一种镀膜鼓清洁机构的制作方法

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜鼓清洁机构。

背景技术：

磁控溅射卷绕镀膜设备是利用磁控溅射镀膜技术(在真空环境下，利用等离子体放电产生的正离子，轰击处于负电位的靶材，溅射出靶材原子)，通过卷对卷的生产方式，在柔性基材表面沉积金属、合金、半导体、介质化合物等单层或多层纳米材料。如图1所示，现有的磁控溅射卷绕镀膜机通常采用上下结构，卷绕系统位于设备上方，磁控溅射靶布置在下方，磁控溅射靶分布在镀膜鼓周围，柔性基材依次经过放卷-第一导辊-镀膜鼓-第二导辊-收卷。柔性基材镀膜后具备了新的磁学、光学、电学和热学等特殊功能，以此满足现代科学技术对于新材料的功能化、复合化和低维化的发展需求。卷对卷是指原材料为卷状，加工后的成品也为卷状。磁控溅射卷绕镀膜的工作过程为在真空室内要加工的柔性基材如纸张、塑料薄膜经过放卷展开成单张连续的片材，单张片材经过导向辊、展平辊等部件后包裹在镀膜鼓表面，镀膜鼓周围布置的磁控溅射靶，通过气体放电溅射出靶材原子，沉积到柔性基材表面，镀膜后的单张基材在经过，导辊等部件，最后通过收卷将镀膜后的柔性基材再卷成卷状，完成生产过程。磁控溅射沉积成膜过程中，基材受到高温考验，所以要求基材与镀膜鼓接触良好，当镀膜鼓表面有颗粒物时，基材被颗粒支撑起，镀膜难以带走基材传递的热量，基材受热变形，形成质量缺陷。通常镀膜鼓表面尘粒的来源有，柔性基材本身夹带的颗粒，镀膜鼓本身没有清理干净，磁控溅射卷绕镀膜在抽真空阶段，由于气流的冲击，真空室内的灰尘飘落到镀膜鼓表面，对镀膜的质量产生影响。所以镀膜鼓表面的清洁状态直接影响着镀膜的质量。

技术实现要素：

本实用新型旨在提供一种镀膜鼓清洁机构，很好的解决了上述问题，其结构简单，在现有的磁控溅射卷绕镀膜设备内进行加装，不用改变现有的镀膜设备，使镀膜鼓在使用的过程中连续进行清洁，清洁效果好，清洁效率高。

本实用新型的技术方案是一种镀膜鼓清洁机构，包括设置在镀膜鼓上方的毛刷辊，所述毛刷辊两侧分别设置有第一清洁辊和第二清洁辊，所述第一清洁辊和第二清洁辊上均套设有硅胶粘层，所述第一清洁辊和第二清洁辊上方分别设置有第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊，所述第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊上均套设有粘尘纸卷，所述第一清洁辊与第一胶纸卷辊滚动接触，所述第二清洁辊与第二胶纸卷辊滚动接触。

进一步的，所述毛刷辊上设置有多条毛刷。多条毛刷均布在毛刷辊上，使毛刷对镀膜鼓进行刷除作业。

进一步的，所述毛刷辊动力连接有旋转电机，所述毛刷辊与镀膜鼓同向转动。即毛刷辊具有动力，且毛刷辊与镀膜鼓在接触的位置的切线上，运动方向是相反的，更有利于毛刷辊刷除镀膜鼓表面的尘粒。

进一步的，所述第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊上方设置有防护罩。防护罩对所述第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊进行防护，防止外部粉尘沾染到胶纸卷辊上。

进一步的，所述毛刷辊、第一清洁辊和第二清洁辊均与镀膜鼓滚动接触。即毛刷辊、第一清洁辊和第二清洁辊均对镀膜鼓表面进行清洁。

进一步的，还包括外壳，所述毛刷辊、第一清洁辊、第二清洁辊、第一胶纸卷辊和第二胶纸卷辊均设置与外壳内。将整个清洁机构均设置在外壳内，便于整体的安装，也避免清洁机构内部的粉尘溢出，污染镀膜装置。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型的镀膜鼓清洁机构是在现有的磁控溅射卷绕镀膜设备内进行加装，不用改变现有的镀膜设备，使镀膜鼓在使用的过程中连续进行清洁，不会影响正常的镀膜工作；

2、本实用新型采用了三道清洁作业，分别为毛刷辊、第一清洁辊、第二清洁辊，第一清洁辊先清洁镀膜鼓，然后毛刷辊进一步刷除在镀膜鼓上粘附牢固的粉尘，然后再由第二清洁辊进行粘除，清洁辊上粘除的粉尘等污染物又转移到胶纸卷辊上，避免了其掉落到镀膜鼓上，即避免了粉尘的二次污染，使镀膜鼓在使用的过程中连续进行清洁，清洁效果好，清洁效率高。

