一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备的制作方法

文档序号:11173733阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备,该设备包括原料水系统(1)、净化系统(2)、自动甄别控制系统(3)、成品水系统(4)和酸洗罐(5);所述的原料水系统(1)通过管道依次与所述的净化系统(2)和所述的成品水系统(4)相连;所述的自动甄别控制系统(3)通过管道分别与所述的原料水系统(1)和成品水系统(4)相连;所述的酸洗罐(5)通过输液泵与所述的净化系统(2)中的主过滤装置(21)进行回路连接。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备,其特征在于:所述的原料水系统(1)由原料水采集箱(11)、自动控制阀I(12)和原料水箱(13)组成,并通过管道依次连接;所述的自动控制阀I(12)上端分别与所述的原料水采集箱(11)、自动甄别控制系统(3)相连,下端分别与所述的原料水箱(13)和污水处理系统(6)相连。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备,其特征在于:所述的净化系统(2)由主过滤装置(21)和超微过滤装置(22)组成;所述的主过滤装置(21)上端与所述原料水箱(13)相连,下端与所述的超微过滤装置(22)相连;所述的过滤装置(21)与所述的酸洗罐(5)通过泵进行回路连接。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备,其特征在于:所述的自动甄别控制系统(3)由实时甄别装置(31)和自动控制装置(32)组成;所述的实时甄别装置(31)上端分别与所述的原料水采样箱(11)和成品水采样箱(41)相连,下端与所述的自动控制系统(32)相连;所述的自动控制系统(32)上端与所述的实时甄别装置(31)相连,下端分别与所述的自动控制阀I(12)和自动控制阀II(42)相连。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备,其特征在于:所述的成品水系统(4)由成品水采样箱(41)、自动控制阀II(42)、成品水箱(43)组成;成品水采样箱(41)上端与所述的净化系统(2)中的超微过滤装置(22)相连,下端依次与所述的自动控制阀II(42)、成品水箱(43)相连;所述的自动控制阀II(42)上端分别与所述的成品水采集箱(41)、自动控制系统(32)相连,下端分别与所述的成品水箱(43)、原料水箱(13)相连。

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