的夹紧式的真空屏蔽门6。多室型热处理装置1的内侧空间在门5关闭的状态下成为 与外部遮断的密闭状态。在该冷却室2的内部，设置有沿冷却室2的中心轴方向较长的大致长方体形的风 路室7，在风路室7的上方及下方分别设置有调节冷却室2内的冷却气体的流路方向的气体 流导引板(未图示)。此外，风路室7外的冷却室2的内部被未图示的分隔板上下划分。在风路室7的上壁部及下壁部上，分别形成有使冷却气体整流通过的栅格状的整 流板9a、9b。此外，在风路室7的内部，沿托盘10的移送方向旋转自如地具备用来将载置处 理对象物X的托盘10沿冷却室2的轴向移送的多个自由辊12。此外，托盘10例如形成为 栅格状，以使冷却气体能够通过。在该例中，在冷却室2的侧面(图中的风路室7的背面)上，具备未图示的热交换 器、冷却风扇及风门。热交换器通过将水与冷却气体热交换而将冷却气体冷却。冷却风扇由未图示的冷 却风扇马达驱动，调节通过热交换器内的冷却气体的风量。风门调节冷却气体对处理对象 物X的喷吹方向(冷却风向)。通过上述热交换器、冷却风扇及风门，控制通过冷却室2的整流板9a、9b而沿上下 方向流动的冷却气体的温度和流速，能够调节处理对象物X的冷却速度。另一方面，加热室3被形状设定为水冷双层壁的大致圆筒形，在内壁与外壁之间 夹设着水，对置于冷却室2而配置。此外，在连结在加热室3上的输送棒收纳室21的内部， 设置有用来在多室型热处理装置1的内部、通过将载置有处理对象物X的托盘10水平输送 来输送处理对象物X的输送棒22。在该例中，输送棒22的末端(在图中是左端)连结在链上，通过链轮的旋转而移 动链，使输送棒22水平移动，将与其卡合的托盘10水平输送。在加热室3的内部设置有形状设定为大致长方形的加热容器23。在该加热容器 23的一侧(与冷却室2对置的一侧)的开口 23a(第1开口)上设置有上下开闭的绝热门 24(加热室门)，在另一侧设置有作为输送棒22的出入口的输送棒用门25。该输送棒用门 25由从加热室3的外壁突出而设置的升降机构26沿上下方向开闭。在加热容器23的内部，设置有用来将载置有处理对象物X的托盘10沿加热室3 的轴向移送的多个自由辊27，该自由辊27配置在设置于风路室7内部的自由辊12的延长
8线上(通行线)。另外，输送棒用门25、移送台28及托盘10与绝热门24同样绝热设计。此外，在 加热容器23的内部，在处理对象物X的上下设置有多个用来将处理对象物X加热的加热器 (未图示)，以使其将处理对象物X的整体均勻地加热。另一方面，中间室4形状设定为中空的大致方形状，配置在冷却室2与加热室3之 间。在其上部，设置有用来使真空屏蔽门6升降的升降装置28和用来使绝热门24升降的 升降装置29。此外，在冷却室2、加热室3及中间室4的外部，设置有减压装置(未图示)。该减压 装置是用来将冷却室2及加热室3的内部抽真空的装置，分别连接在冷却室2及加热室3上。此外，在冷却室2、加热室3及中间室4的外部，还设置有冷却气体供给装置(未图 示)。该冷却气体供给装置基于从冷却控制部输入的冷却气体控制信号以规定的压力将冷 却气体供给到冷却室2内。另外，在多室型热处理装置1的维护作业时，有对作为冷却室2的外部的加热室3 及中间室4供给冷却气体的情况，所以冷却气体供给装置也连接在中间室上。如上所述，加热室3具有在内部将处理对象物X加热处理的功能，在加热容器23 的冷却室2侧具有载置有处理对象物X的移送台10能够水平通过的第1开口 23a。该第1 开口 23a构成为可通过绝热门24的升降而开闭。此外，冷却室2具有在内部将处理对象物X冷却的功能，相邻于加热室3，具有载置 有处理对象物X的移送台10能够从加热室水平通过的第2开口 7a。该第2开口 7a构成为 可通过真空屏蔽门6的升降而开闭。进而，通过输送棒22、链及链轮构成在加热室3与冷却室2之间将载置有处理对象 物X的移送台10水平移送的移送装置20。另外，移送装置20并不限定于该结构，也可以是 其他构造，例如也可以将输送棒22用所需长度的直线状的棒材构成、用齿条_小齿轮等使 其水平移动，也可以通过辊道炉床那样的结构从加热室移送到冷却室。在图3中，本发明的多室型热处理装置1还具备安装在处理对象物X上的温度传 感器31、信号传送装置30及温度测量装置40。信号传送装置30具有将温度传感器31的检测信号传送到加热室3及冷却室2的 外部的功能。