一种硅片切割用冷却水回收过滤装置的制作方法

文档序号:16275438发布日期:2018-12-14 22:32阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种硅片切割用冷却水回收过滤装置,包括工作台、连接管、水管和出水口,所述工作台的内部镶嵌有横管,且横管的上方设置有进水口,所述连接管连接在横管的下表面,且连接管的末端连接有一级水泵,所述水管上连接有喷水管,且喷水管上设置有喷头,所述喷头的右侧设置有过滤装置,且过滤装置的两侧边设置有密封垫,所述二级水泵通过出水管与制冷室相连接,且二级水泵的上方设置有制冷机,所述制冷机上连接有制冷管,且制冷管放置在放置架的内部。该硅片切割用冷却水回收过滤装置,在此装置上设置有制冷机和制冷管,这样的设置能够对过滤后的冷却水再次制冷,使其能够进行二次利用节约了水资源。

技术研发人员:施文周
受保护的技术使用者:江苏利奥新材料科技有限公司
技术研发日:2018.02.07
技术公布日:2018.12.14

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