1.一种具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该系统包括:
设有多个封闭式流道的反应槽主体;
具有一进口端的上封盖,其设于该反应槽主体的一端,且该进口端连通该多个封闭式流道;
具有一出口端的下封盖,其相对于该上封盖而设于该反应槽主体的另一端,且该出口端连通该多个封闭式流道;
至少二个O型环,其分别设于该反应槽主体与该上封盖之间或该反应槽主体与该下封盖之间的至少一者,以增加密封度;以及
第一导流板,其设于该上封盖与该反应槽主体之间,以通过该第一导流板将从该进口端所注入的前驱物均匀地导入该多个封闭式流道内。
2.如权利要求1所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该第一导流板包括:
导流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;
多个通孔,其贯穿该导流板本体的上表面及下表面;以及
多个导槽,其凹陷并形成于该导流板本体的上表面上,且该多个导槽连通该多个通孔及该上封盖的进口端。
3.如权利要求2所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该第一导流板更包括形成于该导流板本体的上表面的圆形导槽,该圆形导槽连通该多个导槽,且该圆形导槽的位置相对于该上封盖的进口端。
4.如权利要求2所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该多个导槽平行于该导流板本体的上表面。
5.如权利要求2所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该多个导槽呈现放射状排列。
6.如权利要求2所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该多个导槽呈现鱼骨状排列。
7.如权利要求2所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该系统还包括第二导流板,该第二导流板包括:
导流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;
多个通孔,其贯穿该导流板本体的上表面及下表面;以及
多个导槽,其凹陷并形成于该导流板本体的上表面上;
其中,该第二导流板设于该第一导流板与该反应槽主体之间,且该第二导流板的导槽数量大于该第一导流板的导槽数量。
8.如权利要求2至7中任一项所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该系统包括聚流板,该聚流板包括:
聚流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;以及
通孔,其贯穿该聚流板本体的上表面及下表面且位于该聚流板本体的中心点;
其中,该聚流板设于该第一导流板与该上封盖之间。
9.如权利要求8所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面形成有至少一连通该通孔的导槽。
10.如权利要求9所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽自该通孔向外延伸而呈扇形。
11.如权利要求9所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽的数量为至少二个以上,且该聚流板本体的上表面的导槽自该聚流板边缘线性延伸至该通孔。
12.如权利要求9所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽的位置相对于该上封盖的进口端。
13.如权利要求12所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的轴向。
14.如权利要求12所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的径向。
15.如权利要求1所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该第一导流板包括:
导流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;
通孔,其贯穿该导流板本体的上表面及下表面;以及
多个导槽,其凹陷并形成于该导流板本体的下表面上,且各该多个导槽的一端分别连通该反应槽主体的多个封闭式流道的对应流道,各该多个导槽的另一端集中连通该通孔,以使该多个导槽呈现放射状或鱼骨状排列。
16.如权利要求15所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该通孔位于该导流板本体的中心点。
17.如权利要求15所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,各该多个导槽的深度从连通该通孔的一端朝连通该多个封闭式流道的对应流道的一端的方向递减。
18.如权利要求15所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该第一导流板更包括形成于该导流板本体的上表面的导槽,该导流板本体的上表面的导槽连通该通孔,且该导流板本体的上表面的导槽自该通孔向外延伸而呈扇形。
19.如权利要求15所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该导流板本体的上表面形成自该第一导流板边缘线性延伸至该通孔的至少二导槽。
20.如权利要求18或19所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该导流板本体的上表面的导槽的位置相对于该上封盖的进口端。
21.如权利要求20所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的轴向。
22.如权利要求20所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的径向。
23.如权利要求15所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该系统还包括第二导流板,该第二导流板包括:
导流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;
多个通孔,其贯穿该导流板本体的上表面及下表面;以及
多个导槽,其凹陷并形成于该导流板本体的上表面上;
其中,该第二导流板设于该第一导流板与该反应槽主体之间,且该第二导流板的导槽数量大于该第一导流板的导槽数量。
24.如权利要求15至19或23中任一项所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该系统还包括聚流板,该聚流板包括:
聚流板本体,具有上表面及相对于该上表面的下表面;以及
通孔,其贯穿该聚流板本体的上表面及下表面且位于该聚流板本体的中心点;
其中,该聚流板设于该第一导流板与该上封盖之间。
25.如权利要求24所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面形成有至少一连通该通孔的导槽。
26.如权利要求25所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽自该通孔向外延伸而呈扇形。
27.如权利要求25所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽的数量为至少二个以上,且该聚流板本体的上表面的导槽自该聚流板边缘线性延伸至该通孔。
28.如权利要求25所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该聚流板本体的上表面的导槽的位置相对于该上封盖的进口端。
29.如权利要求28所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的轴向。
30.如权利要求28所述的具导流板的封闭式流道反应槽系统,其特征为,该进口端的开口方向平行于该上封盖的径向。