一种硅片切割用冷却水回收过滤装置的制作方法

文档序号:16275438发布日期:2018-12-14 22:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,包括工作台(1)、连接管(4)、水管(8)和出水口(20),其特征在于:所述工作台(1)的内部镶嵌有横管(2),且横管(2)的上方设置有进水口(3),所述连接管(4)连接在横管(2)的下表面,且连接管(4)的末端连接有一级水泵(5),所述一级水泵(5)的右侧设置有机体(6),且机体(6)内部的右侧设置有过滤室(7),所述水管(8)连接在一级水泵(5)的右侧,且水管(8)穿插在机体(6)的内部,所述水管(8)上连接有喷水管(9),且喷水管(9)上设置有喷头(10),所述喷头(10)的右侧设置有过滤装置(11),且过滤装置(11)的两侧边设置有密封垫(12),所述过滤装置(11)通过固定螺栓(13)与过滤室(7)的体壁相连接,且过滤室(7)的右侧连接有二级水泵(14),所述二级水泵(14)通过出水管(15)与制冷室(17)相连接,且二级水泵(14)的上方设置有制冷机(16),所述制冷机(16)上连接有制冷管(19),且制冷管(19)放置在放置架(18)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,其特征在于:所述进水口(3)等距离的设置在横管(2)上,且进水口(3)的上表面与工作台(1)的上表面齐平。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,其特征在于:所述喷头(10)均匀的分布在喷水管(9)上,且喷头(10)分布的面积与过滤装置(11)的面积相等。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,其特征在于:所述过滤装置(11)包括第一过滤网(1101)、活性炭层(1102)和第二过滤网(1103),第一过滤网(1101)设置在过滤装置(11)的内部,且第一过滤网(1101)的右侧设置有活性炭层(1102),活性炭层(1102)的右侧设置有第二过滤网(1103)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,其特征在于:所述制冷管(19)的形状为“S”形,且制冷管(19)的宽度和高度与制冷室(17)的宽度与高度相等。

6.根据权利要求1所述的一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,其特征在于:所述出水口(20)设置在机体(6)右侧底部,且出水口(20)的下边与机体(6)的底面在同一水平面上。

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