冷却装置的制作方法

本发明涉及对冷却对象进行冷却的冷却装置。

背景技术：

成膜装置、蒸镀装置等真空处理装置具备低温机构，低温机构通过使装置内的气体凝结而将其捕捉，从而对真空处理装置内进行减压(例如，参照专利文献1)。另外，在真空处理装置中，使用例如通过热辐射对作为处理对象的基板进行冷却的冷却板(例如，参照专利文献2)。通过冷却板被在配置于冷却板的内部的配管流动的冷却水冷却，冷却板的与基板相对的相对面从基板吸热，从而冷却基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-166477号公报

专利文献2：日本特开2005-332619号公报

但是，还已知有一种冷却装置，冷却板与低温机构连接，冷却板被低温机构冷却。在这样的冷却装置中，由于作为冷却部件的冷却板还作为冷槽执行功能，所以冷却部件的与基板相对的相对面除了冷却基板，还成为气体凝结的对象。并且，当气体的凝结在冷却部件的相对面上进行时，相对面的辐射率下降，其结果，从基板吸热的效率也下降。

另外，这样的情况即使在冷却部件被包括上述的冷却水的冷媒冷却到气体凝结的程度的冷却装置也同样会产生。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却装置。

根据一个方式的冷却装置具备：冷却部件，其包括吸热面和凝结面；以及冷却部，其与所述凝结面连接。所述冷却部件包括第1部分和热阻比所述第1部分高的第2部分，在所述冷却部件中，在从所述凝结面朝向所述吸热面的方向上排列所述第1部分和所述第2部分。

根据上述构成，在冷却部件中的热传导率高的第2部分中，吸热面与凝结面之间的热传导被妨碍。因此，与整个冷却部件上的热阻相同的构成相比，在吸热面与凝结面之间容易形成稳定的温度差。由此，在凝结面上凝结气体的同时，在吸热面上则不容易凝结气体，其结果，抑制冷却装置中的冷却效率下降。

在一个实施方式中，所述冷却部件也可以由包括所述吸热面的吸热部件和包括所述凝结面的凝结部件构成。所述吸热部件也可以在与所述吸热面相反侧的位置上具有与所述凝结部件相对的吸热相对面，所述凝结部件也可以在与所述凝结面相反侧的位置上具有与所述吸热部件相对的凝结相对面。在这种情况下，优选地，所述吸热部件的所述吸热相对面与所述凝结部件的所述凝结相对面面接触。在该构成中，优选地，所述冷却部件上的被所述吸热相对面和所述凝结相对面夹着的区域是所述第2部分，所述冷却部件上的除了所述第2部分以外的部分是所述第1部分。

根据上述构成，由于吸热部件的吸热相对面与凝结部件的凝结相对面面接触，所以在吸热部件与凝结部件之间形成包括因这样的面接触而产生的热阻的第2部分。并且，凝结面与吸热面之间的热传导被作为吸热部件和凝结部件面接触的部分的第2部分大大地妨碍，所以在凝结面与吸热面之间容易形成稳定的温度差。

在一个实施方式中，所述冷却部件也可以由包括所述吸热面的吸热部件和包括所述凝结面的凝结部件构成，也可以是所述吸热部件以及所述凝结部件中的某一个是接触部件，另一个是被接触部件。在此，在将所述吸热面和所述凝结面分别称为功能面时，所述接触部件也可以包括位于所述接触部件的功能面相反侧的接触相对面和从所述接触相对面向所述被接触部件突出的凸部。在这种情况下，优选地，在所述接触部件上的与所述被接触部件接触的部位是所述凸部。所述被接触部件也可以包括位于所述被接触部件的功能面相反侧的被接触相对面。在这种情况下，优选地，所述凸部接触的部位被包含于所述被接触相对面。在该构成中，优选地，在所述冷却部件中的被所述接触相对面和所述被接触相对面夹着的、包括所述凸部的区域是所述第2部分，所述冷却部件上的除了所述第2部分以外的部分是所述第1部分。

