一种自清洁过滤器的制作方法

本实用新型涉及晶圆制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种自清洁过滤器。

背景技术：

众所周知，过滤器是一种用于晶圆制造过程中，对产生的粉末进行收集并处理的装置，其在晶圆制造的领域中得到了广泛的使用；现有的过滤器包括风机、过滤布袋、左法兰和右法兰，风机输入端设置有过渡管，右法兰与过渡管固定连接，左法兰与右法兰螺装连接，左法兰输入端设置有吸气管，吸气管输出端与左法兰连接，过滤布袋安装在吸气管内部；现有的过滤器使用时，风机螺装至地面，左法兰和右法兰分别与吸气管和过渡管连接，左法兰和右法兰通过第一螺栓连接，风机转动带动吸气管输入端空气流动，吸气管输入端空气和粉末沿吸气管流动，通过过滤布袋时杂质留在过滤布袋内部，需要清理时，使用者将吸气管拆开进行清理；现有的过滤器使用中发现，较难实现自清洁，使用局限性较高；密封性较差，造成除尘效率低，使用可靠性较低；风机震动，故障率较高。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种方便进行自清洁，降低使用局限性；提高密封性，提高除尘效率，提高使用可靠性；减弱风机震动，降低故障率的自清洁过滤器。

本实用新型的一种自清洁过滤器，包括风机、左法兰和右法兰，风机输入端设置有过渡管，右法兰与过渡管固定连接，左法兰与右法兰螺装连接，左法兰输入端设置有吸气管，吸气管输出端与左法兰连接；还包括左吊杆、右吊杆、水槽、转轴、左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网，所述吸气管右侧壁设置有第一转动孔，第一转动孔圆周侧壁上设置有第一放置槽，第一放置槽处设置有第一O形圈，第一O形圈圆周侧壁与第一放置槽圆周侧壁连接，所述左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端左半区域和右半区域连接，左吊杆和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，所述左转盘和右转盘中央区域横向分别设置有第四转动孔和第五转动孔，所述左过滤网和右过滤网均呈圆柱状，左过滤网和右过滤网内部分别设置有左过滤腔和右过滤腔，左过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与左过滤腔连通，右过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第三连接口和第四连接口，第三连接口和第四连接口均与右过滤腔连通，左转盘和右转盘分别位于左过滤网内和右过滤网内，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，吸气管底端设置有清洗孔，所述水槽内部设置有清洗腔，水槽顶侧壁清洗口，清洗口与清洗腔连通，水槽顶端密封安装在清洗孔处，并且清洗口与清洗孔连通，水槽右侧壁底端和左侧壁上半区域分别设置有进水管和出水管，进水管和出水管上分别设置有进水阀门和出水阀门，左过滤网和右过滤网下半区域位于清洗腔内部，转轴右端设置有传动轴，传动轴左端与转轴右端连接，传动轴右端设置有电机，左转盘和右转盘分别横向设置有多组通气孔；还包括左固定环、右固定环、环形柔性膜、左环形卡圈、右环形卡圈、两组左固定板、两组右固定板、两组第一螺栓和两组第一螺母，所述吸气管和过渡管分别穿过左固定环和右固定环，并且吸气管和过渡管分别与左固定环和右固定环固定连接，所述环形柔性膜内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环和右固定环圆周外壁接触，所述左环形卡圈和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜外侧壁左半区域和右半区域接触，所述两组左固定板底端分别与左环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组左固定板中央区域分别设置有两组左固定孔，一组所述第一螺栓穿过两组左固定孔，一组所述第一螺母螺装至一组所述第一螺栓上，所述两组右固定板底端分别与右环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组右固定板前半区域分别设置有两组右固定孔，另一组所述第一螺栓穿过两组右固定孔，另一组所述第一螺母螺装至另一组所述第一螺栓上；还包括上底板、下底板、四组弹簧、四组第二螺栓、四组第二螺母和四组支腿，所述风机底侧壁与上底板顶侧壁接触，上底板顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组螺纹槽，四组螺纹槽内侧壁上分别设置有内螺纹，上底板左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上固定孔，所述下底板左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下固定孔，上底板底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上卡装槽，下底板顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下卡装槽，所述四组弹簧顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，每组所述第二螺栓均穿过一组上固定孔和一组下固定孔，每组所述第二螺母分别螺装至每组所述第二螺栓上，所述四组支腿顶端分别与下底板底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。

