一种线切机清洗装置的制作方法

本实用新型属于硅片切割加工领域，尤其是涉及一种安装在线切机内部的线切机清洗装置。

背景技术：

在现有的技术中，线切机设备内没有清洗装置，在单晶棒料切割完以后，单晶棒料及切割室粘有大量硅泥，需要人工手持水枪进行冲洗，辅助时间长，冲洗过程中有大量水溅出，污染设备周围环境。

专利号201721065639.3的中国专利提供了一种线切割装置，包括：滚轮组、底座以及清洗装置；所述清洗装置包括清洗液供应装置、盛水容器，所述清洗液供应装置设置于所述滚轮组上方设置为提供清洗液至所述滚轮组，所述盛水容器可拆卸地设置于所述底座上且位于所述滚轮组与所述切割液收集室之间。本实用新型一种线切割装置可以实时对滚轮内的碎屑以及杂质进行清洗，且防止碎屑、杂质或者清洗液流入切割液收集室，避免了对切割液收集室内的切割液造成污染，延迟切割液的使用时间，降低了使用者的生产成本。但该线切机的清洗装置是设计时与机身一体设计，而目前现行使用的进口的原装线切机设备内则没有清洗装置，仅为了优化清洗方案就进行线切机设备的更换则成本太高，因此产生了能安装在线切机内部的线切机清洗装置的需求。

技术实现要素：

本实用新型要解决的问题是提供一种线切机清洗装置，尤其适合在硅片切割机切割单晶体硅棒后，能够对棒料和切割室进行清洗。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种线切机清洗装置，包括设置在线切机切割室内部的喷管，所述喷管上设置有若干切割室喷嘴和若干单晶棒料喷嘴。

切割室喷嘴用于切割室的清洗，单晶棒料喷嘴用于单晶棒料的清洗。

所述喷管安装在设置于切割室内部的不锈钢支架上。不锈钢支架在切割室内的安装位置通过计算确定，以保证较好的清洗效果。

多组所述喷管之间通过弯头和软管连接，所述软管通过软管接头与线切机的纯水管连接，所述纯水管与所述软管之间设置有电气控制装置，达到最佳清洁效果所需喷淋时间和喷淋压力通过计算确定，并通过电气控制装置进行控制。

作为优选地，所述切割室喷嘴及所述单晶棒料喷嘴以焊接的方式安装在所述喷管上，喷嘴的安装角度通过计算确定，采用焊接的方式，连接可靠，成本较低。

作为优选地，喷管由多个管段组成，安装有所述切割室喷嘴或所述单晶棒料喷嘴的喷管管段能相对所述喷管同轴转动，通过以上设置，能够改变所述切割室喷嘴或所述单晶棒料喷嘴的角度，从而改变清洗的位置，方便在多种不同的切割机机型内应用。

作为优选地，所述切割室喷嘴和/或所述单晶棒料喷嘴为扇形喷嘴。通过以上设置，能加大水雾的喷射范围，优化清洗效果。

所述喷管为无缝不锈钢钢管，材料为304不锈钢。所述喷管也可以是PVC管。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，避免了人工冲洗.降低了劳动者工作强度。缩短冲洗时间，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的结构示意图

图中：

1、支架 2、切割室喷嘴 3、喷管

4、单晶棒料喷管 5、弯头 6、软管接头

7、单晶棒料

具体实施方式

如图1、本实用新型一实施例的结构示意图所示，本实用新型包括设置在线切机切割室内部的喷管3，喷管3上设置有若干切割室喷嘴2和若干单晶棒料喷嘴4。

在本实施例中，共设置有2根喷管3，安装在设置于切割室内部的不锈钢支架1上。支架1在切割室内的安装位置通过计算确定，以保证较好的清洗效果。

2根喷管3之间通过弯头5和软管连接，软管通过软管接头6与线切机的纯水管连接，纯水管与软管之间设置有电气控制装置。达到最佳清洁效果所需喷淋时间和喷淋压力通过计算确定，并通过电气控制装置进行控制。

在本实施例中，切割室喷嘴2及单晶棒料喷嘴4以焊接的方式安装在喷管3上，喷嘴的安装角度通过计算确定，采用焊接的方式，连接可靠，成本较低。

在本实用新型的其他实施例中，喷管3由多个管段组成，安装有切割室喷嘴2或单晶棒料喷嘴4的喷管管段被设置为能相对喷管3同轴转动，通过以上设置，能够改变切割室喷嘴2或单晶棒料喷嘴4的角度，从而改变清洗的位置，方便在多种不同的切割机机型内使用。

在本实施例中，切割室喷嘴2和所述单晶棒料喷嘴4为扇形喷嘴。通过以上设置，能扩大水雾的喷射范围，优化清洗效果。

在本实施例中，喷管3为D30的无缝不锈钢钢管，材料为304不锈钢。

在本实用新型的其他实施例中，喷管3为D30的PVC管。

本实例的工作过程：硅片线切割结束后，产生的硅泥附着在切割机内部及单晶硅棒料上，通过对包括喷管3直径及喷管3内液体压力的计算，确定切割室喷嘴2和单晶棒料喷嘴4的安装角度和冲洗时间、以及喷管3在设备切割室内安装位置等。得到清洗效果最佳的安装数据，并根据该数据事先将清洗装置安装在线切割机内部，切割完成后，开启清洗装置，可同时对棒料部分和切割室部分进行冲洗，冲洗水不会溅出到设备外，辅助时间也大大缩短。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。