根据上述构成，由于吸热部件与凝结部件的接触限定为吸热部件和凝结部件中的某一个所具有的凸部与其他部件的接触，所以在吸热部件与凝结部件之间的除了凸部以外的部分形成作为热阻的间隙。因此，在冷却部件形成包括这样的间隙的第2部分。因此，由于吸热部件与凝结部件之间的热传导被吸热部件与凝结部件之间的间隙显著地妨碍，所以在凝结面与吸热面之间容易形成稳定的温度差。

在一个实施方式中，所述吸热部件的形成材料优选为热传导率比所述凝结部件的形成材料低的材料。

根据上述构成，与吸热部件的形成材料和凝结部件的形成材料相同的构成相比，由于不容产生凝结面与吸热面之间的热传导，所以在凝结面与吸热面之间容易形成稳定的温度差。

在一个实施方式中，所述吸热面的至少一部分也可以具有黑色。

根据上述构成，在吸热面的黑色部分，与不具有黑色的部分相比，由于因辐射的吸热效率提高，所以整个吸热面的吸热效率提高。

在一个实施方式中，所述凝结面的表面粗度也可以比所述吸热面的表面粗度小。

根据上述构成，与凝结面的表面粗度为吸热面的表面粗度以上的构成相比，由于凝结面不容易吸热，所以与凝结面的温度不容易上升相对应地，在凝结面上容易产生气体的凝结。

附图说明

图1是将作为冷却装置的一个例子的低温冷却装置的一个实施方式与冷却对象一起示出的概要框图。

图2是示出低温冷却装置所具备的冷却部件的端面结构的示意图。

图3是示出冷却部件中的吸热部件与凝结部件的面接触的局部的局部放大剖视图。

图4是用于说明实施例中的冷却部件的吸热面与凝结面的温度差的示意图。

图5是示出变形例中的冷却部件的端面结构的示意图。

图6是示出变形例中的冷却装置的概要结构的框图。

图7是图6的冷却装置的概要俯视图。

具体实施方式

参照图1-图3对作为冷却装置的一个例子的低温冷却装置的一个实施方式进行说明。以下，依次对低温冷却装置的结构和低温冷却装置的实施例进行说明。

[低温冷却装置的结构]

参照图1对低温冷却装置10的结构进行说明。

低温冷却装置10具备：冷却部件11，其包括吸热面11a和凝结面11b；以及作为冷却部的一个例子的低温机构12，其与凝结面11b连接。冷却部件11包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件11中，第1部分和第2部分在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列。

在低温冷却装置10中，与整个冷却部件11的热阻相同的构成相比，由于在冷却部件11中的热阻高的第2部分上的吸热面11a与凝结面11b之间的热传导被妨碍，所以在吸热面11a与凝结面11b之间容易形成稳定的温度差。由此，在凝结面11b凝结气体的同时，在吸热面11a上则不容易凝结气体，其结果，抑制低温冷却装置10中的冷却效率下降。

低温冷却装置10安装于例如溅射装置、蒸镀装置等真空处理装置上。冷却部件11包括与冷却对象tg、例如真空处理装置中的处理对象相对的相对面，以作为吸热面11a，冷却部件11通过在从冷却对象tg分开的位置上吸收从冷却对象tg辐射出的热，从而对冷却对象tg进行冷却。

冷却部件11除了对冷却对象tg进行冷却的功能以外，还在凝结面11b发挥将安装有低温冷却装置10的空间内的气体凝结的功能。冷却部件11被低温机构12冷却，由此，凝结面11b被冷却到在空间内具有规定压力以上的分压的气体凝结的温度。凝结面11b的温度优选为例如被包含在90k以上且150k以下的范围内的温度。

