技术总结
本发明公开了一种ALD用结构化喷嘴，其包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着、其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的微孔（3）和微孔（4）。本发明使得喷嘴与反应腔体结构高度融合，有效提升腔体内部气流均匀性，同时也节省腔体空间，方便拆装，便于清洗。
技术研发人员：何丹农;尹桂林;金彩虹;
受保护的技术使用者：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司;
文档号码：201610259120
技术研发日：2016.04.25
技术公布日：2016.08.03