技术特征：
1.一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的第一微孔（3）和第二微孔（4）。2.如权利要求1所述的一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，其喷嘴主体（1）弧度与反应腔体弧度相同。3.如权利要求1所述的一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，所述管路（2）与喷嘴内部连通，用于气体的输入；管路（2）中部带有外螺纹（5），用于与腔体的固定；管路（2）端部带有外螺纹（6）用于与外部管路的连接；管路（2）直径为1/4英寸。4.如权利要求1所述的一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，所述的第一微孔（3）位于喷嘴主体（1）内侧壁体中部，孔径为1-2mm，第一微孔（3）间距为10mm-50mm，分布数量为4行×14列，且呈矩形分布。5.如权利要求1所述的一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，所述的第二第二微孔（4）位于喷嘴主体（1）内侧壁体第一微孔（3）两侧的区域，孔径为2.5-4mm，第二微孔（4）间距为10mm-50mm，分布分别为4行×14列，且呈矩形分布。6.如权利要求1所述的一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，所述的第一微孔（3）和在第二微孔（4）在喷嘴主体（1）内侧壁贯通与喷嘴中空结构连通。