本发明涉及一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺。
背景技术：
通常而言，陶瓷介质表面的金属化工艺有化学沉积后镀ag、丝网印刷、整体浸渍ag等。对于高可靠，高q的微波器件，通常采用整体浸ag的金属化工艺。但整体浸ag对于器件内壁结构如：狭缝、盲孔、小孔、阶梯孔等效果不佳，难以实现内壁结构表面ag浆的均匀涂覆。
技术实现要素：
本发明所要解决的技术问题是：提供一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，该孔槽内壁金属化工艺能够让浆料均匀涂覆。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，包括如下步骤，
s1、利用喷头向孔槽内壁喷洒金属化用浆料；
s2、利用抽吹气装置对经过步骤s1的孔槽进行抽气和吹气。
本发明的有益效果在于：抽吹气装置的抽气和吹气动作能够让孔槽内壁表面的气流往复运动，从而消除局部区域金属化用浆料过度饱和的情况，使孔槽内壁金属化浆料流平，达到均匀涂覆的目的，进而提高器件结构的电学性能。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式予以说明。
本发明最关键的构思在于：抽吹气装置的抽气和吹气动作能够让孔槽内壁表面的气流往复运动，从而消除局部区域金属化用浆料过度饱和的情况。
一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，包括如下步骤，
s1、利用喷头向孔槽内壁喷洒金属化用浆料；
s2、利用抽吹气装置对经过步骤s1的孔槽进行抽气和吹气。
从上述描述可知，本发明的有益效果在于：抽吹气装置的抽气和吹气动作能够让孔槽内壁表面的气流往复运动，从而消除局部区域金属化用浆料过度饱和的情况，使孔槽内壁金属化浆料流平，达到均匀涂覆的目的，进而提高器件结构的电学性能。
进一步的，所述喷头为雾化喷头。
由上述描述可知，雾化喷头能够实现良好的雾化效果，使金属化用浆料能够更均匀地喷洒在孔槽内壁上。
进一步的，所述喷头呈管状，所述喷头的周壁上设有多个雾化孔，所述雾化孔的直径为100-200um，所述喷头的直径为0.8-3mm。
由上述描述可知，喷头结构简单、加工容易、制造成本低。
进一步的，所述抽吹气装置包括真空泵。
由上述描述可知，真空泵能够实现快速抽吹气循环，让孔槽内壁上的金属化用浆料可以更均匀地涂覆。
进一步的，步骤s1之前还包括步骤s0、将孔槽的深度方向调整为与器件结构所受重力方向一致。
由上述描述可知，在重力的作用下，金属化用浆料能够更均匀地涂覆在孔槽内壁上。
进一步的，步骤s2之后还包括步骤s3，对经过步骤s2的孔槽内壁进行烘干。
进一步的，步骤s3之后还包括步骤s4，检测孔槽内金属层的厚度，若所述金属层厚度小于预设厚度，则重复步骤s1至s4。
由上述描述可知，孔槽内壁上金属层的厚度管控容易。
实施例一
本发明的实施例一为：一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，特别适用于含有内壁结构(狭缝、盲孔、小孔、阶梯孔等)的陶瓷器件，包括如下步骤，s1、利用喷头向孔槽内壁喷洒金属化用浆料；s2、利用抽吹气装置对经过步骤s1的孔槽进行抽气和吹气。其中，所述喷头为雾化喷头。
容易理解的，步骤s2中，抽吹气装置的抽气动作和吸气动作既可以是单次的，也可以是多次的，厂商可以根据实际需要设置。进一步的，抽吹气装置的工作可视为一循环动作，单个循环节内抽气次数和吹气次数既可以相同也可以不相同。
本实施例中，所述喷头呈管状，所述喷头的周壁上设有多个雾化孔，所述雾化孔的直径为100-200um，所述喷头的直径为0.8-3mm。步骤s1中，喷头与具有稳定压力控制的压力装置相连，特别定制的喷头的端部具有类似于花洒的结构(即多个雾化孔)，可将金属浆料均匀打散喷出。
为让抽吹气装置能够实现快速地吹气与抽气，所述抽吹气装置包括真空泵。容易理解的，所述抽吹气装置还包括间歇控制的空气阀。
可选的，步骤s1之前还包括步骤s0、将孔槽的深度方向调整为与器件结构所受重力方向一致。重力作用与抽吹气装置的抽/吹气动作的配合能够进一步提高金属化用浆料涂覆的均匀性。
进一步的，步骤s2之后还包括步骤s3，(利用热风装置)对经过步骤s2的孔槽内壁进行烘干，从而在孔槽内壁形成金属层。
实施例二
本发明的实施例二为：一种器件结构的孔槽内壁金属化工艺，特别适用于含有内壁结构(狭缝、盲孔、小孔、阶梯孔等)的陶瓷器件，包括如下步骤，s1、利用喷头向孔槽内壁喷洒金属化用浆料；s2、利用抽吹气装置对经过步骤s1的孔槽进行抽气和吹气。其中，所述喷头为雾化喷头。
容易理解的，步骤s2中，抽吹气装置的抽气动作和吸气动作既可以是单次的，也可以是多次的，厂商可以根据实际需要设置。进一步的，抽吹气装置的工作可视为一循环动作，单个循环节内抽气次数和吹气次数既可以相同也可以不相同。
本实施例中，所述喷头呈管状，所述喷头的周壁上设有多个雾化孔，所述雾化孔的直径为100-200um，所述喷头的直径为0.8-3mm。步骤s1中，喷头与具有稳定压力控制的压力装置相连，特别定制的喷头的端部具有类似于花洒的结构(即多个雾化孔)，可将金属浆料均匀打散喷出。
为让抽吹气装置能够实现快速地吹气与抽气，所述抽吹气装置包括真空泵。容易理解的，所述抽吹气装置还包括间歇控制的空气阀。
可选的，步骤s1之前还包括步骤s0、将孔槽的深度方向调整为与器件结构所受重力方向一致。重力作用与抽吹气装置的抽/吹气动作的配合能够进一步提高金属化用浆料涂覆的均匀性。
进一步的，步骤s2之后还包括步骤s3，(利用热风装置)对经过步骤s2的孔槽内壁进行烘干，从而在孔槽内壁上形成金属层。步骤s3之后还包括步骤s4，检测孔槽内金属层的厚度，若所述金属层厚度小于预设厚度，则重复步骤s1至s4；优选所述预设厚度为一范围值，若检测到的所述金属层的厚度位于预设范围值内，则孔槽内壁金属化完成。换言之，孔槽内壁上的金属层可以一层一层地叠加，如此，金属层的厚度及均匀度更容易得到保证，进而提高器件的电性能。
综上所述，本发明提供的器件结构的孔槽内壁金属化工艺，利用重力作用配合抽吹气装置的抽/气动作能够让孔槽内壁表面的气流往复运动，从而消除局部区域金属化用浆料过度饱和的情况，使孔槽内壁金属化浆料流平，达到均匀涂覆的目的，进而提高器件结构的电学性能；孔槽内壁金属层可多次涂覆成型，利于保证金属层的尺寸精度，进一步提高金属化用浆料涂覆的均匀性。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。