一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统的制作方法

文档序号:11909284阅读:来源:国知局
技术总结
本发明属于低温制冷设备技术领域,具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括:闭循环制冷机系统,液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统,在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦,不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动,还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统,不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度,还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。

技术研发人员:吴施伟;周盛予;孙泽元;张帅;黄迪;殷立峰;高春雷;沈健
受保护的技术使用者:复旦大学
文档号码:201611170525
技术研发日:2016.12.16
技术公布日:2017.05.17

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