专利名称：一种改良的硅片甩干机密封结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及硅片加工辅助设备领域，具体为一种改良的硅片甩干机密封结构。
(二)
背景技术：
以往的硅片甩干机仅依靠密封条来防止桶内的水在甩干过程中被甩出桶外，其密封性能较差，在甩干过程中杂质、颗粒等容易进入工作腔，从而影响硅片的清洗质量。
(三)
发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种改良的硅片甩干机密封结构，其密封性能好。
其技术方案是这样的其包括门盖、支撑架和桶底，所述桶底通过法兰固定于所述支撑架上，所述门盖安装于所述法兰上，其特征在于所述门盖与所述法兰之间安装有气囊。
其进一步特征在于所述气囊通过气管连接有二位五通电磁阀；所述二位五通电磁阀连接有调压阀；所述门盖两端还连接有气缸；所述气缸固定于所述支撑架上；所述气缸导杆通过关节轴承和销轴与所述门盖连接；所述门盖与所述法兰底部通过铰链连接。
使用本发明硅片甩干机的密封结构，其有益效果在于其采用气囊密封，
密封性能较之密封条更好，特别是在甩干机高速转动的过程中，其能有效密闭工作腔，且能防止杂质、颗粒物进入工作腔。
(四)
图1为本发明主视的结构示意图；图2为图1的左视图。
(五)
具体实施例方式
见图l、图2，本发明包括门盖6、支撑架11和桶底10，桶底10通过法兰5固定于支撑架11上，门盖6安装于法兰5上，门盖6与法兰5之间安装有气囊4。气囊4通过气管7连接有二位五通电磁阀8; 二位五通电磁阀8连接有调压阀9;门盖6两端还连接有气缸1;气缸1固定于支撑架11上；气缸1的导杆通过关节轴承2和销轴3与门盖6连接；门盖6与法兰5底部通过铰链12连接。
下面描述一下本发明的工作过程当甩干机进行工作时，二位五通电磁阀8
工作，压縮空气通过气管7进入气囊4，气囊4鼓起变形，气缸l向下动作施加力到门盖6，此时门盖6、法兰5和桶底IO构成了密封的工作腔；当甩干机工作循环完成后，打开门盖时，二位五通电磁阀8换向，气囊4里的压縮空气通过二位五通电磁阀8排走，气缸换向，门盖绕铰链12向上打开。调压阀9可以调节气囊4里的压縮空气的压力，防止压力过大而导致气囊破裂。
权利要求
1、一种改良的硅片甩干机密封结构，其包括门盖、支撑架和桶底，所述桶底通过法兰固定于所述支撑架上，所述门盖安装于所述法兰上，其特征在于所述门盖与所述法兰之间安装有气囊。
2、 根据权利要求l所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于 所述气囊通过气管连接有二位五通电磁阀。
3、 根据权利要求2所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于 所述二位五通电磁阀连接有调压阀。
4、 根据权利要求3所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于-所述门盖两端还连接有气缸。
5、 根据权利要求4所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于 所述气缸固定于所述支撑架上。
6、 根据权利要求5所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于 所述气缸导杆通过关节轴承和销轴与所述门盖连接。
7、 根据权利要求6所述的一种改良的硅片甩干机密封结构，其特征在于所述门盖与所述法兰底部通过铰链连接。
全文摘要
本发明涉及一种改良的硅片甩干机密封结构，其密封性能好，在甩干机高速转动的过程中，其能有效密闭工作腔，且能防止杂质、颗粒物进入工作腔。其包括门盖、支撑架和桶底，所述桶底通过法兰固定于所述支撑架上，所述门盖安装于所述法兰上，其特征在于所述门盖与所述法兰之间安装有气囊，所述气囊通过气管连接有二位五通电磁阀；所述二位五通电磁阀连接有调压阀；所述门盖两端还连接有气缸；所述气缸固定于所述支撑架上；所述气缸导杆通过关节轴承和销轴与所述门盖连接；所述门盖与所述法兰底部通过铰链连接。
文档编号H01L21/00GK101477947SQ20091000430
公开日2009年7月8日 申请日期2009年1月24日 优先权日2009年1月24日
发明者陈世强, 顾正初 申请人:无锡市奥曼特科技有限公司