专利名称：等离子废气循环系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种等离子废气循环系统，尤其涉及一种在等离子产生装置中，经加工后而产生的一部分排出气体进行再利用的等离子废气循环系统。
背景技术：
半导体元件经酸化、蚀刻、蒸着及光刻等多种工程而制成，在此工程中使用多种有毒性化学药品及化学气体。最近随着中微半导体元件的制造不断增加，这种制造工程中的有毒气体的用量也随之增大，如四氟乙烯、四氟化碳、八氟丙烷、全氟丁烷、三氟化氮、六氟化硫等全氟烧混合物(PerFluoro Compound,以下简称PFC),上述化学气体的毒性强,被排入大气中时，会对人体产生致命影响，并导致严重的环境污染。全氟烷混合物分解为稳定的化合物的时间一般需要1000至10000年，因此可长久 性的残存在地球上，导致环境污染的同时，造成全球变暖。因此，必须使其有害成分的含量降至环境许可的程度，并通过无毒化处理工程使其毒性消除，方可排入大气中。也就是说，通过类似于现有的等离子产生装置中所使用的涤气机等气体净化装置，使有毒气体得以净化后，排向大气。现有技术中的等离子产生装置的排气系统不能对已使用的气体进行再次使用，气体全部被排向外部。要将工程中排出的所有气体都进行处理的话，就需要有一定规模的等离子产生装置，相对而言，气体处理工程的费用就会随之增大。所使用的气体也不能得到充分利用，导致资源浪费。
发明内容
本发明的目的是解决上述现有技术中所存在的问题，尤其是提供一种等离子废气循环系统，通过本系统来再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。本发明解决上述技术问题的技术方案如下一种等离子废气循环系统包括内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与等离子产生装置连接，并向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口 ；所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生
>J-U装直。在所述气泵的前方，所述气泵和空间室之间安装有过滤器。在所述供气管中，经首端流入的新气体与经所述辅助供气管供给的再使用气体混合，并供向所述等离子产生装置。还包括控制部，所述控制部由设置在所述供气管首端的开闭阀及设置在所述供气管和辅助供气管的连接部位与所述供气管的尾端之间的气体浓度测定感应器构成；所述控制部控制所述开闭阀的开闭及所述气泵的旋转数，使所述感应器测定的气体浓度与事先设定的值相符。在所述感应器测定的气体浓度较低时，所述控制部加大所述开闭阀的开放程度，并降低所述气泵的旋转数；在所述气体浓度较高时，所述控制部减小所述开闭阀的开放程度，并增加所述气泵的旋转数。本发明的有益效果是本发明所提供的等离子废气循环系统，可再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。
图I是本发明实施方式的等离子废气循环系统的结构图。
具体实施例方式图I是本发明实施方式的等离子废气循环系统的结构图。如图I所示，本发明的等离子废气循环系统，包括空间室110、等离子产生装置120、供气管130、吸气管140、过滤器145、气泵150、辅助供气管160、排气口 170、控制部180、开闭阀190、感应器195等。空间室110的内部配有等离子产生装置120。等离子产生装置120因流入的气体,而产生等离子,并加工基板。供气管130的末端与等离子产生装置120连接，并向等离子产生装置120供气。吸气管140的一端与等离子产生装置120连接，另一端与气泵150连接。气泵150与吸气管140的另一端连接，空间室110内部的气体通过吸气管140，并流经辅助供气管160后被排出。辅助供气管160的一端与气泵150连接，另一端连接在供气管130的首端和尾端之间。空间室110内部的一部分气体因气泵150而被吸入吸气管140，并流经辅助供气管160和供气管130，然后被再次供向等离子产生装置120。也就是说，在供气管130中，通过首端流入的新气体和通过辅助供气管160供给的再使用气体混合，并供向等离子产生装置120。此外，在气泵150的前方安装有过滤器145，过滤器145可过滤与从空间室110内流经吸气管140并流入气泵150的气体一起流入的细微灰尘或其他异物。从而使辅助供气管160内的气体通过过滤器145而被过滤，并干净地排放出来。排气口 170与空间室110连接，将空间室110内的气体排放出来。排气口 170与气体净化设备连接，净化排放气体。供气管130的首端上设有开闭阀190，在供气管130和辅助供气管160的连接部与供气管130尾端之间，设有感应器195。开闭阀190可调节通过供气管130流入的新气体的量。