本实用新型的一种自清洁过滤器，所述水槽底端呈倾斜状。

本实用新型的一种自清洁过滤器，所述水槽底侧壁右半区域连通设置有排污管，排污管输出端连通设置有排污阀门。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括多组刷毛，所述多组刷毛分别安装在左过滤网和右过滤网圆周外壁上，并且部分多组刷毛与吸气管内侧壁接触。

本实用新型的一种自清洁过滤器，吸气管上连通设置有U形管，U形管中央区域底端连通设置有排水管，排水管输出端连通设置有排水阀门。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括支撑杆，所述支撑杆上半区域设置有贯通孔，贯通孔处设置有第三滚珠轴承，所述传动轴穿过第三滚珠轴承并且与第三滚珠轴承键连接。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括四组保护盖，所述四组保护盖中央区域分别设置有四组保护孔，四组保护盖分别安装在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承处。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括四组碟簧垫片，所述四组第二螺栓分别穿过四组碟簧垫片，四组碟簧垫片顶端均与下底板底侧壁接触，四组碟簧垫片底端分别与四组第二螺母顶端接触。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：转轴穿过第一转动孔，第一转动孔处设置有第一O形圈，第一O形圈有良好的密封性，降低转轴转动时吸气管内气体泄漏的可能性，左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端连接，左吊杆和右吊杆分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，左转盘和右转盘分别位于左过滤网和右过滤网内部，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，使用者将电机通电，电机转动带动传动轴转动，从而转轴在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承的作用下转动，转轴转动带动左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网转动，吸气管底端连通设置有水槽，水槽顶端密封安装在清洗孔处，使用者将进水管与外界水源连通，打开进水阀门和出水阀门，外界水源沿进水管进入水槽，左过滤网和右过滤网下半区域均位于水位以下，吸气管内粉末通过左过滤网和右过滤网时，粉末被拦截在左过滤网和右过滤网侧壁上，气体沿多组通气孔穿过左转盘和右转盘，气体沿多组通气孔穿过左转盘和右转盘，左过滤网和右过滤网转动，流动的水将左过滤网和右过滤网上杂质清洗掉，左过滤网和右过滤网协同作用实现双重过滤，提高过滤效果，脏水沿出水管流出水槽；左固定环和右固定环分别与吸气管和过渡管连接，并且左固定环和右固定环分别位于左法兰左侧和右法兰右侧，环形柔性膜内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环和右固定环外侧壁接触，左环形卡圈和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜外侧壁左半区域和右半区域接触，并且左环形卡圈和右环形卡圈分别与左固定环和右固定环间接接触，两组左固定板均与左环形卡圈连接，一组第一螺栓穿过两组左固定板，一组第一螺母螺装至一组第一螺栓上，将一组第一螺栓旋紧使两组左固定板、左环形卡圈、左固定环和环形柔性膜紧密接触，两组右固定板均与右环形卡圈连接，另一组第一螺栓穿过两组右固定板，另一组第一螺母螺装至另一组第一螺栓上，将另一组第一螺栓旋紧使两组右固定板、右环形卡圈、右固定环和环形柔性膜紧密接触，位于左固定环和右固定环之间的环形柔性膜呈松弛状态，左固定环、右固定环、环形柔性膜、吸气管和过渡管之间形成密闭空间，当风机开启时，左法兰和右法兰外部的空气沿左法兰和右法兰之间的空隙进入过渡管，环形柔性膜外部的空气不进入密闭空间内，从而环形柔性膜与左法兰和右法兰之间漏气的地方紧密贴合，提高密封性，提高除尘效率，提高使用可靠性；四组支腿底端均与地面连接，风机通过四组螺纹槽螺装至上底板，上底板和下底板分别设置有四组上卡装槽和四组下卡装槽，四组弹簧顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，四组第二螺栓均穿过上底板和下底板，四组第二螺母分别螺装至四组第二螺栓上，风机上下震动时，通过四组弹簧缓解抵消受到的力，减小风机震动幅度，调节四组螺母使上底板和下底板之间的距离改变可调节风机震动灵敏度，减弱风机震动，降低故障率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中A部的局部放大图；

