一种紧凑型容器清洗装置的制作方法

本实用新型涉及一种紧凑型容器清洗装置。

背景技术：

随着半导体制程精度的提升，对化学品洁净度的要求也越来越高，对于盛放化学品的容器同样也要求极高的洁净度。使用大量纯水清洗容器是最常用的方法，但这种方法会导致少量水残留在容器内，引起目标产品浓度的偏差，对于溶剂型产品，由于对水份含量有严格要求，这种用纯水清洗的方法尤其不适用。另一种常见的容器清洗方法是使用目标产品冲洗，但这样会消耗大量的产品，带来制造成本的增加。而且，绝大部分的半导体化学品都具有毒性、易燃、易爆等特点，大量冲洗废液会产生安全、环境处理成本的增加。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种具有结构紧凑，节约清洗体积，清洗效果优异等特点的紧凑型容器清洗装置。

本实用新型的技术方案是，一种紧凑型容器清洗装置，用于容器内部清洗，包括可更换储槽、增压泵、多级过滤器、压力表、自吸泵、送液管道、回液管道以及氮气管道，所述回液管道、自吸泵、可更换储槽、增压泵、多级过滤器、压力表以及送液管道依次对应连接，所述送液管道的端部设置有360°清洗喷球，所述氮气管道同样与所述360°清洗喷球对应连接，所述回液管道的端部设置有硬质吸管。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述360°清洗喷球置于容器内顶部，所述硬质吸管末端置于容器内底部。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述多级过滤器包括相互连接的一级过滤器和二级过滤器，所述一级过滤器还与增压泵连接，所述二级过滤器还与压力表连接。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述自吸泵与可更换储槽之间的管路上设置有取样口。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述氮气管道与360°清洗喷球之间还依次设置有气压表、氮气阀和气体过滤器。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述可更换储槽与自吸泵和增压泵的连接管路上分别设置有截止阀。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述取样口处设置有截止阀。

本实用新型所述为一种紧凑型容器清洗装置，本实用新型具有结构紧凑，节约清洗体积，清洗效果优异等特点。

附图说明

图1为本实用新型紧凑型容器清洗装置一较佳实施例中的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

本实用新型所述为一种紧凑型容器清洗装置，用于容器内部清洗，包括可更换储槽1、增压泵2、多级过滤器、压力表3、自吸泵4、送液管道5、回液管道6以及氮气管道7，所述回液管道6、自吸泵4、可更换储槽1、增压泵2、多级过滤器、压力表3以及送液管道5依次对应连接，所述送液管道5的端部设置有360°清洗喷球8，所述氮气管道7同样与所述360°清洗喷球8对应连接，所述回液管道6的端部设置有硬质吸管9。

所述360°清洗喷球8置于容器内顶部，所述硬质吸管9末端置于容器内底部。

所述多级过滤器包括相互连接的一级过滤器10和二级过滤器11，所述一级过滤器10还与增压泵2连接，所述二级过滤器11还与压力表3连接。

所述自吸泵4与可更换储槽1之间的管路上设置有取样口12。

所述氮气管道7与360°清洗喷球8之间还依次设置有气压表13、氮气阀14和气体过滤器15。

所述可更换储槽1与自吸泵4和增压泵2的连接管路上分别设置有截止阀16。

所述取样口12处设置有截止阀16。

根据目标容器的用途，更换盛有专用液体的储槽。

连接管线，将360°清洗喷球和硬质吸管插入目标容器入口，360°清洗喷球置于容器内顶部，硬质吸管末端置于容器内底部。

开启氮气阀，调整氮气压力至0.4～0.6MPa，吹扫容器内部5分钟，对容器内空气进行置换；开启增压泵，监测液体压力不超过0.2～0.3MPa，液体将通过360°清洗喷球喷射到容器内部，同时液体还会在高压氮气作用下发生雾化，形成非常细小的液滴对容器内部进行喷洗，根据容器内部的尺寸,可以调整氮气压力,使微细液滴的喷射范围覆盖全部待清洗部位。液滴在自重作用下汇集在容器底部；开启自吸泵，将容器底部汇集的液体吸出，返回至储槽。

开启自吸泵出口处的截止阀进行取样检测，当检测结果合格时，关闭增压泵，待容器底部液体全部吸出后，关闭自吸泵，最后关闭氮气阀，将360°清洗喷球和硬质吸管移出容器，并立即将容器入口密封，得到清洗干净的空容器。

重复以上步骤，可以对多个容器进行清洗操作。

本实用新型所述为一种紧凑型容器清洗装置，本实用新型具有结构紧凑，节约清洗体积，清洗效果优异等特点。

以上所述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本实用新型所揭露的技术范围内，可不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。