一种SiC膜通量恢复系统的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种SiC膜通量恢复系统，所述系统包括微波发生器(1)、波导(2)、SiC膜壳(3)、测温器(4)。利用本实用新型的系统恢复SiC膜通量具有操作简单、膜通量恢复彻底迅速、费用低、不产生二次污染的优点。

技术研发人员：黄海波;周宏旺
受保护的技术使用者：上海昱沛环保科技有限公司
文档号码：201621188822
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.05.31