图3是图1中B部的局部放大图；

图4是图1中C部的局部放大图；

图5是图1中D部的局部放大图；

图6是图1中E部的局部放大图；

图7是图1中F部的局部放大图；

图8是转轴和左转盘的连接示意左视图；

图9是图1中G部的局部放大图；

图10是吸气管、左固定环、左环形卡圈、左固定板、第一螺栓和第一螺母的连接示意左视图；

附图中标记：1、风机；2、左法兰；3、右法兰；4、过渡管；5、吸气管；6、左吊杆；7、水槽；8、转轴；9、左转盘；10、左过滤网；11、第一滚珠轴承；12、进水管；13、出水管；14、传动轴；15、左固定环；16、环形柔性膜；17、左环形卡圈；18、左固定板；19、第一螺栓；20、第一螺母；21、上底板；22、下底板；23、四组弹簧；24、四组第二螺栓；25、四组第二螺母；26、四组支腿；27、排污管；28、刷毛；29、U形管；30、排水管；31、支撑杆；32、第三滚珠轴承；33、保护盖；34、碟簧垫片。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图10所示，本实用新型的一种自清洁过滤器，包括风机1、左法兰2和右法兰3，风机1输入端设置有过渡管4，右法兰3与过渡管4固定连接，左法兰2与右法兰3螺装连接，左法兰2输入端设置有吸气管5，吸气管5输出端与左法兰2连接；其特征在于，还包括左吊杆6、右吊杆、水槽7、转轴8、左转盘9、右转盘、左过滤网10和右过滤网，吸气管5右侧壁设置有第一转动孔，第一转动孔圆周侧壁上设置有第一放置槽，第一放置槽处设置有第一O形圈，第一O形圈圆周侧壁与第一放置槽圆周侧壁连接，左吊杆6和右吊杆顶端分别与吸气管5内顶端左半区域和右半区域连接，左吊杆6和右吊杆下半区域分别设置有第二转动孔和第三转动孔，第二转动孔处和第三转动孔处分别设置有第一滚珠轴承11和第二滚珠轴承，左转盘9和右转盘中央区域横向分别设置有第四转动孔和第五转动孔，左过滤网10和右过滤网均呈圆柱状，左过滤网10和右过滤网内部分别设置有左过滤腔和右过滤腔，左过滤网10左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与左过滤腔连通，右过滤网左侧壁和右侧壁中央区域分别设置有第三连接口和第四连接口，第三连接口和第四连接口均与右过滤腔连通，左转盘9和右转盘分别位于左过滤网10内和右过滤网内，并且左转盘9和右转盘分别与左过滤网10和右过滤网固定连接，转轴8左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承11和第二滚珠轴承，转轴8与第一滚珠轴承11和第二滚珠轴承键连接，转轴8与左转盘9和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴8外侧壁固定连接，吸气管5底端设置有清洗孔，水槽7内部设置有清洗腔，水槽7顶侧壁清洗口，清洗口与清洗腔连通，水槽7顶端密封安装在清洗孔处，并且清洗口与清洗孔连通，水槽7右侧壁底端和左侧壁上半区域分别设置有进水管12和出水管13，进水管12和出水管13上分别设置有进水阀门和出水阀门，左过滤网10和右过滤网下半区域位于清洗腔内部，转轴8右端设置有传动轴14，传动轴14左端与转轴8右端连接，传动轴14右端设置有电机，左转盘9和右转盘分别横向设置有多组通气孔；还包括左固定环15、右固定环、环形柔性膜16、左环形卡圈17、右环形卡圈、两组左固定板18、两组右固定板、两组第一螺栓19和两组第一螺母20，吸气管5和过渡管4分别穿过左固定环15和右固定环，并且吸气管5和过渡管4分别与左固定环15和右固定环固定连接，环形柔性膜16内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环15和右固定环圆周外壁接触，左环形卡圈17和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜16外侧壁左半区域和右半区域接触，两组左固定板18底端分别与左环形卡圈17前半区域和后半区域顶端连接，两组左固定板18中央区域分别设置有两组左固定孔，一组第一螺栓19穿过两组左固定孔，一组第一螺母20螺装至一组第一螺栓19上，两组右固定板底端分别与右环形卡圈前半区域和后半区域顶端连接，两组右固定板前半区域分别设置有两组右固定孔，另一组第一螺栓19穿过两组右固定孔，另一组第一螺母20螺装至另一组第一螺栓19上；还包括上底板21、下底板22、四组弹簧23、四组第二螺栓24，四组第二螺母25和四组支腿26、风机1底侧壁与