第2部分在冷却部件11中具有相对高的热阻。第2部分优选为具有如下热阻：将凝结面11b与吸热面11a之间的温度差维持在例如50k以上且200k以下、且将凝结面11b的温度维持在例如90k以上且150k以下。另外，第2部分优选为具有将吸热面11a的温度维持200k程度的热阻。

低温机构12具备冷冻机12a和与冷冻机12a连接的低温面板组件12b。虽未予图示，但是低温面板组件12b包括多个低温面板和将多个低温面板包围的筒状的容器。

冷却部件11在从与吸热面11a相对的位置观察时，例如具有矩形板形状。低温面板组件12b在从与吸热面11a相对的位置观察时，例如在包括冷却部件11的中心的部分上与凝结面11b连接。

图2是示意性地示出冷却部件11的框图，在图2中，为了便于图示，与图1相比，缩小了冷却部件11的长度。

如图2所示，冷却部件11包括：吸热部件21，其包括吸热面11a；以及凝结部件22，其包括凝结面11b。吸热部件21在位于吸热面11a相反侧的位置具有与凝结部件22相对的吸热相对面21a，凝结部件22在位于凝结面11b相反侧的位置具有与吸热部件21相对的凝结相对面22a。吸热部件21的吸热相对面21a与凝结部件22的凝结相对面22a面接触。在冷却部件11中的被吸热相对面21a和凝结相对面22a夹着的区域是第2部分，冷却部件11的除了第2部分以外的部分是第1部分。

在冷却部件11中，吸热部件21的吸热相对面21a与凝结部件22的凝结相对面22a面接触。因此，吸热部件21与凝结部件22之间的区域包括因为这样的面接触而产生的热阻，该区域划分第2部分。并且，由于凝结面11b与吸热面11a之间的热传导被吸热部件21与凝结部件22面接触的部分较大地妨碍，所以在凝结面11b与吸热面11a之间容易形成稳定的温度差。

吸热部件21是具有矩形的金属制的板部件，并且凝结部件22也是具有矩形的金属制的板部件。

如图3所示，吸热部件21在吸热相对面21a上具有不小的表面粗度。另外，凝结部件22也在凝结相对面22a具有不小的表面粗度。因此，在吸热相对面21a与凝结相对面22a之间形成有微小的间隙g，吸热部件21与凝结部件22之间的热传导被微小的间隙g较大地妨碍。

在本例中，被吸热相对面21a和凝结相对面22a夹着的区域、且包括吸热相对面21a、凝结相对面22a以及微小的间隙g的区域是第2部分p2。并且，在冷却部件11中的除了第2部分p2以外的部分是第1部分p1。

也就是说，第1部分p1由吸热部件21的除了吸热相对面21a以外的部分和凝结部件22的除了凝结相对面22a以外的部分构成。该第1部分p1全部是金属部分。因此，第1部分p1是热阻比包括上述微小的间隙g的第2部分p2小的部分。

在冷却部件11中，在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上，第1部分p1、第2部分p2以及第1部分p1按该顺序排列。换句话来讲，在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上，第2部分p2被夹于2个第1部分p1之间。

为了在吸热部件21与凝结部件22之间形成微小的间隙g，在吸热部件21上，吸热相对面21a的表面粗度优选为大于吸热面11a的表面粗度。另外，在凝结部件22上,凝结相对面22a的表面粗度优选为大于凝结面11b的表面粗度。

吸热部件21和凝结部件22例如通过多个螺栓相互连接，各螺栓在吸热部件21与凝结部件22重叠的方向上贯通冷却部件11。

另外，只要能连接吸热部件21和凝结部件22，将吸热部件21和凝结部件22连接的部件也可以是螺栓以外的部件。作为连接部件，例如也可以采用与吸热部件21的吸热面11a和凝结部件22的凝结面11b抵接、且夹着吸热部件21和凝结部件22的夹持部件。

