技术总结
本实用新型涉及硅片清洗领域，公开了一种新型水洗装置。所述水洗装置包括水洗槽和提拉组件；所述提拉组件包括花篮固定板、升降杆和用于控制升降杆上升和下降的线性模组；所述升降杆包括X轴方向的第一支杆和Y轴方向的第二支杆，所述第二支杆一端与所述线性模组连接另一端与所述第一支杆垂直连接，所述第第一支杆用于安装所述花篮固定板，所述花篮固定板放置在所述水洗槽内。本实用新型解决了产品清洗时上下清洗不均匀的问题，使清洗更加完全、彻底，提高了产品的成品率，实现了较好的清洗效果，该装置结构简单，操作方便，便于维护，能够实现模块化生产，降低了制作成本。
技术研发人员：张淋;韩方亚;田晓东
受保护的技术使用者：苏州宝馨科技实业股份有限公司
文档号码：201720276743
技术研发日：2017.03.21
技术公布日：2018.01.09