1.一种管腔内超声成像设备，包括：
柔性细长构件，其被配置为被定位在患者的身体管腔内，所述柔性细长构件包括近侧部分和远侧部分；以及
超声成像组件，其被设置在所述柔性细长构件的所述远侧部分，所述超声成像组件被配置为获得所述身体管腔的成像数据，所述超声成像组件包括换能器阵列，所述换能器阵列包括：
衬底，其被分成多个间隔开的段，
硬掩模层，其被设置在所述衬底上，以及
多行换能器元件，其被设置在所述硬掩模层上，
其中，所述衬底的所述多个间隔开的段中的每个段的至少一个侧壁包括沿彼此垂直的两个方向传播的波浪状特征。
2.根据权利要求1所述的管腔内超声成像设备，
其中，所述衬底包括硅，
其中，所述硬掩模层包括氧化硅。
3.根据权利要求1所述的管腔内超声成像设备，其中，所述多行换能器元件中的每个包括电容式微机械超声换能器(cmut)元件或压电微机械超声换能器(pmut)元件。
4.根据权利要求1所述的管腔内超声成像设备，
其中，所述超声成像组件还包括柔性互连件，
其中，所述多行换能器元件中的两行通过沟槽彼此间隔开，
其中，所述柔性互连件跨过所述沟槽，并且
其中，所述柔性互连件包括含有凹口的阵列的表面。
5.根据权利要求4所述的管腔内超声成像设备，还包括：
管状构件，其中，所述柔性互连件和所述换能器阵列被定位于所述管状构件的周围。
6.一种制造管腔内超声成像设备的方法，包括：
提供衬底，所述衬底在所述衬底的第一面上包括硬掩模；以及
在第一区域中形成穿过所述硬掩模的第一多个孔；
穿过所述第一多个孔蚀刻所述衬底，从而形成沟槽；
在第一多个孔上沉积材料层；
在与所述第一区域相邻的第二区域中形成多个超声换能器元件；以及
在所述第一区域和所述第二区域中在所述衬底上方形成柔性层。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述衬底是绝缘体上硅(soi)衬底。
8.根据权利要求6所述的方法，其中，提供所述衬底包括在所述衬底的第一侧上形成硬掩模。
9.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述第一区域中穿过所述硬掩模形成所述第一多个孔包括使用金属层作为蚀刻掩模来蚀刻所述硬掩模，所述金属层包括第二多个孔。
10.根据权利要求6所述的方法，其中，穿过所述第一多个孔蚀刻所述衬底包括使用深反应离子蚀刻(drie)穿过所述第一多个孔来蚀刻所述衬底。
11.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述第一多个孔上方沉积材料层包括使用等离子体增强化学气相沉积(pecvd)来沉积所述材料层。
12.根据权利要求6所述的方法，其中，在所述第二区域中形成所述多个超声换能器元件包括形成电容式微机械超声换能器(cmut)元件或压电微机械超声换能器(pmut)元件。
13.根据权利要求6所述的方法，还包括：
在所述衬底的第二侧上形成开口以暴露所述沟槽。
14.根据权利要求13所述的方法，还包括：
从所述第二侧通过所述开口去除在所述沟槽中暴露的所述材料层和所述硬掩模。
15.根据权利要求6所述的方法，还包括将沉积在所述第一多个孔上方的所述材料层平坦化。
16.一种管腔内超声成像设备，包括：
柔性细长构件，其被配置为被定位在患者的身体管腔内，所述柔性细长构件包括近侧部分和远侧部分；以及
超声成像组件，其被设置在所述柔性细长构件的所述远侧部分，所述超声成像组件被配置为获得所述身体管腔的成像数据，所述超声成像组件包括换能器阵列，所述换能器阵列包括：
衬底；
氧化硅层，其被设置在所述衬底上方，以及
多行微机械超声换能器元件，其被设置在所述氧化硅层上，
其中，所述多行微机械超声换能器元件中的两行由通过蚀刻穿过形成在所述氧化硅层中的屏蔽而形成的沟槽间隔开。