吸热部件21的形成材料优选为热传导率比凝结部件22的形成材料小的材料。根据这样的构成，与吸热部件21的形成材料和凝结部件22的形成材料相同(即、吸热部件21和凝结部件22的热传导率相同)的构成相比，由于不容易引起凝结面11b与吸热面11a之间的热传导，所以在凝结面11b与吸热面11a之间容易形成稳定的温度差。

吸热部件21的形成材料优选为例如不锈钢或者钛合金，且凝结部件22的形成材料优选为例如铜。

另外，在吸热部件21的形成材料的热传导率低于凝结部件22的形成材料的热传导率时，吸热部件21的厚度优选为大于凝结部件22的厚度。吸热部件21的厚度优选为例如0.1cm以上且100cm以下，并且凝结部件22的厚度优选为例如0.1cm以上且0.5cm以下。

优选地，吸热面11a的至少一部分具有黑色。在这种情况下，吸热面11a的黑色部分优选为具有0.8以上的辐射率。根据此结构，由于在吸热面11a的黑色部分，与不具有黑色的部分相比通过辐射产生的吸热效率高，所以整个吸热面11a的吸热效率提高。也就是说，吸热面11a的冷却效率高。

另外，更优选为整个吸热面11a具有黑色。若吸热部件21的形成材料是上述的不锈钢以及钛合金，例如能通过氧化吸热部件21的吸热面11a，将吸热面11a的颜色形成为黑色。另外，通过在吸热部件21上的位于与凝结部件22相对的面相反侧的面上涂布具有黑色的涂料，从而能形成具备了具有黑色的吸热面的涂膜。

在冷却部件11上，凝结面11b的表面粗度优选为小于吸热面11a的表面粗度。

在此，凝结面11b也可以是具有不改变凝结部件22的辐射率但是稍微改变凝结部件22的吸热量的程度的台阶的台阶面。或者，凝结面11b也可以是具有改变凝结部件22的辐射率的程度的微细的台阶的台阶面。此外，凝结面11b也可以是具有这2种台阶的双方的台阶面。即使是在凝结面11b具有这2种台阶中的某一个的情况下，也能通过将凝结面11b的台阶设定得比吸热面11a的台阶小，从而将凝结面11b上的吸热量设定得小。

因此，通过将凝结面11b的表面粗度设定得比吸热面11a的表面粗度小，从而与凝结面11b的表面粗度为吸热面11a的表面粗度以上的构成相比，凝结面11b不容易吸热。其结果，与凝结面11b的温度不容易上升相对应地，在凝结面11b上容易产生气体的凝结。

凝结面11b的表面粗度例如能通过对凝结面11b进行镜面加工而设定得比吸热面11a的表面粗度小。

[实施例]

参照图4，对低温冷却装置10中的一个实施例进行说明。以下，针对冷却部件11由吸热部件21和凝结部件22构成且整个凝结部件22通过低温机构12冷却为单一的温度的实施例进行说明。在该构成中，通过吸热部件21对来自冷却对象tg的热辐射进行吸热，从而在吸热面11a与凝结面11b之间形成规定的温度差。

在图4中，为了便于说明，示意性地示出了冷却部件11和低温机构12。另外，在图4中，吸热部件21和凝结部件22隔着间隙排列，但事实上如图3所示，吸热部件21与凝结部件22面接触。

如图4所示，冷却部件11由吸热部件21和凝结部件22构成，在凝结部件22连接有低温机构12。冷却部件11的吸热部件21具有厚度th。另外，吸热部件21(其形成材料)具有热传导率κ(w/(cm·k))。入射到吸热面11a的单位面积的热量(w/cm²)设定为q。

在此，将作为与吸热面11a相对的区域的相对区域的温度、即与吸热面11a相对的冷却对象tg的温度且在真空处理装置中进行处理期间中的稳定的温度设定为0℃以上且200℃以下。

