一种超纯水系统集中阀板的制作方法

文档序号:15663714发布日期:2018-10-13 01:32阅读:128来源:国知局

本实用新型涉及净化设备技术领域,具体为一种超纯水系统集中阀板。



背景技术:

超纯水,又称UP水,电阻率达到18.2MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水,具有广泛的用途,而阀板也是超纯水系统的重要组成部分,但是目前市场上同类产品均采用接头,管道,生料带等连接密封来实现超纯水系统管路及传感器连接。缺陷是接头过多,经常会出现漏水现象。并且连接大量的接头和管件占用空间大等诸多缺点。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种超纯水系统集中阀板。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:一种超纯水系统集中阀板,包括阀板固定板和超纯水电磁阀,所述阀板固定板左侧的板体上设置有RO出水口A、RO出水电磁阀和RO出水口B,且RO出水电磁阀设置在RO出水口A与RO出水口B之间,所述阀板固定板的上端的边缘处设置有纯化水出口、远程取水口和UP取水口,且远程取水口设置在纯化水出口与UP取水口之间,所述阀板固定板下端的边缘处设置有循环泵接口和超纯水出口,且循环泵接口设置在RO水出口B与超纯水出口之间,所述RO出水电磁阀与超纯水出口之间设置有进水电磁阀和远程电磁阀,且进水电磁阀设置在远程电磁阀的左侧,所述进水电磁阀的正下方设置有进水电导率仪,且进水电导率仪的右下方设置有循环电磁阀,所述超纯水电磁阀设置在UP取水口的正下方,且超纯水电阻率监测仪设置在超纯水电磁阀的正下端。

优选的,所述有RO出水口A、RO出水电磁阀和RO出水口B设置在同一竖直轴线上。

优选的,所述RO出水电磁阀、进水电磁阀、远程电磁阀和超纯水电磁阀设置在同一水平轴线上,且纯化水出口、进水电磁阀、进水电导率仪和循环泵接口设置在同一竖直轴线上。

优选的,所述UP取水口、超纯水电磁阀、超纯水电阻率监测仪和超纯水出口设置在同一竖直轴线上。

优选的,所述阀板固定板设置在底板的上端,且底板的两端均设置有固定脚。

本实用新型所达到的有益效果是:将众多装置集中安装在阀板固定板上,极大的缩减了装置的结构,使得在将装置放置到超纯水机内部时,只需要连接若干个接头即可和水泵、纯化柱实现机器内部与外部的连接,降低了安装的难度,同时这样也减少了装置内部连接管的数目,解决了超纯水机接头过多,经常出现漏水的问题。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型反面的结构示意图。

1、RO出水口A;2、RO出水电磁阀;3、进水电导率仪;4、阀板固定板;5、RO出水口B;6、循环泵接口;7、循环电磁阀;8、底板;9、超纯水电阻率监测仪;10、超纯水出口;11、进水电磁阀;12、纯化水出口;13、远程电磁阀;14、远程取水口;15、超纯水电磁阀;16、UP取水口;17、固定脚。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

实施例1

如图1-2所示,一种超纯水系统集中阀板,包括阀板固定板4和超纯水电磁阀15,阀板固定板4左侧的板体上设置有RO出水口A1、RO出水电磁阀2和RO出水口B5,且RO出水电磁阀2设置在RO出水口A1与RO出水口B5之间,阀板固定板4的上端的边缘处设置有纯化水出口12、远程取水口14和UP取水口16,且远程取水口14设置在纯化水出口12与UP取水口16之间,阀板固定板4下端的边缘处设置有循环泵接口6和超纯水出口10,且循环泵接口6设置在RO水出口B5与超纯水出口10之间,RO出水电磁阀2与超纯水出口10之间设置有进水电磁阀11和远程电磁阀13,且进水电磁阀11设置在远程电磁阀13的左侧,进水电磁阀11的正下方设置有进水电导率仪3,且进水电导率仪3的右下方设置有循环电磁阀7,超纯水电磁阀15设置在UP取水口16的正下方,且超纯水电阻率监测仪9设置在超纯水电磁阀15的正下端,有RO出水口A1、RO出水电磁阀2和RO出水口B5设置在同一竖直轴线上,RO出水电磁阀2、进水电磁阀11、远程电磁阀13和超纯水电磁阀15设置在同一水平轴线上,且纯化水出口10、进水电磁阀11、进水电导率仪3和循环泵接口6设置在同一竖直轴线上,UP取水口16、超纯水电磁阀15、超纯水电阻率监测仪9和超纯水出口12设置在同一竖直轴线上,阀板固定板4设置在底板8的上端,且底板8的两端均设置有固定脚17,方便装置的固定与安装。

工作原理:将阀板固定板4和底板8用热板焊接机焊接到一起,里面流道腔形成,再将配件:进水电磁阀11、进水电导率仪3、水口卡扣均固定到阀板固定板4上。将纯化水接到纯化水进口,进水电磁阀11控制纯化水进出,进水电导率仪3监测纯化水电导率,循环泵接口6连接循环泵进水口;循环泵的出口连接三通,一路连接RO出水口A1,RO出水电磁阀2及RO出水口B5;循环泵的出口连接三通,另一路出口连接纯化柱及紫外灯等装置之后最终出水连接超纯水出口;超纯水出口连接超纯水电阻率监测仪9,经过超纯水电阻率监测仪9之后并联三个电磁阀;三路中第一路是循环电磁阀7,外界不取水的情况下,系统自动循环,此阀门打开,停止循环时关闭;三路中第二路是远程取水口14,当外界需要一个远处取水时,此阀门动作取水,停止取水时关闭;三路中第三路是UP取水口16,当外界需要取超纯水时,此阀门动作取水,停止取水时关闭。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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