管口装置和处理设备的制作方法

本发明涉及管口装置和处理设备。

背景技术：

常规上已知的管口从多个开口排出或吸取流体。这样的管口例如通过连接单个供应口和多个开口的管路传送从单个供应口供应的流体并且从开口排出流体。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开No.2014-12239

技术实现要素：

本发明要解决的问题

可能期望通过开口的流体的流率更均匀。

本发明要解决的问题的示例是提供一种使得通过开口的流体的流率更均匀的管口装置和处理设备。

解决问题的手段

根据一个实施例的管口装置包括第一开口、多个第二开口和第一管路部分。第一管路部分包括至少一个第一分岔部分，所述至少一个第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分和连接到第一部分的第一端并且在与第一方向相交的各方向上延伸的多个第二部分，第一管路部分连接第一开口和第二开口，在从第一开口延伸到第二开口的路径中被第一分岔部分分岔至少一次，并且在第一开口和第二开口之间具有相同的路径长度和相同数量的第一分岔部分。第一部分的第一端的横截面积小于第一部分的第二端的横截面积。

附图说明

图1是简略地示意了根据第一实施例的处理设备的简图。

图2是根据第一实施例的管口装置的立体图。

图3是根据第一实施例的分岔部分的形状的立体图。

图4是根据第一实施例的分岔部分的形状的平面图。

图5是简略地示意了根据第一实施例的惰性气体从其流动通过的分岔部分的平面图。

图6是指示根据第一实施例的关于分岔部分宽度比的分岔误差的图表。

图7是根据第二实施例的分岔部分的形状的平面图。

图8是指示根据第二实施例的关于纵横比的分岔误差的图表。

图9是根据第三实施例的分岔部分的形状的平面图。

图10是根据第三实施例的分岔部分的修改的平面图。

图11是根据第四实施例的分岔部分的形状的平面图。

图12是简略地示意了根据第五实施例的管口装置的平面图。

图13是以放大的方式示意了根据第五实施例的第一倾斜部分和第二倾斜部分的截面图。

图14是根据第六实施例的管口装置的立体图。

具体实施方式

下面参考图1-6描述第一实施例。为了指定根据本实施例的部件并对它们进行说明，可使用多个表述。对于所述部件和对其的说明，不阻止使用不在本文中使用的其他表述。另外，对于未以多个表述进行描述的部件和对其的说明，不阻止使用其他表述。

图1是简略地示意了根据第一实施例的处理设备10的简图。处理设备10是例如执行激光束加工的设备。处理设备10不限于此。如在图1中示意的，处理设备10包括控制单元11、槽12、泵13、处理室14和多个管口装置15。槽12是容纳单元的示例。泵13是供应单元的示例。

控制单元11控制泵13和处理设备10的其他部分。槽12容纳惰性气体，例如氩气。惰性气体是流体的示例。流体不限于此而可以是其他气体和液体。泵13由控制单元11控制以将槽12中的惰性气体供应到管口装置15。处理室14由多个壁例如以气密的方式组成。图1以交替的长划线和两个短划线简略地示意了处理室14。处理设备10对布置在处理室14中的工件进行激光束加工。

管口装置15设置在处理室14中并且以围绕工作台的方式布置，在工作台上放置例如工件。管口装置15从工件的周围将由泵13供应的惰性气体朝向工件排出。

图2是管口装置15的立体图。如在图2中示意的，管口装置15包括基体21、供应口22、多个排出口23和管路24。供应口22是第一开口的示例。排出口23是第二开口的示例。管路24是第一管路部分的示例。

基体21例如形成为长方体块形状。因此，可将基体21的刚性设置较高。基体21的形状不限于此。基体21具有第一表面21a和第二表面21b。第一和第二表面21a和21b形成为大体上是平坦的并且彼此正交。

如在图中示意的，在本说明书中限定了X轴、Y轴和Z轴。X轴、Y轴和Z轴彼此正交。X轴沿基体21的长度延伸。Y轴沿基体21的深度(宽度)延伸。Z轴沿基体21的厚度(高度)延伸。基体21的第一表面21a在沿Y轴的方向上面向。基体21的第二表面21b在沿Z轴的方向上面向。