感应器195可测定通过供气管130流入的气体的浓度。控制部180控制开闭阀190的开闭及气泵150的旋转数，使因感应器195而测定的气体浓度与事前设定的值相符。也就是说，当感应器195所测定的气体浓度较低时，控制部180加大开闭阀190的开放程度，并降低气泵150的旋转数，从而增加新气体的量，提高气体的浓度。当感应器195所测定的气体浓度较高时，控制部180减小开闭阀190的开放程度，并增加气泵150的旋转数，从而减少新气体的量，降低气体的浓度。开闭阀190根据需要，可另外附加安装在吸气管140或/及辅助供气管160上。接下来，详细说明上述构造的本发明等离子废气循环系统的运作方法。通过通过供气管130向配置在空间室110内部的等离子产生装置120供气，并产生等离子，进行作业。当空间室110内的气体被充至一定程度后，所使用的部分气体通过排气口 170而被净化，所使用的部分气体流向吸气管140。通过气泵150，使所使用的部分气体流入吸气管140。 因气泵150的启动，空间室110内的所使用的部分气体通过吸气管140，流经辅助供气管160后排出。此时，在气泵150的前方安装有过滤器145，过滤器145可过滤在空间室110内作业时而产生的细微灰尘及其他异物。从而使从辅助供气管160派出的再使用气体可干净地流入供气管130。因此，在上述供气管130中，新气体和再使用的气体混合后，被供向等离子产生装置120。另外，通过辅助供气管160而被供给的再使用气体因已经被使用过，气体成分的浓度较低，在供气管130首端供入的新气体的气体成分浓度则较高。感应器195因设置在供气管130和辅助供气管160的连接部与供气管130尾端之间，可测定新气体和再使用气体混合后的气体的浓度。此时，感应器195所测定的气体浓度与事先设定的值不符时，控制部180控制开闭阀190的开闭及/或气泵150的旋转数。举例说明，当感应器195所测定的气体浓度较低时，控制部180加大开闭阀190的开放程度，并降低气泵150的旋转数，从而增加新气体的量，提高气体的浓度。当感应器195所测定的气体浓度较高时，控制部180减小开闭阀190的开放程度，并增加气泵150的旋转数，从而减少新气体的量，降低气体的浓度。通过上述本发明所提供的等离子废气循环系统，可再次使用等离子产生装置中已使用的部分气体，从而减少资源浪费，降低工程成本，最大程度地降低大气污染。以上所述仅为本发明的较佳实施方式，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种等离子废气循环系统，其特征在于所述等离子废气循环系统包括内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与等离子产生装置连接，并向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气ロ ；所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置。
2.根据权利要求I所述的等离子废气循环系统，其特征在干在所述气泵的前方，所述气泵和空间室之间安装有过滤器。
3.根据权利要求I或2所述的等离子废气循环系统，其特征在干在所述供气管中，经首端流入的新气体与经所述辅助供气管供给的再使用气体混合，并供向所述等离子产生装置。
4.根据权利要求3所述的等离子废气循环系统，其特征在干还包括控制部，所述控制部由设置在所述供气管首端的开闭阀及设置在所述供气管和辅助供气管的连接部位与所述供气管的尾端之间的气体浓度测定感应器构成；所述控制部控制所述开闭阀的开闭及所述气泵的旋转数，使所述感应器測定的气体浓度与事先设定的值相符；在所述感应器测定的气体浓度较低时，所述控制部加大所述开闭阀的开放程度，并降低所述气泵的旋转数；在所述气体浓度较高时，所述控制部减小所述开闭阀的开放程度，并增加所述气泵的旋转数。
全文摘要
本发明涉及一种等离子废气循环系统，尤其涉及一种在等离子产生装置中，经加工后而产生的一部分排出气体进行再利用的等离子废气循环系统。所述等离子废气循环系统包括内部配置有等离子产生装置的空间室；末端与所述等离子产生装置连接，向所述等离子装置供气的供气管；一端与所述等离子产生装置连接的吸气管；与所述吸气管的另一端连接的气泵；一端与所述气泵连接，另一端连在所述供气管的首端与尾端之间的辅助供气管；与所述空间室连接，将所述空间室内的气体排出的排气口。所述空间室内的一部分气体，因所述气泵而被吸入所述吸气管，经过所述辅助供气管和所述供气管，再次供向所述等离子产生装置。
文档编号B01D53/70GK102794091SQ201110138699
公开日2012年11月28日 申请日期2011年5月26日 优先权日2011年5月26日
发明者朴钟仁 申请人:株式会社 Biemt