上底板21顶侧壁接触，上底板21顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组螺纹槽，四组螺纹槽内侧壁上分别设置有内螺纹，上底板21左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上固定孔，下底板22左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下固定孔，上底板21底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组上卡装槽，下底板22顶侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧分别设置有四组下卡装槽，四组弹簧23顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，每组第二螺栓24均穿过一组上固定孔和一组下固定孔，每组第二螺母25分别螺装至每组第二螺栓24上，四组支腿26顶端分别与下底板22底侧壁左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；转轴穿过第一转动孔，第一转动孔处设置有第一O形圈，第一O形圈有良好的密封性，降低转轴转动时吸气管内气体泄漏的可能性，左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端连接，左吊杆和右吊杆分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，左转盘和右转盘分别位于左过滤网和右过滤网内部，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，使用者将电机通电，电机转动带动传动轴转动，从而转轴在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承的作用下转动，转轴转动带动左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网转动，吸气管底端连通设置有水槽，水槽顶端密封安装在清洗孔处，使用者将进水管与外界水源连通，打开进水阀门和出水阀门，外界水源沿进水管进入水槽，左过滤网和右过滤网下半区域均位于水位以下，吸气管内粉末通过左过滤网和右过滤网时，粉末被拦截在左过滤网和右过滤网侧壁上，气体沿多组通气孔穿过左转盘和右转盘，左过滤网和右过滤网转动，流动的水将左过滤网和右过滤网上杂质清洗掉，左过滤网和右过滤网协同作用实现双重过滤，提高过滤效果，脏水沿出水管流出水槽；左固定环和右固定环分别与吸气管和过渡管连接，并且左固定环和右固定环分别位于左法兰左侧和右法兰右侧，环形柔性膜内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环和右固定环外侧壁接触，左环形卡圈和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜外侧壁左半区域和右半区域接触，并且左环形卡圈和右环形卡圈分别与左固定环和右固定环间接接触，两组左固定板均与左环形卡圈连接，一组第一螺栓穿过两组左固定板，一组第一螺母螺装至一组第一螺栓上，将一组第一螺栓旋紧使两组左固定板、左环形卡圈、左固定环和环形柔性膜紧密接触，两组右固定板均与右环形卡圈连接，另一组第一螺栓穿过两组右固定板，另一组第一螺母螺装至另一组第一螺栓上，将另一组第一螺栓旋紧使两组右固定板、右环形卡圈、右固定环和环形柔性膜紧密接触，位于左固定环和右固定环之间的环形柔性膜呈松弛状态，左固定环、右固定环、环形柔性膜、吸气管和过渡管之间形成密闭空间，当风机开启时，左法兰和右法兰外部的空气沿左法兰和右法兰之间的空隙进入过渡管，环形柔性膜外部的空气不进入密闭空间内，从而环形柔性膜与左法兰和右法兰之间漏气的地方紧密贴合，提高密封性，提高除尘效率，提高使用可靠性；四组支腿底端均与地面连接，风机通过四组螺纹槽螺装至上底板，上底板和下底板分别设置有四组上卡装槽和四组下卡装槽，四组弹簧顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，四组第二螺栓均穿过上底板和下底板，四组第二螺母分别螺装至四组第二螺栓上，风机上下震动时，通过四组弹簧缓解抵消受到的力，减小风机震动幅度，调节四组螺母使上底板和下底板之间的距离改变可调节风机震动灵敏度，减弱风机震动，降低故障率。