供应口22形成在基体21的第一表面21a中。供应口22连接到泵13。排出口23形成在基体21的第二表面21b中。排出口23排成一列地在沿X轴的方向上布置并且与处理室14的内部连通。供应口22和排出口23的布置不限于此。

管路24是设置在基体21中以连接供应口22和排出口23的流动通路。换言之，供应口22设置到管路24的一端，并且排出口23设置到管路24的其他端。管路24包括多个分岔部分31和多个管口32。分岔部分31是第一分岔部分的示例。

分岔部分31是将从供应口22延伸到排出口23的路径分成多个(例如两个)分支的部分。根据本实施例的分岔部分31将从供应口22延伸到排出口23的路径分岔成三个阶段。换言之，管路24在从供应口22延伸到排出口23的路径中被分岔三次。在下面的描述中，在第一阶段处的分岔部分31可称为分岔部分31A，在第二阶段处的分岔部分31可称为分岔部分31B，并且在第三阶段处的分岔部分31可称为分岔部分31C。

图3是分岔部分31的形状的立体图。如在图3中示意的，根据第一实施例的分岔部分31形成为T形。分岔部分31具有第一部分41、两个第二部分42和连接部分43。图3不仅示意了一个分岔部分31，并且出于说明还示意了连接到分岔部分31的另一分岔部分31的第一和第二部分41和42。

第一部分41在沿Y轴的方向上线性延伸。沿Y轴的方向是第一方向的示例。各个分岔部分31的第一部分41在平行于沿Y轴的方向上延伸。

第二部分42通过连接部分43连接到第一部分41的第一端41a。第二部分42从连接部分43在沿X轴的各方向上延伸。换言之，第二部分42在与Y轴相交90度的各方向上延伸。与Y轴相交90度的方向是与第一方向相交的方向的示例。两个第二部分42镜像对称地并且关于第一部分41延伸的方向旋转对称地延伸。第二部分42不限于此。

在第一阶段处的分岔部分31A中，第一部分41的第二端41b连接到供应口22。第一部分41的第二端41b位置与第一端41a相对。在第一阶段处的分岔部分31A的第二部分42通过联接部分44连接到在第二阶段处的分岔部分31B的第一部分41的各第二端41b。换言之，分岔部分31A的第二部分42和分岔部分31B的第一部分41的第二端41b通过联接部分44连接。

在第二阶段处的分岔部分31B的第二部分42通过联接部分44连接到在第三阶段处的分岔部分31C的第一部分41的各第二端41b。如在图2中示意的，分岔部分31C的第一部分41在与分岔部分31A和31B的第一部分41延伸的方向相反的方向上延伸。该结构能够减少基体21在沿Y轴的方向上的长度。

在第三阶段处的分岔部分31C的第二部分42通过联接部分44连接到各管口32。换言之，分岔部分31C的第二部分42和管口32通过联接部分44连接。管口32在沿Z轴的方向上延伸并且连接分岔部分31C的第二部分42和各排出口23。

在第二阶段处的分岔部分31B的第一和第二部分41和42的横截面积小于在第一阶段处的分岔部分31A的第一和第二部分41和42的横截面积。在第三阶段处的分岔部分31C的第一和第二部分41和42的横截面积小于在第二阶段处的分岔部分31B的第一和第二部分41和42的横截面积。如上所述，管路24的横截面积从供应口22到排出口23减小。

供应口22和各排出口23之间的路径长度在管路24中相同。在本说明书中，供应口22和各排出口23之间的路径长度相同的情况包括例如在路径长度中存在由尺寸公差导致的误差的情况。

另外，设置在供应口22和各排出口23之间的分岔部分31的数量在管路24中相同。换言之，给从供应口22延伸到各排出口23的路径设置相同数量(在本实施例中为三个)的分岔部分31。

