1.一种工业废水深度处理装置，其特征在于，包括臭氧塔（1）、生物炭塔（2）、臭氧发生器（3）、进水管线（5）、臭氧管线（21）和生物炭塔进水管线（22），所述进水管线（5）与臭氧塔（1）连接，所述臭氧发生器（3）通过所述臭氧管线（21）与所述进水管线（5）连接，所述臭氧塔（1）通过所述生物炭塔进水管线（22）与所述生物炭塔（2）连接。
2.根据权利要求1所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，所述生物炭塔进水管线（22）上设有臭氧监测器（20），所述臭氧监测器（20）与所述臭氧发生器（3）安装有连锁自控装置。
3.根据权利要求1或2所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，所述臭氧管线（21）与所述进水管线（5）交汇处设有射流器（6）。
4.根据权利要求1或2所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，所述生物炭塔（2）内包括由下向上依次设置的曝气盘（11）、格栅（26）、鹅卵石层（14）和活性炭颗粒层（15）。
5.根据权利要求4所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，与所述曝气盘（11）相对应设有曝气管线（24）和空压机（4），所述空压机（4）通过所述曝气管线（24）与所述曝气盘（11）连接。
6.根据权利要求4所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，所述生物炭塔（2）外部安装有伴热管线（25）。
7.根据权利要求1或2所述的工业废水深度处理装置，其特征在于，所述臭氧塔（1）和所述生物炭塔（2）底部分别设有排污阀（12）。
8.一种基于膜生物反应器的工业废水处理装置，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的工业废水深度处理装置。