技术总结
本发明涉及一种用于流动气氛中水汽浓度控制的装置，包括：液态水注入装置（1）、流体管路（7）、加热装置（3）和外部气源，所述液态水注入装置（1）与所述流体管路（7）相连接以将液态水注入所述流体管路（7）中；所述加热装置（3）用于对所述流体管路（7）进行加热；所述外部气源在所述加热装置（3）的下游侧连通至所述流体管路（7）。本发明所述装置装置可广泛调节水汽含量0‑100 vol%，可适应较宽的气体流量范围50‑10000毫升每分钟，尤其适用于恒定的或者缓慢变化的气体流量。
技术研发人员：赵晗;周晓霞;王敏;潘琳钰;陈航榕;施剑林
受保护的技术使用者：中国科学院上海硅酸盐研究所
文档号码：201611260076
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.05.31