另外，在阶段处设置的分岔部分31的形状和大小相同。换言之，在第二阶段处的两个分岔部分31B具有相同的形状和相同的大小，并且在第三阶段处的四个分岔部分31C具有相同的形状和相同的大小。

如上所述，在供应口22和各排出口23之间延伸的路径的路径长度和结构相同。结果，作用在流动通过供应口22和各排出口23之间的路径的流体上的阻力相同(等效传导)。

如在图3中示意的，包括分岔部分31的管路24具有大体上拉长的圆形的横截面形状。尽管在图3中示意的管路24的横截面形状为具有在沿Z轴的方向上延伸的两个平行边的拉长的圆形，但是其可以为椭圆。管路24的横截面形状不限于此而可以是另外的形状，例如圆形、矩形和正方形。

第一部分41的横截面形状例如为在沿Z轴的方向上延伸的拉长的圆形。换言之，第一部分41的横截面形状在沿X轴的方向上的长度比在沿Z方向的方向上的长度小。在沿X轴的方向上的长度是宽度的示例并且是与第一部分41正交的另一分岔部分31的第二部分42在第一部分41延伸的方向上的平面视图中延伸的方向上的长度(在Y轴方向上观察)。在沿Z轴的方向上的长度是在第二方向上的长度的示例并且是在与第一方向(沿Y轴的方向)和第二部分42延伸的方向(在X-Y平面上的方向)都正交的方向上的长度。

图4是分岔部分31的形状的平面图。如在图4中示意的，第一部分41的横截面积随第一部分41从第二端41b延伸到第一端41a变小。换言之，第一部分41的第一端41a的横截面积小于第一部分41的第二端41b的横截面积。

在沿X轴的方向上的第一部分41的第一端41a的长度(宽度)L1小于在沿X轴的方向上的第一部分41的第二端41b的长度(宽度)L2。长度L1例如等于或小于长度L2的80％。长度L1不限于此。

图5是简略地示意了惰性气体G从其流动通过的分岔部分31的平面图。泵13将惰性气体G供应到供应口22。惰性气体G从供应口22流动到管路24中并且通过多个分岔部分31。惰性气体G在三个阶段处被分岔部分31A、31B和31C分岔三次、通过管口32并且从各排出口23排出到处理室14的内部。

如在图5中示意的，流动通过设置在上游的分岔部分31的第二部分42的惰性气体G通过联接部分44b并且流动到设置在下游的分岔部分31的第一部分41中。图5通过箭头简略地示意了流动通过分岔部分31的惰性气体G。

第二部分42在沿X轴的方向上延伸。结果，由于惯性力，流动到第一部分41中的惰性气体G被带到较靠近第一部分41的外侧(图5中的左侧)并且流动通过第一部分41。第一部分41的外侧是较远离设置在上游的分岔部分31的连接部分43的侧。换言之，在第一部分41中的惰性气体G在沿X轴的方向上不均匀地分布。在第一部分41中的惰性气体G在沿Z轴的方向上大体上均匀地分布。

如上所述，第一部分41的横截面积随第一部分41从第二端41b延伸到第一端41a变小。结果，在第一部分41中的惰性气体G在其朝向第一端41a行进时在沿X轴的方向上汇聚在中央。换言之，与在第一部分41的第二端41b处的惰性气体G相比，在第一部分41的第一端41a处的惰性气体G在沿X轴的方向上更均匀地分布。

惰性气体G经由连接部分43从第一部分41的第一端41a传送到两个第二部分42。由于惰性气体G汇聚在第一部分41的第一端41a处，所以惰性气体G被更均匀地分岔并且流动到两个第二部分42中。换言之，流动到第二部分42中的一个中的惰性气体G的流率大体上等于流动到第二部分42中的另一个中的惰性气体G的流率。

图6是指示传送到两个第二部分42的惰性气体G关于第一部分41的宽度比的分岔误差的图表。图6中的水平轴指示长度L与长度L2的百分比(分岔部分宽度比)。图6中的垂直轴指示流动到两个第二部分42中的惰性气体G的偏差(分岔误差)。1％的分流误差指示流动到两个第二部分42中的惰性气体G的流率的比为51:49。