此外，温度测量装置40配置在加热室3及冷却室2的外部，根据从信号传送 装置30传送的温度传感器31的检测信号测量处理对象物的温度。图4是信号传送装置30的第1实施方式的整体结构图。如该图所示，信号传送装置30具备张紧部件32、信号线34、卷轴装置36及外部输 出线38。张紧部件32是绳状、软管状或带板状的柔性部件，一端(图中左端)固定在移送 台10上，另一端在冷却室内被卷轴装置36水平地卷绕。另外，在该图中，37是带轮，具有将 张紧部件32向卷轴装置36导引的功能。此外，张紧部件32当移送台10位于加热室3内时，穿过加热室3的开口(第1开 口 23a)及冷却室的开口(第2开口 7a)被从卷轴装置36卷回，大致水平地延伸。信号线34是柔性的电信号线，在一端上具有与温度传感器31的输出线连接的连 接器33。此外，该信号线34沿着张紧部件32延伸到另一端，连接到设在卷轴装置36上的
9输出触点(未图示)上。卷轴装置36 —边对张紧部件32附加卷绕方向的张紧一边将张紧部件32与信号 线34 —起卷绕。外部输出线38经由卷轴装置36与信号线34的另一端连接，将温度传感器31的 检测信号传送到冷却室2的外部。在该例中，信号线34穿过具有耐受冷却室内的温度的耐热性的柔性软管35a连接 在卷轴装置36的输出触点上。该软管35a使张紧不作用在信号线34上，作为张紧部件32 的一部分发挥功能。在图4中，张紧部件32由耐热绳部件32a和柔性软管35a构成。耐热绳部件32a由具有耐受加热室内的温度(例如1200 1400°C )的耐热性的 材料、例如石墨绳构成。该耐热绳部件32a的一端固定在移送台10上。耐热绳部件32a的 长度设定为当移送台10位于加热室3内时、另一端位于冷却室2内的长度。柔性软管35a由具有至少耐受冷却室2内的温度(例如200 300°C )的耐热性 的中空的弹性软管构成。该柔性软管35a的前端固定在耐热绳部件32a的末端(在图中是 右端)上，后端侧末端卷绕在卷轴装置36上。进而，在张紧部件32上，设有第1夹持部42和第2夹持部44 (弹性部)。图5是信号传送装置30的第2实施方式的整体结构图。在该例中，软管35a被连结线35b把持在张紧部件32上，不使张紧作用在信号线 34上而与张紧部件32 —起移动。在图5中，张紧部件32由耐热绳部件32a和导引带板32b构成。耐热绳部件32a由具有耐受加热室内的温度(例如1200 1400°C )的耐热性的 材料、例如石墨绳构成。该耐热绳部件32a的一端固定在移送台10上。耐热绳部件32a的 长度设定为当移送台10位于加热室3内时、另一端位于第1开口 23a和第2开口 7a的中 间位置的长度。导引带板32b由具有至少耐受冷却室2内的温度(例如200 300°C )的耐热性 的弹性带板(例如不锈钢带板)构成。该导引带板32b的前端固定在耐热绳部件32a的末 端(在图中是右端)上，后端侧末端卷绕在卷轴装置36上。其他结构与图2是同样的。图6是表示载置有处理对象物X的移送台10与第1夹持部42的位置关系的图， 图7是表示关闭了绝热门24的加热容器23与第1夹持部42的位置关系的图。如图3 图7所示，第1夹持部42设在耐热绳部件32a的中间位置上，具有当将 加热室3的第1开口 23a用绝热门24封闭时、夹持在绝热门24与加热室(加热容器23) 之间、将该部分某种程度地密封的功能。第1夹持部42由具有耐受加热室3内的温度的耐热性的第1耐热密封材(例如 石墨绳)构成，是将耐热绳部件32a和温度传感器31的输出线扎束为对应于绝热门24与 加热室(加热容器23)的间隙的薄板状的结构。通过该结构，如图6所示，在将载置有处理对象物X的移送台10收容在加热室(加 热容器23)内的状态下，由于张紧部件32 (耐热绳部件32a)的一端固定在移送台10上、张 紧部件32的另一端在冷却室内被水平地卷绕，所以张紧部件32成为穿过第1开口 23a及第2开口 7a大致水平地延伸的状态。此外，在此状态下，连接器33处于比第1夹持部42靠卷绕侧，温度传感器31的输 出线设定得比到连接器33的所需长度长足够多，所以在温度传感器31的输出线上不作用 张紧。接着，如果在图6的状态下使绝热门24下降而将加热室3的第1开口 23a用绝热 门24封闭，则如图7所示，第1夹持部42被夹持在绝热门24与加热室(加热容器23)之 间而将该部分密封，能够通过绝热门24将加热容器23内的高温向外部的传递遮断。