另外，真空处理装置是上述的溅射装置，在冷却对象tg上通过在对冷却对象tg进行成膜处理的期间附着溅射粒子而产生热量输入。由此，在与吸热面11a相对的区域也产生热量输入。

并且，在相对区域的温度设定为0℃时，输入热量q为0.007；在相对区域的温度设定为30℃时，输入热量q为0.01；在相对区域的温度设定为100℃时，输入热量q为0.03；在相对区域的温度设定为200℃时，输入热量q为0.08。

在此，在冷却部件11中，吸热部件21的吸热面11a的温度为第1温度t1，吸热部件21的吸热相对面21a的温度为第1相对温度t1m，凝结部件22的凝结面11b的温度为第2温度t2，凝结部件22的凝结相对面22a的温度为第2相对温度t2m。

另外，凝结面11b与凝结相对面22a之间的温度差、以及吸热相对面21a与凝结相对面22a之间的温度差相比于吸热面11a与凝结面11b之间的温度差是能充分忽略的大小。因此，以下，将第2温度t2、第2相对温度t2m以及第1相对温度t1m视为大致相同的温度。

在该情况下，吸热面11a与凝结面11b之间的温度差(t1-t2)由吸热部件21的厚度th、吸热部件21的热传导率κ以及吸热面11a的单位面积的输入热量q确定，温度差(t1-t2)可用下面的式(1)来表示。

(t1-t2)＝q·(th/κ)…式(1)

在此，在进行吸热面11a上的吸热和凝结面11b上的凝结的观点来讲，温度差(t1-t2)优选为50k以上且200k以下。针对相对区域的温度为上述的0℃、30℃、100℃以及200℃的各情况下，在将温度差(t1-t2)设定为50k、100k以及200k中的任意一个时，只要将上述的式(1)中的th/κ设定为下面的表1中所示的值即可。

【表1】

也就是说，从上述式(1)以及上述的表1可以知道，吸热部件21的厚度th和热传导率κ只要选择满足下面的式(2)的范围即可。

5000/8≤th/κ≤200000/7…式(2)

另外，如上所述，在冷却部件11由相互面接触的吸热部件21和凝结部件22构成时，因为吸热部件21和凝结部件22的面接触而产生不小的热阻。因此，只要吸热部件21的厚度th和热传导率κ满足上述式(2)，吸热面11a与凝结面11b之间的温度差(t1-t2)就不低于所需值。

并且，通过将吸热部件21的厚度th以及热传导率κ选择为满足上述的式(2)的范围，从而使吸热部件21也能作为冷却部件11上的热阻发挥功能。由此，由于冷却部件11除了作为热阻发挥作用的第2部分p2，还具有同样作为热阻发挥作用的吸热部件21，所以在低温机构12运行时，在吸热面11a与凝结面11b之间容易形成稳定的温度差。

如上所述，根据冷却装置的一个实施方式，能得到以下列举的效果。

(1)在第2部分p2上，由于吸热面11a与凝结面11b之间的热传导被妨碍，所以在吸热面11a与凝结面11b之间容易形成稳定的温度差。由此，在凝结面11b上凝结气体的同时，在吸热面11a则不容易凝结气体，其结果，抑制低温冷却装置10中的冷却效率下降。

(2)由于凝结面11b与吸热面11a之间的热传导被作为吸热部件21与凝结部件22面接触的部分的第2部分p2大大地妨碍，所以在凝结面11b与吸热面11a之间容易形成稳定的温度差。

(3)由于吸热部件21的形成材料是热传导率比凝结部件22的形成材料低的材料，所以凝结面11b与吸热面11a之间的热传导不容易产生。因此，其结果，在凝结面11b与吸热面11a之间容易形成温度差。

(4)吸热面11a的至少一部分具有黑色。在本例中，吸热面11a的黑色部分具有0.8以上的辐射率。根据该结构，在吸热面11a的黑色部分，与不具有黑色的部分相比，辐射的吸热效率提高，所以整个吸热面11a的吸热效率提高。