如在图6中示意的，当分岔部分宽度比减少到等于或低于80％时，分岔误差大幅地降低。换言之，将长度L1设置到等于或小于长度L2的80％有效地降低分岔误差。

如上所述管口装置15例如通过3D打印机以增材方式制造。管口装置15由各种材料(例如合成树脂和金属)制成。管口装置15由具有对由管口装置15供应的流体(惰性气体G)的阻力的材料制成。

3D打印机例如在沿Z轴的方向上反复形成材料层并使材料层硬化，从而制造管口装置15。管路24可在组成管口装置15的层的增材制造过程中切割并成形。在组成管口装置15的层的增材制造过程中，可以切割并成形例如管路24的除了向下面向的那些表面的表面。

可以通过不是增材制造的方法来制造管口装置15。管口装置15例如可以通过连接多个构件来制造，所述多个构件通过切割作为管路24的各个部分来形成。

在根据第一实施例的处理设备10中，在供应口22和各排出口23之间延伸的路径的路径长度和结构相同。结果，不管供应到供应口22的惰性气体G的流率，使得从排出口23排出的惰性气体G的流率更均匀。换言之，防止了从排出口23排出的惰性气体G的流率的分布取决于供应到供应口22的惰性气体G的流率而变化。

管路24的横截面积随管路24从供应口22延伸到排出口23而变小。该结构降低了流动通过管路24的惰性气体G的压力损失并且使得从排出口23排出的惰性气体G的流率更均匀。

管口装置15通过3D打印机以增材方式制造。借助这种方法，与通过切割来成形管路24的情况相比，能够更可选地确定管路24的形状。另外，能够更可选地布置供应口22和排出口23。

第一部分41的第一端41a的横截面积小于第一部分41的第二端41b的横截面积。即便例如从另一分岔部分31的第二部分42流动到第一部分41的惰性气体G由于惯性力而在第一部分41中不均匀地分布，惰性气体G仍然收集在具有较小横截面积的第一部分41的第一端41a处并且经由连接部分43被传送到第二部分42。结果，惰性气体G被更均匀地传送到第二部分42。结果，使得最终从排出口23排出的惰性气体G的流率更均匀。

由于在第二部分42延伸的方向(沿X轴的方向)上的惯性力，从另一分岔部分31的第二部分42流动到第一部分41的惰性气体G被更均匀地分布。第一部分41的第一端41a的长度L1小于第一部分41的第二端41b的长度L2。长度L1和L2是与第一部分41正交的另一分岔部分31的第二部分42在第一部分41延伸的方向上的平面视图中延伸的方向上的长度。该结构消除了从第一部分41传送到第二部分42的惰性气体G的不均匀分布，从而更均匀地将惰性气体G传送到第二部分42。

第一部分41的第一端41a的长度L1等于或小于第一部分41的第二端41b的长度L2的80％。通过将长度L2设置到上述值，惰性气体G如在图6中所示意地被更均匀地传送到第二部分42。

在第一部分41的横截面形状中，在沿X轴的方向上的长度(在与第一部分41正交的另一分岔部分31的第二部分42在第一部分41延伸的方向上的平面视图中延伸的方向上的长度)小于在沿Z轴的方向上的长度(在与沿Y轴的方向和第二部分42延伸的方向都正交的方向上的长度)。该结构在第一部分41中抑制例如由惯性力导致的经由联接部分44从另一分岔部分31的第二部分42流动到第一部分41的惰性气体G的不均匀分布，并且经由连接部分43将惰性气体G传送到第二部分42。在例如由3D打印机执行的增材制造中，该结构能够在管路24的表面上固定较宽的部分作为能够被切割平滑的部分。另外，与在其中在沿X轴的方向上的长度等于或大于在沿Z轴的方向上的长度的结构相比，该结构抑制第一部分41中的惰性气体G在沿X轴的方向上的不均匀分布。

