一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具的制作方法

文档序号:4756349阅读:220来源:国知局
专利名称:一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具的制作方法
技术领域
本实用新型涉及硅片加工生产设备技术领域,具体一种改良的用于硅片甩 干机的硅片盒放置夹具。
(二)
背景技术
硅片甩干时,硅片放置于硅片盒中,硅片盒放置于专用夹具中,由于受到 硅片规格大小的影响,针对不同规格的硅片,需要配置相对应规格的硅片盒放 置夹具,其配置成本高,且在使用时需要频繁更换硅片盒放置夹具,生产效率 低。

实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提供了一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放 置夹具,其能按照硅片规格的大小的要求适当调整,配置成本低,生产效率高。
其技术方案是这样的其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块 侧板相互扣接,其特征在于其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔, 所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
其进一步特征在于所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置 有两组;所述侧挡杆和下挡杆分别有两根;所述下档杆设置有侧挡边;所述下 挡杆底部边缘设置有凸起;所述侧板正面开有主排水孔;所述主排水孔设置有 两个;所述侧板的底面开有小排水孔。
在本实用新型结构中,侧挡杆和下挡杆可以根据硅片规格的大小来调节位 置,其不需要使用不同规格的硅片盒放置夹具来适合硅片规格的大小,减少了 配置成本,降低了生产成本,提高了生产效率。


图l为本实用新型结构示意图; 图2为图1的俯视结构示意图; 图3为图1的右视结构示意图;图4为图1的后视结构示意图。 具体实施方式
见图l、图2、图3和图4,本实用新型包括两块底板1和两块侧板3,两 块底板1和两块侧板3相互扣接,本实用新型还包括侧挡杆2和下挡杆4,侧挡 杆2和下挡杆4分别卡接入底板1的卡孔5、 10内。卡接孔5、 10分别设置有 两组;侧挡杆2和下挡杆4分别有两根;下挡杆4设置有侧挡边6,可以限制硅 片盒的下部左右移动;下挡杆4底部边缘设置有凸起7,起到限制下挡杆4的位 置移动的作用;侧板2正面开有两个主排水孔8;侧板2的底面开有小排水孔9, 甩干机工作时,在离心力作用下排水。
当硅片甩干机对大规格硅片进行甩干操作时,可以将本实用新型结构中的 侧挡杆2、下挡杆4取出,直接将大片盒放入本实用新型结构中,当需要对小规 格硅片进行甩干操作,则将侧挡杆2和下挡杆4卡入底板1上的卡孔5、 10内, 起到固定小硅片盒的作用。卡孔5、 10的选择,根据硅片盒的大小来确定,如 果硅片盒大,就选择外侧的卡孔,硅片盒小,则选择内侧的卡孔。
权利要求1、一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔,所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
2、 根据权利要求1所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具, 其特征在于所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置有两组。
3、 根据权利要求2所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具, 其特征在于所述侧挡杆和下挡杆分别有两根。
4、 根据权利要求3所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具, 其特征在于所述下档杆设置有侧挡边。
5、 根据权利要求4所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具, 其特征在于所述下挡杆底部边缘设置有凸起。
6、 根据权利要求5所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其特征在于所述侧板正面开有主排水孔;所述主排水孔设置有两个。
7、 根据权利要求6所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具, 其特征在于所述侧板的底面开有小排水孔。
专利摘要本实用新型涉及一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其能按照硅片规格的大小的要求适当调整,配置成本低,生产效率高。其包括两块底板和两块侧板,两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于其还包括侧挡杆和下挡杆,底板上开有卡孔,侧挡杆和下挡杆分别卡接入与底板的对应的卡孔内。
文档编号F26B5/08GK201387222SQ20092003527
公开日2010年1月20日 申请日期2009年3月14日 优先权日2009年3月14日
发明者虎 邹, 陈世强 申请人:无锡市奥曼特科技有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1