一种SiC膜通量恢复系统的制作方法

文档序号:12218513阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种SiC膜通量恢复系统,其特征在于,所述系统包括微波发生器(1)、波导(2)、SiC膜壳(3)、测温器(4),所述波导(2)一端与微波发生器(1)连接,另一端与SiC膜壳(3)通过孔口焊接连接,测温器(4)安装于SiC膜壳一侧。

2.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)产生的微波频率为915MHZ,2450MHZ,5800MHZ。

3.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)含有PLC,对微波发生器(1)实现智能控制;通过加热时间、加热温度及微波输出频率的设定控制微波发生器(1)的工作时间、微波输出功率及频率。

4.如权利要求3所述的系统,其特征在于所述微波发生器(1)加热温度设定范围为200~800℃,加热时间设定范围为10~240min。

5.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述SiC膜壳(3)材质为不锈钢。

6.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述测温器(4)为红外测温器,测温范围为0~1000℃。

7.如权利要求6所述的系统,其特征在于所述测温器(4)用于探测SiC膜壳(3)内SiC膜温度,并将探测的温度转换为模拟信号传输给微波发生器(1)所含的PLC。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1