下面参考图7和8描述第二实施例。在下面的对实施例的描述中，通过与已经描述过的部件的参考标号相同的参考标号来指代与具有已经描述过的部件的功能类似的功能的部件，并且可省略对其的说明。由相同参考标号指代的多个部件的全部功能和特性不一定相同，取决于实施例，部件可具有不同功能和特性。

图7是根据第二实施例的分岔部分31的形状的平面图。如在图7中示意的，在沿X轴的方向上的根据第二实施例的第一部分41的第一端41a的长度L1等于在沿X轴的方向上的第一部分41的第二端41b的长度L2。图7单单示意了长度L2。

第一部分41从第一端41a到第二端41b的长度L3大于在沿X轴的方向上第一部分41的长度L1和L2。长度L3例如等于或大于长度L1和L2的五倍。长度L3不限于此。

图8是指示传送到两个第二部分42的惰性气体G关于第一部分41的纵横比的分岔误差的图表。图8中的水平轴指示长度L3与长度L1和L2的比(纵横比)。图8中的垂直轴指示流动到两个第二部分42中的惰性气体G的偏差(分岔误差)。

如在图8中示意的，当纵横比增加到等于或高于5时，分岔误差减少。换言之，将长度L3设置到等于或大于长度L1和L2的五倍有效地减小了分岔误差。当纵横比增加到等于或高于8时，分岔误差进一步减少。

在根据第二实施例的处理设备10中，第一部分41从第一端41a到第二端41b的长度L3等于或大于第一部分41的长度L1和L2的五倍。即便例如由于惯性力，从另一分岔部分31的第二部分42流动到第一部分41中的惰性气体G被不均匀地分布，当惰性气体G通过第一部分41时，也大体上消除了惰性气体G的不均匀分布。惰性气体G随后经由连接部分43被传送到第二部分42。结果，如在图8中示意的，惰性气体G被更均匀地传送到第二部分42。结果，使得最终从排出口23排出的惰性气体G的流率更均匀。

下面参考图9描述第三实施例。图9是根据第三实施例的分岔部分31的形状的平面图。如在图9中示意的，根据第三实施例的第二部分42在与Y轴以相交角θ相交的各方向上从连接部分43延伸。换言之，两个第二部分42镜像对称地并且关于第一部分41延伸的方向旋转对称地延伸。第二部分42不限于此。

相交角θ例如小于90度并且大于0度。结果，第二部分42从第一端41a延伸以在沿Y轴的方向上接近第一部分41的第二端41b。

在根据第三实施例的处理设备10中，第二部分42在与Y轴以相交角θ相交的各方向上从连接部分43延伸。相交角θ小于90度。借助该结构，可减小在沿Y轴的方向上整个管路24的长度，而增加第一部分41在沿Y轴的方向上的长度L3。结果，可以缩小管口装置15的尺寸。

流动通过第一部分41的惰性气体G的行进方向与在沿Y轴的方向上流动通过第二部分42的惰性气体G的行进方向相反。该结构减小了惰性气体G在连接部分43处的惯性力，从而更均匀地将惰性气体G传送到第二部分42。

图10是根据第三实施例的分岔部分31的修改的平面图。如在图10中示意的，根据本修改的第二部分42均具有正交部分42a和倾斜部分42b。

正交部分42a在沿X轴的各方向上线性延伸。换言之，正交部分42在与Y轴相交90度的各方向上延伸。结果，面向第一部分41的第一端41a的连接部分43的内表面也在与Y轴相交90度的方向上延伸。

倾斜部分42b在与Y轴以相交角θ相交的各方向上从正交部分42a延伸。相交角θ小于90度。均具有正交部分42a和倾斜部分42b的两个第二部分42镜像对称地并且关于第一部分41延伸的方向旋转对称地延伸。

面向第一部分41的第一端41a的连接部分的内表面可以与第一部分41延伸的方向正交，如同在图10中示意的分岔部分31。第二部分42可具有如同在图10中示意的第二部分42地弯曲的形状。

