1.一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2)；放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永久磁铁；放电腔(2)远离真空室的一端安装有微波窗口(4)，微波窗口(4)与微波波导(5)一端连接，微波波导(5)另一端连接微波源(6)；载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8)，另一端连接放电腔(2)，并在放电腔(2)远离真空室(1)的一端开口；单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10)，另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口；真空排气管(11)设置在真空室(1)远离放电腔(2)的一侧，且连接真空泵(12)。
2.根据权利要求1所述的一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：所述放电腔(2)的直径为13cm-20cm，材质为金属。
3.根据权利要求1所述的一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：所述微波源(6)产生的微波频率为0.3-6GHz。
4.根据权利要求1所述的一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：所述微波源(6)能够连续输出微波或断续输出微波，微波源(6)断续输出微波时，微波输出时间为2-100μs，微波中断时间为1-100ms。
5.根据权利要求1所述的一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：所述电磁线圈或永久磁铁的磁感应强度B(T)满足公式B(T)＝0.0357f(GHz)，其中f(GHz)是微波频率。