(5)在凝结面11b的表面粗度比吸热面11a的表面粗度小的构成中，凝结面11b不容易吸热。因此，与凝结面11b的温度不容易上升相对应地，在凝结面11b上容易产生气体的凝结。

另外，上述的实施方式也能以如下的方式适当地变更并实施。

·凝结面11b的表面粗度也可以是吸热面11a的表面粗度以上。即使是这样的构成，只要冷却部件11包括第1部分p1和第2部分p2，在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列第1部分p1和第2部分p2，就能得到与上述(1)相等的效果。

·整个吸热面11a也可以是除了黑色以外的颜色、即构成吸热部件21的金属的颜色。即使是这样的构成，只要冷却部件11包括第1部分p1和第2部分p2，并且在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列第1部分p1和第2部分p2，就能得到与上述(1)相等的效果。

·吸热部件21的形成材料和凝结部件22的形成材料也可以是同一材料。即使是这样的构成，只要吸热部件21与凝结部件22面接触，冷却部件11也具有因面接触而产生的热阻部分、即第2部分p2，因此能得到与上述(2)相等的效果。

·吸热部件21的形成材料也可以是热传导率比凝结部件22的形成材料高的的材料。即使是这样的构成，只要吸热部件21与凝结部件22面接触，冷却部件11也具有因面接触而产生的热阻部分、即第2部分p2，因此能得到与上述(2)相等的效果。

·冷却部件11也可以是参照图5在下面进行说明的构成。

也就是说，如图5所示，冷却部件11由包括吸热面11a的吸热部件31和包括凝结面11b的凝结部件32构成。吸热面11a以及凝结面11b各自为功能面，吸热部件31和凝结部件32中的某一个是接触部件，另一个是被接触部件。在本变形例中，凝结部件32是接触部件的一个例子，吸热部件31是被接触部件的一个例子。

凝结部件32包括：凝结相对面32a，其是位于凝结面11b相反侧的接触相对面的一个例子；以及凸部32b，其从凝结相对面32a向吸热部件31突出。与吸热部件31接触的凝结部件32的部位是凸部32b。吸热部件31包括吸热相对面31a，吸热相对面31a是吸热面11a相反侧的被接触相对面的一个例子，吸热相对面31a包括凸部32b接触的部位。

在冷却部件11中，被吸热相对面31a和凝结相对面32a夹着的、包括凸部32b的区域是第2部分p2，冷却部件11上的第2部分p2以外的部分是第1部分p1。

根据这样的构成，能得到以下记载的效果。

(6)由于吸热部件31与凝结部件32的接触不限定为凸部32b与吸热部件31的接触，所以在吸热部件31与凝结部件32之间的除了凸部32b以外的部分形成作为热阻的间隙。因此，在冷却部件11形成有包括这样的间隙的第2部分p2。因此，由于吸热部件31与凝结部件32之间的热传导被吸热部件31与凝结部件32之间的间隙显著地妨碍，所以在凝结面11b与吸热面11a之间容易形成温度差。

·在之前使用图5说明的变形例中，吸热部件31也可以是接触部件，凝结部件32也可以是被接触部件。在这样的构成中，吸热部件31只要具有作为功能面的一个例子的、位于吸热面11a相反侧的面即吸热相对面31a和从吸热相对面31a向凝结部件32突出的凸部即可。另外，凝结部件32只要具有包括供吸热部件31的凸部接触的部位的凝结相对面32a即可。即使是该构成，能得到与上述(6)相等的效果。

·在冷却部件11上，吸热部件21也可以位于从凝结相对面22a离开的位置。换句话来讲，也可以在吸热部件21与凝结部件22之间形成间隙。在这样的构成中，只要冷却装置具有在吸热部件21和凝结部件22彼此分离的状态下对吸热部件21和凝结部件22的位置进行固定的固定部件、例如在热部件21和凝结部件22的排列方向上夹住吸热部件21和凝结部件22的夹持部件、将吸热部件21和凝结部件22包围的框部件即可。