下面参考图11描述第四实施例。图11是根据第四实施例的分岔部分31的形状的平面图。如在图11中示意的，分岔部分31具有分叉部分45。

分叉部分45在面向第一部分41的第一端41a的位置处设置到连接部分43。分叉部分45的一部分可设置到第二部分42。

分叉部分45相对于第一部分41的第一端41a凹陷。换言之，分叉部分45是远离第一部分41的第一端41a形成的凹陷。

惯性力导致从第一部分41流动到连接部分43的惰性气体G进入作为凹陷的分叉部分45。在分叉部分45中减小了惯性力并且惰性气体G被传送到两个第二部分42。

在根据第四实施例的处理设备10中，分叉部分45在面向第一部分41的第一端41a的位置处设置到连接部分43并且相对于第一端41a凹陷。凹陷的分叉部分45接收从第一部分41的第一端41a流动到连接部分43的惰性气体G、减小其力度并且将惰性气体G传送到第二部分42。结果，惰性气体G可以被更均匀地传送到第二部分42。

分叉部分45可相对于第一部分41的第一端41a突出。在这种情况下，突出的分叉部分45将从第一部分41的第一端41a流动到连接部分43的惰性气体的流分开并且将它们引导到两个第二部分42。结果，分叉部分45可以将惰性气体G更均匀地传送到第二部分42。

下面参考图12和13描述第五实施例。图12是简略地示意了根据第五实施例的管口装置15的平面图。如在图12中示意的，根据第五实施例的管口装置15包括第一供应口61、多个第一排出口62、第一管路部分63、第二供应口64、多个第二排出口65和第二管路部分66。第一供应口61是第一开口的示例。第一排出口62是第二开口的示例。第二供应口64是第三开口的示例。第二排出口65是第四开口的示例。

第一供应口61、第一排出口62、第一管路部分63、第二供应口64、第二排出口65和第二管路部分66设置到基体21。第一排出口62和第二排出口65设置到基体21的单个表面21c。第一管路部分63和第二管路部分66设置在基体21中。

第一供应口61和第二供应口64连接到泵13。控制单元11控制泵13，从而选择性地将惰性气体G从泵13供应到第一供应口61和第二供应口64中的一个。

第一管路部分63是连接第一供应口61和第一排出口62的流动通路。换言之，第一供应口61设置到第一管路部分63的一端，并且第一排出口62设置到第一管路部分63的其他端。第一管路部分63包括多个分岔部分31和多个第一管口部分71。第一管路部分63的分岔部分31是第一分岔部分的示例。

类似于根据第一实施例的分岔部分31，第一管路部分63的分岔部分31是将从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径分成两个分支的部分。根据本实施例的分岔部分31将从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径分岔成两个阶段。换言之，第一管路部分63在从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径中被分岔两次。

第二管路部分66是连接第二供应口64和第二排出口65的流动通路。换言之，第二供应口64设置到第二管路部分66的一端，并且第二排出口65设置到第二管路部分66的其他端。第二管路部分66包括多个分岔部分31和多个第二管口部分72。第二管路部分66的分岔部分31是第二分岔部分的示例。

类似于根据第一实施例的分岔部分31，第二管路部分66的分岔部分31是将从第二供应口64延伸到第二排出口65的路径分成两个分支的部分。根据本实施例的分岔部分31将从第二供应口64延伸到第二排出口65的路径分岔成两个阶段。换言之，第二管路部分66在从第二供应口64延伸到第二排出口65的路径中被分岔两次。

类似于第一实施例，第一管路部分63的分岔部分31和第二管路部分66的分岔部分31均具有第一部分41、两个第二部分42和连接部分43。第二管路部分66的第一部分41是第三部分的示例。第二管路部分66的第二部分42是第四部分的示例。类似于第一实施例，第一部分41在沿Y轴的方向上线性延伸。

类似于第一实施例，第二部分42通过连接部分43连接到第一部分41的第一端41a。第二部分42从连接部分43在沿X轴的各方向上延伸。换言之，第二部分42在与Y轴相交90度的各方向上延伸。