附图说明

图1为磁控溅射卷绕镀膜机的结构示意图；

图2为本实用新型第一种实施例的结构主视图；

图3为本实用新型第一种实施例中镀膜鼓清洁机构的局部放大示意图；

图4为本实用新型第二种实施例的结构主视图；

图5为本实用新型第二种实施例中镀膜鼓清洁机构的局部放大示意图；

图中：1、真空室；2、卷绕系统；201、放卷；202、第一导辊；203、镀膜鼓；204、第二导辊；205、收卷；206、柔性基材；3、隔板；4、溅射靶；5、镀膜鼓清洁机构；501、第一清洁辊；502、第一胶纸卷辊；503、防护罩；504、毛刷辊；505、第二清洁辊；506、第二胶纸卷辊；507、外壳。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，为现有的磁控溅射卷绕镀膜机的结构示意图，磁控溅射卷绕镀膜机主要包括真空室1、卷绕系统2、隔板3、溅射靶4等部分组成。卷绕系统2主要包括收卷205，第一导辊202，镀膜鼓203，第二导辊204，收卷205等部分组成。磁控溅射卷绕镀膜机通常采用上下结构，卷绕系统2位于设备上方，溅射靶4布置在下方，通过隔板3隔开，溅射靶4分布在镀膜鼓203周围。柔性基材206通过卷绕系统各部件展开，包裹在镀膜鼓203表面，镀膜鼓203上方区域没有柔性基材206包裹。

实施例一：如图2-3所示，本实用新型提供了一种镀膜鼓清洁机构，包括设置在镀膜鼓203上方的毛刷辊504，所述毛刷辊504两侧分别设置有第一清洁辊501和第二清洁辊505，所述第一清洁辊501和第二清洁辊505上均套设有硅胶粘层，所述第一清洁辊501和第二清洁辊505上方分别设置有第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506，所述第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506上均套设有粘尘纸卷，所述第一清洁辊501与第一胶纸卷辊502滚动接触，所述第二清洁辊505与第二胶纸卷辊506滚动接触。

本实用新型镀膜鼓清洁机构即布置在镀膜鼓203上方，位于镀膜鼓203上方没有基材包裹的区域。生产过程中随着镀膜鼓203的转动，连续的对镀膜鼓203表面进行清洁。

所述毛刷辊504上设置有多条毛刷。多条毛刷均布在毛刷辊504上，使毛刷对镀膜鼓203进行刷除作业。所述毛刷辊504动力连接有旋转电机，所述毛刷辊504与镀膜鼓203同向转动。即毛刷辊504具有动力，且毛刷辊504与镀膜鼓203在接触的位置的切线上，运动方向是相反的，更有利于毛刷辊504刷除镀膜鼓203表面的尘粒。所述毛刷辊504、第一清洁辊501和第二清洁辊505均与镀膜鼓203滚动接触。即毛刷辊504、第一清洁辊501和第二清洁辊505均对镀膜鼓203表面进行清洁。

第一清洁辊501首先对镀膜鼓203进行一次清洁，可清除绝大部分尘粒。之后毛刷辊504对于有一定附着力的颗粒进行清扫，使其松动，之后由第二清洁辊505进行二次清洁。第一清洁辊501和第二清洁辊505表面采用硅胶材料，耐候性能好，能够满足镀膜鼓203低温的工作要求。同时硅胶表面为高粘性，与镀膜鼓203滚动接触，能有效粘除镀膜鼓203表面的灰尘镀膜颗粒等污染物。第一胶纸卷辊502、第二胶纸卷辊506主体为粘尘纸卷，使用方便，第一清洁辊501和第二清洁辊505分别与第一、第二胶纸卷辊506滚动接触，将清洁辊表面的尘粒转移到胶纸卷表面的胶纸上。硅胶粘层和粘尘纸卷均为现有常用的粘尘材料。

实施例二：如图4-5所示，在实施例一的基础上，所述第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506上方设置有防护罩503。防护罩503对所述第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506进行防护，防止外部粉尘沾染到胶纸卷辊上。本实施例提供的镀膜鼓清洁机构还包括外壳507，所述毛刷辊504、第一清洁辊501、第二清洁辊505、第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506均设置于外壳507内。将整个清洁机构均设置在外壳507内，便于整体的安装，也避免清洁机构内部的粉尘溢出，污染镀膜装置。毛刷辊504、第一清洁辊501、第二清洁辊505、第一胶纸卷辊502和第二胶纸卷辊506均可以通过转轴或者轴承与外壳507滚动连接，安装时，直接将外壳507固定在镀膜设备内即可。

图中箭头方向为各部件的运动方向。

本实用新型的镀膜鼓清洁机构是在现有的磁控溅射卷绕镀膜设备内进行加装，不用改变现有的镀膜设备，使镀膜鼓203在使用的过程中连续进行清洁，不会影响正常的镀膜工作；本实用新型采用了三道清洁工序，分别为毛刷辊504、第一清洁辊501、第二清洁辊505，第一清洁辊501先清洁镀膜鼓203，然后毛刷辊504进一步刷除在镀膜鼓203上粘附牢固的粉尘，然后再由第二清洁辊505进行粘除，清洁辊上粘除的粉尘等污染物又转移到胶纸卷辊上，避免了其掉落到镀膜鼓203上，即避免了粉尘的二次污染，使镀膜鼓203在使用的过程中连续进行清洁，清洁效果好，清洁效率高。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。