根据此结构，由于吸热部件21与凝结部件22之间的热传导被位于吸热部件21与凝结部件22之间的间隙妨碍，所以在吸热面11a与凝结面11b之间容易形成稳定的温度差。另外，在该构成中，被吸热部件21的吸热相对面31a和凝结部件22的凝结相对面32a夹着的区域是第2部分。

另外，在吸热部件21与凝结部件22之间的热通过的大部分借助热辐射进行的情况下，固定部件优选为热传导率比冷却部件11低的部件、例如树脂制的部件。另外，固定部件也可以是金属制，只要是这样的构成，吸热部件21与凝结部件22之间的热传导也能通过固定部件来进行。

·第3部件也可以位于吸热部件21与凝结部件22之间，在该情况下，第3部件优选为热阻比吸热部件21以及凝结部件22高的部件。另外，在这样的构成中，吸热部件21与第3部件面接触的部分以及凝结部件22与第3部件面接触的部分是第2部分的一个例子。第3部件虽然可以是例如金属制的部件，但是优选为树脂制的部件。另外，第3部件是树脂制的部件时，将树脂制的粘合层作为第3部件而使用，也可以通过该粘合层粘接吸热部件21和凝结部件22。

或者是，吸热部件21、凝结部件22以及第3部件之中，吸热部件21和凝结部件22中的某一个也可以是热阻比其他部件高的部件。

即使是这样的构成，由于冷却部件11包括第1部分和第2部分，并且在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列有第1部分和第2部分，所以能得到与上述(1)相等的效果。

·冷却部件11也可以是如下的构成：由吸热部件21和凝结部件22构成、且吸热部件21与凝结部件22之间的热阻为与吸热部件21和凝结部件22各自的热阻相比能忽略的程度的小。在这样的构成中，吸热部件21和凝结部件22中的由热阻高的材料形成的部件是第2部分，由热阻低的材料形成的部件是第1部分。

·冷却部件11也可以由一个板部件构成。即使是这样的构成，一个板部件包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，并且在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列第1部分和第2部分即可。例如，只要冷却部件11由第1部分和第2部分构成、且第1部分的形成材料的组成与第2部分的形成材料的组成彼此相互不同的构成即可。并且，只要第2部分是热阻比第1部分高的部分即可。即使是这样的构成，能得到与上述(1)相等的效果。

·冷却部不限定为低温机构12，也可以是使用冷媒的冷却机构。

也就是说，如图6所示，冷却装置40具备冷却部件11和作为冷却部的一个例子的冷却机构41。冷却机构41具备供冷媒通过的管状的冷媒通道41a和与冷媒通道41a的2个端部连接的冷媒循环部41b，冷媒循环部41b将冷媒的温度保持为规定的温度，并且使冷媒在冷媒通道41a的一端与另一端之间循环。

如图7所示，在从与凝结面11b相对的位置观察时，冷媒通道41a具有多个折弯点，并具有在各折弯点上折弯的折线形状。冷媒通道41a固定于凝结面11b上。

即使是这样的构成，只要冷却部件11包括第1部分p1和第2部分p2，并且在从凝结面11b朝向吸热面11a的方向上排列有第1部分p1和第2部分p2，能得到与上述(1)相等的效果。

附图标记说明

10…低温冷却装置、11…冷却部件、11a…吸热面、11b…凝结面、12…低温机构、12a…冷冻机、12b…低温面板组件、21、31…吸热部件、21a、31a…吸热相对面、22、32…凝结部件、22a、32a…凝结相对面、32b…凸部、40…冷却装置、41…冷却机构、41a…冷媒通道、41b…冷媒循环部、p1…第1部分、p2…第2部分。