本实用新型的一种自清洁过滤器，水槽7底端呈倾斜状；水槽底端呈倾斜状，水中粉末沿水槽内底端高度较高的一端流动至高度较低的一端，方便使用者清理。

本实用新型的一种自清洁过滤器，水槽7底侧壁右半区域连通设置有排污管27，排污管27输出端连通设置有排污阀门；排污管与水槽底端高度较低的一端连通，定期打开排污阀门，使粉末和水沿排污管流出。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括多组刷毛28，多组刷毛28分别安装在左过滤网10和右过滤网圆周外壁上，并且部分多组刷毛28与吸气管5内侧壁接触；多组刷毛分别安装在左过滤网和右过滤网圆周外壁上，部分刷毛与吸气管内侧壁接触，降低粉末沿空隙通过左过滤网和右过滤网的可能性。

本实用新型的一种自清洁过滤器，吸气管5上连通设置有U形管29，U形管29中央区域底端连通设置有排水管30，排水管30输出端连通设置有排水阀门；穿过左过滤网和右过滤网的气体含有少量水分，气体到达U形管中央区域时，气体流速和方向改变，水在自身重力下积累在U形管内中央区域，定期打开排水阀门，使U形管内水沿排水管排出。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括支撑杆31，支撑杆31上半区域设置有贯通孔，贯通孔处设置有第三滚珠轴承32，传动轴14穿过第三滚珠轴承32并且与第三滚珠轴承32键连接；支撑杆需外界固定，支撑杆上设置有第三滚珠轴承，传动轴穿过第三滚珠轴承并且与第三滚珠轴承键连接，增强转轴转动过程中稳定性。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括四组保护盖33，四组保护盖33中央区域分别设置有四组保护孔，四组保护盖33分别安装在第一滚珠轴承11和第二滚珠轴承处；四组保护盖阻碍粉末进入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，提高使用稳定性。

本实用新型的一种自清洁过滤器，还包括四组碟簧垫片34，四组第二螺栓24分别穿过四组碟簧垫片34，四组碟簧垫片34顶端均与下底板22底侧壁接触，四组碟簧垫片34底端分别与四组第二螺母25顶端接触；碟簧垫片可以单个使用，又可以多个串联或并联使用，在上内缘和下外缘处承受沿轴向作用的静态或动态载荷，被压缩后产生变形，直至被压平，以储存能量形式作为活载荷，在必要时自动转化为密封所需要的附加压缩载荷，来降低使用中对上紧的持续要求。