在此状态下，也由于温度传感器31的输出线设定得比到连接器33的所需长度长 足够多，所以在温度传感器31的输出线上不作用张紧。此外，由于连接器33位于加热室3 之外，加热室3的高温被绝热门24遮断，所以能够防止连接器33的过热。图8A 图8C是表示载置有处理对象物X的移送台10位于加热室3内时的、关闭 了真空屏蔽门6的冷却室2与第2夹持部44的位置关系的图。如图8A及图8B所示，第2夹持部44具有当用真空屏蔽门6将分隔壁2a的开口 (第2开口 7a)封闭时、被夹持在真空屏蔽门6与冷却室2(分隔壁2a)之间而将该部分密 封的功能。如图8A所示，真空屏蔽门6具有将真空屏蔽门6与冷却室2 (分隔壁2a)之间气 密地密封的密封材6a。密封材6a在该例中是管密封。该管密封6a能够通过气体压力从图 7A的状态膨胀到图7B的状态、将其间的间隙消除而某种程度气密地密封。另外，密封材6a 也可以是其他密封材、例如0形环。如图8C所示，第2夹持部44(弹性部)由具有耐受冷却室2内的温度的耐热性的 第2耐热密封材(例如硅、特氟隆(注册商标))构成。该第2夹持部44将导引带板32b 与信号线34扎束而一体成形，并且具有真空屏蔽门6的管密封6a能够追随的截面形状。第2夹持部44的截面形状在该例中将紧贴在分隔壁2a上的面形成为平面、将管 密封6a紧贴的面形成为圆弧面，但本发明并不限定于此，也可以是任意的形状。另外，在图4的例子中，导引带板32b仅存在于第2夹持部44的内部，在其前后连 结着耐热绳部件32a。此外，在图5的例子中，导引带板32b穿过第2夹持部44而连续。通过该结构，如图7所示，第1夹持部42被夹持在绝热门24与加热室(加热容器 23)之间而将该部分某种程度地绝热密封，成为由绝热壁24将加热室3的高温向外部的传 递遮断的状态。进而，如图8A所示，通过用真空屏蔽门6封闭、将管密封6a通过气体压力 从图8A的状态膨胀到图8B的状态，能够使其间的间隙无限地变小而将第2开口密封。在此状态下，封入在弹性部44中的导引带板32b和信号线34 —体成形在第2夹 持部44上，在其他部分中，信号线34在松弛的状态下沿着耐热绳部件32a或导引带板32b 固定，所以在信号线34上不作用张紧。图9A 图9D是表示上述本发明的多室型热处理装置1的使用方法的示意图。图9A表示将载置有处理对象物X的移送台10收容在加热容器内的状态，图9B表 示将绝热门24关闭的加热处理状态，图9C进一步表示将真空屏蔽门6关闭的加热处理状 态，图9D表示冷却室2内的冷却处理状态。在图9A中，在加热室(加热容器23)内张紧部件32的一端固定在载置有处理对象物X的移送台10上，张紧部件32的另一端在冷却室内被水平地卷绕，所以张紧部件32 成为穿过第1开口 23a及第2开口 7a大致水平地延伸的状态。在此状态下，上述连接器33 处于比第1夹持部42靠卷绕侧，温度传感器31的输出线设定得比到连接器33的所需长度 长足够多，所以在温度传感器31的输出线上不作用张紧。在图9B中，如果使绝热门24下降而将加热室3的第1开口 23a用绝热门24封闭， 则上述第1夹持部42被夹持在绝热门24与加热室(加热容器23)之间而将该部分绝热， 能够用绝热门24将加热室3的高温向外部的传递遮断。在图9C中，通过将真空屏蔽门6封闭、将管密封6a通过气体压力膨胀，能够通过 第2夹持部44使真空屏蔽门6与分隔壁2a之间的间隙无限地变小而将第2开口 7a密封。在加热室3内的加热处理后，如果将真空屏蔽门6和绝热门24开放，则如图9A那 样，张紧部件32成为穿过第1开口 23a及第2开口 7a大致水平地延伸的状态。在此状态下，如果通过上述移送装置20将载置有处理对象物X的移送台10从加 热室3水平地移动到冷却室2中，则张紧部件32不会发生松弛而能够通过卷轴装置36卷 绕。使用上述装置，在本发明的多室型热处理装置的温度控制方法中，将安装在处理 对象物X上的温度传感器31的检测信号传送到加热室3及冷却室2的外部，在加热室3及 冷却室2的外部，根据从信号传送装置30传送的温度传感器31的检测信号测量处理对象 物X的温度，基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置1。上述温度测量装置40还具备作为基于在温度传感器31中取得的温度检测信号测 量处理对象物X的温度、存储温度检测结果的数据记录器的功能。在本发明中，作为温度传感器31而使用了热电偶，信号线34由成对的(两种)导 线构成。