技术总结
本发明涉及一种具导流板的封闭式流道反应槽系统，包括：反应槽主体、上封盖、下封盖以及至少一导流板。该反应槽主体内设有多个封闭式流道。该上封盖及下封盖分别设于该反应槽主体的二端，且该上封盖及下封盖分别具有进口端及出口端，以连通该多个封闭式流道。该导流板设于该上封盖与该反应槽主体之间，用以将从该上封盖的进口端所注入的前驱物均匀地导入该多个封闭式流道内。
技术研发人员：彭宗平;柯志忠;林建宝;蜜西菈;黄圣鑫;刘光益;余友轩
受保护的技术使用者：彭宗平
文档号码：201510957781
技术研发日：2015.12.18
技术公布日：2017.06.27