第一供应口61和各第一排出口62之间的路径长度在第一管路部分63中相同。另外，设置在第一供应口61和各第一排出口62之间的分岔部分31的数量在第一管路部分63中相同。另外，在阶段处设置的分岔部分31的形状和大小相同。如上所述，在第一供应口61和各第一排出口62之间延伸的路径的路径长度和结构相同。结果，作用在流动通过在第一供应口61和各第一排出口62之间延伸的路径的流体上的阻力相同(等效传导)。

与此类似，第二供应口64和各第二排出口65之间的路径长度在第二管路部分66中相同。另外，设置在第二供应口64和各第二排出口65之间的分岔部分31的数量在第二管路部分66中相同。另外，在阶段处设置的分岔部分31的形状和大小相同。如上所述，在第二供应口64和各第二排出口65之间延伸的路径的路径长度和结构相同。结果，作用在流动通过在第二供应口64和各第二排出口65之间延伸的路径的流体上的阻力相同(等效传导)。

在第一管路部分63中第一供应口61和第一排出口62之间的路径长度等于在第二管路部分66中第二供应口64和第二排出口65之间的路径长度。在第一管路部分63中的分岔部分31的第一和第二部分41和42的大小可以不同于在第二管路部分66中的分岔部分31的第一和第二部分41和42的大小。

第一管口部分71在从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径中将最靠近第一排出口62的分岔部分31的第二部分42连接到各第一排出口62。第一管口部分71均具有连接到第一排出口62并且以相对于Y轴倾斜的方式延伸的第一倾斜部分71a。第一倾斜部分71a向例如图12中的右上方向倾斜地延伸。

第二管口部分72在从第二供应口64延伸到第二排出口65的路径中将最靠近第二排出口65的分岔部分31的第二部分42连接到各第二排出口65。第二管口部分72均具有连接到第二排出口65并且以相对于Y轴倾斜的方式延伸的第二倾斜部分72a。第二倾斜部分72a向例如图12中的左上方向倾斜地延伸。

图13是以放大的方式示意了第一倾斜部分71a和第二倾斜部分72a的截面图。如在图13中示意的，第一管口部分71的第一倾斜部分71a和第二管口部分72的第二倾斜部分72a以相交的方式彼此连接。第一倾斜部分71a和第二倾斜部分72a可以以图13中示意的90度彼此相交或者以另外的角彼此相交。

第一管口部分71的第一倾斜部分71a具有第一小直径部分75。在从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径中，第一小直径部分75设置在比连接到第二倾斜部分72a的部分更靠近第一供应口61(在其上游)的位置处。第一小直径部分75在例如第一倾斜部分71a中邻近连接到第二倾斜部分72a的部分设置。

第一小直径部分75是在其中第一管口部分71的横截面积减小的部分。换言之，第一小直径部分75的横截面积小于第一管口部分71的其他部分。第一小直径部分75例如由从第一管口部分71的内表面突出的壁形成。

第二管口部分72的第二倾斜部分72a具有第二小直径部分76。在从第二供应口64延伸到第二排出口65的路径中，第二小直径部分76设置在比连接到第一倾斜部分71a的部分更靠近第二供应口64(在其上游)的位置处。第二小直径部分76例如在第二倾斜部分72a中邻近连接到第一倾斜部分71a的部分设置。

第二小直径部分76是在其中第二管口部分72的横截面积减小的部分。换言之，第二小直径部分76的横截面积小于第二管口部分72的其他部分。第二小直径部分76例如由从第二管口部分72的内表面突出的壁形成。

当泵13将惰性气体G供应到例如在上述管口装置15中的第一供应口61时，惰性气体G通过分岔部分31。惰性气体G被分岔部分31分岔两次并且流动到第一管口部分71中。

在第一小直径部分75中，第一管口部分71的横截面积减小。由于通过第一小直径部分75，惰性气体G增加其流速。加速的惰性气体G通过连接到第二倾斜部分72a的部分并且从定位在第一管口部分71的端部处的第一排出口62排出。