具体而言，作为信号线34，使用例如由镍铬_镍铝、镍铬_康铜、铁_康铜、铜-康 铜、镍铬硅-镍硅、钼 铑(10% )_钼、钼 铑(13% )_钼、钼 铑(30% )_钼 铑(6% )、 镍铬-金 铁、铱-铱 铑(49% )、钨 铼(5% )_钨 铼(26% )、镍-镍 钼(18% )、和 钯 钼 金-金·钯构成的材质。软管35a例如由树脂等具有柔性的材料形成。通过将信号线34插通到这样的软 管35a的内部，能够防止信号线34的损伤。根据上述本发明的装置及方法，由于具备将处理对象物X加热处理的加热室3、绝 热门24、将处理对象物X冷却的冷却室2、真空屏蔽门6、以及在加热室3与冷却室2之间水 平移送载置有处理对象物X的移送台10的移送装置20，所以能够将处理对象物X在加热室 3内加热处理、接着移动到冷却室2内、在冷却室2内冷却处理。此外，由于具备安装在处理对象物X上的温度传感器31、和将温度传感器31的检 测信号传送到加热室3及冷却室2的外部的信号传送装置30，所以能够将安装在处理对象 物X上的温度传感器31的检测信号传送到加热室3及冷却室2的外部、在加热室3及冷却 室2的外部根据从信号传送装置30传送的温度传感器31的检测信号测量处理对象物X的 温度、实时地测量加热处理中及冷却处理中的处理对象物X的温度。此外，由于张紧部件32由一端固定在移送台10上的耐热绳部件32a、和前端固定 在耐热绳部件32a的末端上、末端卷绕在线轴装置36上的柔性软管35a或导引带板32b构 成，还具有设在耐热绳部件32a的中间位置上的第1夹持部42，所以在将第1开口用绝热
12门24封闭时，第1夹持部42被夹持在绝热门24与加热容器23之间，所以将该部分绝热， 并且在处理对象物X上没有作用张紧，所以即使在卷绕张紧较强的情况下，装填在加热室3 中的处理对象物X也不可能移动。此外，由于具有设在耐热绳部件32a或导引带板32b的中间位置上的第2夹持部 44，所以在将第2开口用真空屏蔽门6封闭时，第2夹持部44被夹持在真空屏蔽门6与冷 却室2a之间而将该部分密封，由此在加热室处理中抑制加热室3的绝热门24的放热，并且 能够进行冷却室2的真空屏蔽门6的密封，由此能够独立地控制加热室3和冷却室2的气 体环境。因而，在加热室3及冷却室2的外部，能够根据从信号传送装置30传送的温度传 感器31的检测信号测量处理对象物X的温度、基于测量的处理对象物X的温度控制多室型 热处理装置1。另外，本发明并不限定于上述实施方式，当然在不脱离本发明的主旨的范围内能 够进行各种变更。
权利要求
一种多室型热处理装置，具备加热室，内置具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在内部将处理对象物加热处理的加热容器；绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室，相邻于上述加热室，具有载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2开口，在内部将处理对象物冷却；真空屏蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在上述加热室与冷却室之间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送；其特征在于，具备安装在处理对象物上的温度传感器、和将该温度传感器的检测信号传送到上述加热室及冷却室的外部的信号传送装置。
2.如权利要求1所述的多室型热处理装置，其特征在于，具备配置在上述加热室及冷 却室的外部、根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度的 温度测量装置。
3.如权利要求1或2所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述信号传送装置具有柔性的张紧部件，一端固定在上述移送台上，穿过上述第1开口及第2开口延伸，另一 端在冷却室内被水平地卷绕；信号线，在一端上具有与上述温度传感器的输出线连接的连接器，沿着上述张紧部件 延伸到另一端；卷轴装置，一边对上述张紧部件附加卷绕方向的张紧，一边将张紧部件与信号线一起 卷绕；外部输出线，经由上述卷轴装置与上述信号线的另一端连接，将上述检测信号传送到 上述冷却室的外部。
