一种两槽手动清洗机片盒挂件的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种两槽手动清洗机片盒挂件。
【背景技术】
[0002]单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，而清洗机是生产硅抛光片的必要设备。两槽手动清洗机由于其低廉的价格和较好的性能优势，目前在国内硅抛光片厂家的应用非常普遍，主要用作清洗去除硅片表面颗粒、沾污和有蜡抛光后硅片去蜡。两槽清洗机是指此设备包含有两个槽体，其中一个槽体是放化学液槽，用来去除硅片表面的颗粒、沾污和有蜡抛光后硅片去蜡；另一个槽体为纯水快速喷淋和倒洗槽，用来去除硅片表面的化学液残留。清洗时需要先将装有硅片的片盒放入化学液槽并启动化学清洗程序，等化学液清洗程序结束后，将装有硅片的片盒再放入纯水快速喷淋和倒洗槽，启动快速喷淋和倒洗程序。而实现将装有硅片的片盒在两个槽体间移动的装置为片盒挂件。
[0003]目前，国内主要以生产直径为4英寸、5英寸和6英寸的单晶硅抛光片为主。两槽手动清洗机生产厂会根据客户所加工的产品尺寸不同分别配备适用于4英寸、5英寸、6英寸的不同宽度和大小的片盒挂件。这样，在实际生产中便会出现生产线上会因加工不同直径的硅片产品，而需要频繁的更换不同的片盒挂件以实现对不同直径产品的清洗工作的问题。另外，目前清洗机生产厂配备的片盒挂件，员工需要抓住触发支撑横轴手动搬运，操作很不方便。
【实用新型内容】
[0004]鉴于现有技术中存在的问题，本实用新型设计提出了一种新型的两槽手动清洗机片盒挂件，目的是解决在生产不同直径单晶硅抛光片产品时需频繁更换片盒挂件的问题和搬运不方便的问题。
[0005]为实现上述发明目的，本实用新型采取的具体技术方案是:一种两槽手动清洗机片盒挂件，由侧挡板、触发支撑横轴，可移动挡板，固定横梁构成；其中:侧挡板的顶部设计有手柄，侧挡板下部在两块侧挡板之间的中间位置和靠近侧挡板内侧位置上焊有四根固定横梁；固定横梁上分别开有一个与4英寸硅片片盒宽度尺寸相同的4英寸硅片卡槽和一个与5英寸硅片片盒宽度尺寸相同的5英寸硅片卡槽；可移动挡板安装在4英寸硅片卡槽、5英寸硅片卡槽内；触发支撑横轴相对应安装在侧挡板上端外部两侧。所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，其中触发支撑横轴表面镀有聚偏氟乙烯镀层，以防止腐蚀、老化。所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，其中侧挡板、固定横梁、可移动挡板均采用聚偏氟乙烯材料制做。
[0006]本实用新型所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，所用组件数量少，加工工艺简单，安装操作方便，可靠性强，有效地解决了在实际生产中因加工不同尺寸、直径的硅片而频繁更换不同的尺寸规格的片盒挂件的问题，同时在侧挡板上部增加手柄式设计，方便了现场搬运操作，提高了工作效率。
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型片盒挂件结构示意图；
[0008]图2为本实用新型片盒挂件侧视图；
[0009]图3为本实用新型片盒挂件中固定横梁结构示意图；
[0010]图4为本实用新型固定横梁上硅片卡槽示意图。
[0011]图中:1、侧挡板；2、手柄；3、触发支撑横轴；4、可移动挡板；5、固定横梁；6、4英寸硅片卡槽；7、5英寸硅片卡槽。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图给出本实用新型的实施方式如下:
[0013]如图1、图2、图3、图4所示，本实用新型所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，由侧挡板1、手柄2、触发支撑横轴3、可移动挡板4、固定横梁5、4英寸娃片卡槽6、5英寸娃片卡槽7构成；其中，为了方便现场员工搬运操做，在侧挡板I的项部设计有手柄2，在侧挡板I的下部，两块侧挡板I之间的中间位置和靠近侧挡板I内侧位置上焊接有四根固定横梁5，在固定横梁5上分别开有一个与4英寸娃片片盒宽度尺寸相同的4英寸娃片卡槽6和一个与5英寸硅片片盒宽度尺寸相同的5英寸硅片卡槽7 ;可移动挡板4可安装在4英寸硅片卡槽6、5英寸娃片卡槽7内；侧挡板1、固定横梁5、可移动挡板4均采用聚偏氟乙稀材料制做。触发支撑横轴3相对应的安装在侧挡板I上端的外部两侧上，起触发程序开关和支撑片盒挂件的功能，触发支撑横轴3采用金属材料制做，其表面镀有聚偏氟乙烯镀层。当清洗4英寸硅片或者清洗5英寸硅片时，只需将可移动挡板4安装到4英寸硅片卡槽6内或者5英寸硅片卡槽7内即可，去掉可移动挡板4便可清洗6英寸硅片，不需要更换不同规格尺寸的片盒挂件。
【主权项】
1.一种两槽手动清洗机片盒挂件，其特征是:所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件由侧挡板(I)、手柄(2)、触发支撑横轴(3)、可移动挡板(4)、固定横梁(5)构成；在侧挡板(I)的顶部设有手柄(2);在侧挡板(I)的下部，两块侧挡板(I)内侧位置上焊有四根固定横梁(5);固定横梁(5)上分别开有一个4英寸娃片卡槽(6)和一个5英寸娃片卡槽(7);可移动挡板(4)安装在4英寸硅片卡槽(6)、5英寸硅片卡槽(7)内；触发支撑横轴(3)相对应安装在侧挡板(I)上端外部两侧。
2.根据权利要求1所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，其特征是:侧挡板(1)、可移动挡板(4)、固定横梁(5)均采用聚偏氟乙烯材料制做。
3.根据权利要求1所述的一种两槽手动清洗机片盒挂件，其特征是:触发支撑横梁(3)表面镀有聚偏氟乙烯镀层。
【专利摘要】一种两槽手动清洗机片盒挂件，适用于单晶硅清洗机在清洗单晶硅片时将装有硅片的片盒在两个槽体间移动。本实用新型采取在侧挡板（1）顶部增加手柄（2）的设计方便现场搬运，在两块侧挡板（1）之间的中间位置及靠近侧挡板（1）内侧位置上焊有四根固定横梁（5），并在固定横梁（5）上分别开有与硅片片盒宽度尺寸相同的4英寸硅片卡槽（6）、5英寸硅片卡槽（7）的技术方案，通过可移动挡板（4）完成不同规格尺寸的硅片清洗过程，不需要频繁更换不同规格尺寸的片盒挂件。本实用新型所用组件数量少，加工工艺简单，安装操做方便，有效解决了因清洗的硅片规格尺寸不同而频繁更换片盒挂件问题。
【IPC分类】H01L21-677, B08B13-00
【公开号】CN204564719
【申请号】CN201520191609
【发明人】胡晓亮, 赵文龙, 高烨, 崔小换
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年4月1日