技术特征：
1.一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：包括工作台(1)、转盘、ffu风机过滤机组(3)、片篮(8)；所述工作台(1)为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装ffu风机过滤机组(3)；所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮(8)的工作位；所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口(4)；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口(5)，所述送风口(5)通过风管(6)连接ffu风机过滤机组(3)。2.根据权利要求1所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述工作台(1)的中间层，与转盘工作位对应的位置设有l型灯架；所述l型灯架上设有用于加热的红外灯(7)。3.根据权利要求2所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：位于所述柱形外壳进出口位置的l型灯架上设有双红外灯(7)。4.根据权利要求2所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述工作位共八个，每个所述工作位上设有两个片篮(8)；所述片篮(8)位于红外灯(7)下方。5.根据权利要求2所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述柱形外壳内还设有温度控制模块，相邻的两个所述红外灯(7)连接同一个温度控制模块。6.根据权利要求1所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述排风口(4)通过风管(6)连接排风设备。7.根据权利要求1所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述送风口(5)的数量为四个，分别通过风管(6)连接ffu风机过滤机组(3)的四个出风口。