4.如权利要求3所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述张紧部件具有当将上述 第1开口用绝热门封闭时、被夹持在绝热门与加热容器之间而将该部分密封的第1夹持部。
5.如权利要求4所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第1夹持部由将上述耐热 绳部件与上述温度传感器的输出线扎束为对应于绝热门与加热室的间隙的薄板状的具有 耐受加热室内的温度的耐热性的第1耐热密封材构成。
6.如权利要求3或4所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述张紧部件具有在将上述第2开口用真空屏蔽门封闭时、被夹持在真空屏蔽门与冷 却室之间、将该部分密封的第2夹持部。
7.如权利要求4或6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述张紧部件由以下部分构成耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到冷却 室内，具有耐受加热室内及冷却室内的温度的耐热性；柔性软管，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有至少 耐受冷却室内的温度的耐热性。
8.如权利要求6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第2夹持部设在上述耐热 绳的中间位置上，由将连结上述耐热绳部件的导引带板和上述信号线扎束而一体成形的具 有耐受冷却室内的温度的耐热性的第2耐热密封材构成，并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面形状。
9.如权利要求4或6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述张紧部件由以下部分构成耐热绳部件，一端固定在上述移送台上，当移送台位于加热室内时另一端延伸到第1 开口与第2开口的中间位置，具有耐受加热室内的温度的耐热性；导引带板，前端固定在该耐热绳部件的末端上，末端卷绕在上述卷轴装置上，具有至少 耐受冷却室内的温度的耐热性。
10.如权利要求6所述的多室型热处理装置，其特征在于，上述第2夹持部设在上述导 引带板的中间位置上，由将上述导引带板和上述信号线扎束而一体成形的具有耐受冷却室 内的温度的耐热性的第2耐热密封材构成，并且具有真空屏蔽门的密封材能够追随的截面 形状。
11.一种多室型热处理装置的温度控制方法，该多室型热处理装置具备加热室，内置 具有能够使载置有处理对象物的移送台水平地通过的第1开口、在内部将处理对象物加热 处理的加热容器；绝热门，将上述第1开口可开闭地封闭；冷却室，相邻于上述加热室，具有 载置有处理对象物的上述移送台能够从加热室水平地通过的第2开口，在内部将处理对象 物冷却；真空屏蔽门，将上述第2开口可开闭地密闭；移送装置，在上述加热室与冷却室之 间将载置有处理对象物的上述移送台水平地移送；该多室型热处理装置的温度控制方法的特征在于，将安装在处理对象物上的温度传感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外部；在上述加热室及冷却室的外部，根据从信号传送装置传送的温度传感器的检测信号测 量处理对象物的温度；基于测量的处理对象物的温度控制多室型热处理装置。
全文摘要
本发明的目的是提供能够实时地测量加热处理中及冷却处理中的处理对象物的温度、并且即使在卷绕张紧较强的情况下、装填在加热室中的处理对象物也没有移动的可能性的多室型热处理装置及温度控制方法。根据本发明，提供一种多室型热处理装置，其具备安装在处理对象物(X)上的温度传感器(31)、将温度传感器的检测信号传送到加热室及冷却室的外部的信号传送装置(30)、和配置在加热室及冷却室的外部、根据从信号传送装置(30)传送的温度传感器的检测信号测量处理对象物的温度的温度测量装置(40)。
文档编号F27D21/00GK101910769SQ20088012298
公开日2010年12月8日 申请日期2008年11月14日 优先权日2007年12月27日
发明者胜俣和彦 申请人:株式会社Ihi