技术总结
本实用新型提供了一种硅片红外烘烤装置，包括工作台、转盘、FFU风机过滤机组、片篮；所述工作台为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组；所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮的工作位；所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口，所述送风口通过风管连接FFU风机过滤机组。本实用新型所述的一种硅片红外烘烤装置，采用FFU风机过滤机组送风，烘烤过程更洁净；多工位工作，可以放置更多的硅片片篮，烘烤效率更高；采用红外灯与转盘的组合，使烘烤效果更好。效果更好。效果更好。
技术研发人员：初亚东
受保护的技术使用者：天津天物金佰微电子有限公司
技术研发日：2020.08.10
技术公布日：2021/7/5