本实用新型的一种自清洁过滤器，转轴穿过第一转动孔，第一转动孔处设置有第一O形圈，第一O形圈有良好的密封性，降低转轴转动时吸气管内气体泄漏的可能性，左吊杆和右吊杆顶端分别与吸气管内顶端连接，左吊杆和右吊杆分别设置有第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，左转盘和右转盘分别位于左过滤网和右过滤网内部，并且左转盘和右转盘分别与左过滤网和右过滤网固定连接，转轴左端穿过第一转动孔、第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第四转动孔、第五转动孔、第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与第一滚珠轴承和第二滚珠轴承键连接，四组保护盖阻碍粉末进入第一滚珠轴承和第二滚珠轴承，转轴与左转盘和右转盘固定连接，第一连接口、第二连接口、第三连接口和第四连接口内侧壁均与转轴外侧壁固定连接，使用者将电机通电，电机转动带动传动轴转动，从而转轴在第一滚珠轴承和第二滚珠轴承的作用下转动，转轴转动带动左转盘、右转盘、左过滤网和右过滤网转动，支撑杆上设置有第三滚珠轴承，传动轴穿过第三滚珠轴承并且与第三滚珠轴承键连接，吸气管底端连通设置有水槽，水槽顶端密封安装在清洗孔处，使用者将进水管与外界水源连通，打开进水阀门和出水阀门，外界水源沿进水管进入水槽，左过滤网和右过滤网下半区域均位于水位以下，吸气管内粉末通过左过滤网和右过滤网时，粉末被拦截在左过滤网和右过滤网侧壁上，气体沿多组通气孔穿过左转盘和右转盘，左过滤网和右过滤网转动，流动的水将左过滤网和右过滤网上杂质清洗掉，左过滤网和右过滤网协同作用实现双重过滤，脏水沿出水管流出水槽，水槽底端呈倾斜状，水中粉末沿水槽内底端高度较高的一端流动至高度较低的一端，排污管与水槽底端高度较低的一端连通，定期打开排污阀门，使粉末和水沿排污管流出，穿过左过滤网和右过滤网的气体含有少量水分，气体到达U形管中央区域时，气体流速和方向改变，水在自身重力下积累在U形管内中央区域，定期打开排水阀门，使U形管内水沿排水管排出，多组刷毛分别安装在左过滤网和右过滤网圆周外壁上，部分刷毛与吸气管内侧壁接触，左固定环和右固定环分别与吸气管和过渡管连接，并且左固定环和右固定环分别位于左法兰左侧和右法兰右侧，环形柔性膜内侧壁左半区域和右半区域分别与左固定环和右固定环外侧壁接触，左环形卡圈和右环形卡圈内侧壁分别与环形柔性膜外侧壁左半区域和右半区域接触，并且左环形卡圈和右环形卡圈分别与左固定环和右固定环间接接触，两组左固定板均与左环形卡圈连接，一组第一螺栓穿过两组左固定板，一组第一螺母螺装至一组第一螺栓上，将一组第一螺栓旋紧使两组左固定板、左环形卡圈、左固定环和环形柔性膜紧密接触，两组右固定板均与右环形卡圈连接，另一组第一螺栓穿过两组右固定板，另一组第一螺母螺装至另一组第一螺栓上，将另一组第一螺栓旋紧使两组右固定板、右环形卡圈、右固定环和环形柔性膜紧密接触，位于左固定环和右固定环之间的环形柔性膜呈松弛状态，左固定环、右固定环、环形柔性膜、吸气管和过渡管之间形成密闭空间，当风机开启时，左法兰和右法兰外部的空气沿左法兰和右法兰之间的空隙进入过渡管，环形柔性膜外部的空气不进入密闭空间内，从而环形柔性膜与左法兰和右法兰之间漏气的地方紧密贴合，四组支腿底端均与地面连接，风机通过四组螺纹槽螺装至上底板，上底板和下底板分别设置有四组上卡装槽和四组下卡装槽，四组弹簧顶端和底端分别插入四组上卡装槽内和四组下卡装槽内，四组第二螺栓均穿过上底板和下底板，四组第二螺母分别螺装至四组第二螺栓上，风机上下震动时，通过四组弹簧缓解抵消受到的力，减小风机震动幅度，调节四组螺母使上底板和下底板之间的距离改变可调节风机震动灵敏度，碟簧垫片可以单个使用，又可以多个串联或并联使用，在上内缘和下外缘处承受沿轴向作用的静态或动态载荷，被压缩后产生变形，直至被压平，以储存能量形式作为活载荷，在必要时自动转化为密封所需要的附加压缩载荷，来降低使用中对上紧的持续要求。

本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。本实用新型中所述“第一”、“第二”、“第三”以及类似的表述不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。