同样，当泵13将惰性气体G供应到第二供应口64时，产生了上述的相同状态。特别地，由于通过第二小直径部分76，惰性气体G增加其流速。加速的惰性气体G通过连接到第一倾斜部分71a的部分并且从定位在第二管口部分72的端部处的第二排出口65排出。惰性气体G从第二排出口65排出的方向不同于惰性气体G从第一排出口62排出的方向。

在根据第五实施例的处理设备10中，第一管口部分71均具有第一小直径部分75。在从第一供应口61延伸到第一排出口62的路径中，第一小直径部分75设置在比连接到第二管口部分72的部分更靠近第一供应口61的位置处。第一小直径部分75是在其中第一管口部分71的横截面积减小的部分。借助该结构，通过第一管口部分71并朝向第一排出口62行进的的惰性气体G由于通过第一小直径部分75而增加其流速。结果，惰性气体G更有可能笔直地朝向第一排出口62行进。该结构从而抑制第一管口部分71中的惰性气体G进入到第二管口部分72中。该结构还抑制第二管口部分72中的惰性气体G进入到第一管口部分71中。

根据第五实施例的泵13中的惰性气体G选择性地供应到第一供应口61和第二供应口64中的一个。处理设备10可包括换向阀，所述换向阀将惰性气体G从泵13供应到第一供应口61和第二供应口64中的一个。

尽管根据上述实施例的管路24、63和66在X-Y平面上延伸，但是它们不限于此。在X-Y平面上延伸的两个或更多个管路可以在沿Z轴的方向上堆叠并且彼此连接以用作多层结构。结果，可以缩小管口装置15在X-Y平面中的尺寸。

下面参考图14描述第六实施例。图14是根据第六实施例的管口装置15的立体图。如在图14中示意的，根据第六实施例的管口装置15包括供应口22、四个排出口23和管路24。

在根据第六实施例的管路24中，分岔部分31具有第一部分41、四个第二部分42和连接部分43。换言之，根据本实施例的分岔部分31将从供应口22延伸到排出口23的路径分成四个分支。第一部分41在沿Y轴的方向上线性延伸。

连接部分43将四个第二部分42连接到第一部分41的第一端41a。四个第二部分42中的两个从连接部分43在沿X轴的各方向上线性延伸。相较之下，第二部分42中的其他两个从连接部分43在沿Z轴的各方向上线性延伸。

如上所述，四个第二部分42在与Y轴相交90度的各方向上延伸。四个第二部分42在彼此相交90度的各方向上延伸。换言之，两个第二部分42关于第一部分41延伸的方向旋转对称地延伸。四个第二部分42通过四个联接部分44和四个管口32连接到各排出口23。

在根据第六实施例的处理设备10中，管路24在三维方向上延伸，并且四个第二部分42在与Y轴相交90度的各方向上延伸。如上所述，三个或更多个第二部分42可以从第一部分41的第一端41a延伸。

只要第二部分42与第一部分41延伸的方向相交的角(相交角θ)相同，第二部分42彼此相交的角(分岔角θd)可以彼此不同。换言之，图14中X-Y平面上第二部分42彼此相交的角(分岔角θd)可以彼此不同。

根据上述实施例中的至少一个的第一部分的第一端的横截面积小于第一部分的第二端的横截面积。该结构使得通过第二开口的流体的流率更均匀。

尽管已经描述了本发明的某些实施例，但是这些实施例仅通过举例的方式来呈现而不打算限制本发明的范围。本文描述的新颖的实施例可以以各种不同的其他形式来实施。在不背离本发明的精神的情况下可以做出各种省略、替换和改变。实施例及其修改包括在随附的权利要求及其等价物中并且落于本发明的范围和精神内。

在上面的实施例中，例如用作流体的示例的惰性气体G从用作第一开口的供应口22供应并且从用作第二开口的示例的排出口23排出。然而，可以从第二开口吸取流体并且将其从第一开口排出。