一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置的制作方法

本发明涉及晶圆表面涂布技术领域，具体涉及一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置。

背景技术：

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，在晶圆加工过程中需要用到用于晶圆表面涂布的旋涂装置。

用于晶圆表面涂布的旋涂装置一般都是将晶圆放置在承载盘上，通过控制开关启动第一伸缩杆和第二伸缩杆对涂抹头进行调节，通过控制开关启动涂抹头，使涂抹头通过导管从储料筒内吸取涂料进行涂抹。但是传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差，在使用过程中一般都是通过人工将承载盘取出，即浪费时间又浪费人力。同时传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差，导致使用不方便。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，解决了传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差，在使用过程中一般都是通过人工将承载盘取出，即浪费时间又浪费人力，同时传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差，导致使用不方便的问题。

(二)技术方案

本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，包括机体，

承载盘，用于对晶圆进行放置；

辅助顶出装置，用于对承载盘进行辅助顶出；

支撑腿，用于对机体进行固定支撑；

活动门，用于对机体进行打开或关闭；

把手，用于对活动门进行驱动；

涂抹头，用于对晶圆表面进行涂布；

所述支撑腿呈圆柱体状，并且支撑腿共设置有四个；

所述把手长度设置为八厘米，并且把手外表面设置有一层防滑纹路。

进一步的，所述机体顶端中部设置有防尘罩，所述机体底部四端固定有支撑腿，所述机体前端面中部设置有控制开关，所述机体前端面上端设置有显示屏，并且显示屏与控制开关电连接，所述机体背面右端设置有电源线，并且电源线与控制开关电连接。

所述机体右端中部设置有活动门，所述活动门右端固定有把手，所述防尘罩内部设置有承载盘，所述机体顶部右后端固定有第一伸缩杆，并且第一伸缩杆与控制开关电连接，所述第一伸缩杆前端面上端设置有第二伸缩杆，并且第二伸缩杆与控制开关电连接。

所述第二伸缩杆底部前端设置有涂抹头，所述涂抹头右端设置有导管，所述机体内部右端安装有储料筒，并且导管与储料筒呈贯通结构，所述机体内中部安装有第一电机，并且第一电机与控制开关电连接，所述第一电机顶部设置有转盘，并且转盘与第一电机输出端转动连接，所述转盘内部等距嵌入有卡槽，所述承载盘底部等距固定有定位杆，并且定位杆与卡槽内侧面相插接，所述防尘罩内部下端左右水平相对设置有辅助顶出装置。

进一步的，所述辅助顶出装置包括第一活动块、驱动机构、第一连接件、导向杆、第二连接件、第二活动块、大齿轮、第一转轴和推杆，所述第一活动块内中部设置有驱动机构，所述第一活动块左右水平相对固定有第一连接件，所述导向杆贯穿于第一连接件中部，并且第一连接件与导向杆外表面下端滑动连接，所述第二连接件与导向杆外表面上端活动连接，所述第二活动块与第二连接件右端固定连接，所述大齿轮与第二活动块内中部转动连接，所述第一转轴贯穿于第二活动块中部，并且第一转轴贯穿于大齿轮右下端，所述推杆左右水平相对固定于第二活动块顶部，所述第一活动块与防尘罩内部左下端固定连接。

进一步的，所述驱动机构包括第二电机、第二转轴和小齿轮，所述第二电机右端设置有第二转轴，并且第二转轴与第二电机输出端转动连接，所述第二转轴贯穿于小齿轮下端，所述小齿轮与大齿轮外表面相互啮合，所述第二电机安装于第一活动块左端，所述第二转轴贯穿于第一活动块中部。

进一步的，所述导向杆呈圆柱体状，并且导向杆外表面设置为光滑平面。

进一步的，所述推杆长度设置为20厘米，并且推杆外表面粘接有一层防水防氧化层。

进一步的，所述第二转轴中心和第二电机输出端处于同一水平方向，并且第二电机带动第二转轴转动角度为360°。

进一步的，所述小齿轮呈圆形状，并且小齿轮直径设置为8厘米。

进一步的，所述推杆为碳钢材质。

进一步的，所述导管为软管材质。

(三)有益效果

本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：

1、为解决传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差的问题，通过在防尘罩内部下端左右水平相对设置了辅助顶出装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，第二活动块通过第二连接件在导向杆外表面进行滑动，第二活动块带动推杆进行活动，推杆带动承载盘进行活动，达到辅助顶出承载盘的效果。

2、为解决传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差的问题，通过在第一活动块内中部设置了驱动机构，通过控制开关启动第二电机，第二电机带动第二转轴进行转动，第二转轴带动小齿轮进行转动，小齿轮与大齿轮外表面相互啮合，小齿轮带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，达到驱动第二活动块的效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的正面剖视结构示意图；

图3为本发明的辅助顶出装置结构示意图；

图4为本发明的辅助顶出装置正视结构示意图；

图5为本发明的驱动机构正视结构示意图。

图中：机体-1、防尘罩-2、支撑腿-3、控制开关-4、显示屏-5、电源线-6、活动门-7、把手-8、承载盘-9、第一伸缩杆-10、第二伸缩杆-11、涂抹头-12、导管-13、储料筒-14、第一电机-15、转盘-16、卡槽-17、定位杆-18、辅助顶出装置-19、第一活动块-191、驱动机构-192、第一连接件-193、导向杆-194、第二连接件-195、第二活动块-196、大齿轮-197、第一转轴-198、推杆-199、第二电机-1921、第二转轴-1922、小齿轮-1923。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本发明提供一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置：

包括机体1，机体1呈现一个机台结构，本实施例中，呈现一个侧面为五边形(梯形与矩形组成的五边形)，顶面和底面为矩形的结构；

承载盘9，用于对晶圆进行放置；承载盘9设置在机体1顶面；

辅助顶出装置19，用于对承载盘9进行辅助顶出；

支撑腿3，用于对机体1进行固定支撑；

活动门7，用于对机体1进行打开或关闭；

把手8，用于对活动门7进行驱动；

涂抹头12，用于对晶圆表面进行涂布；

其中，所述支撑腿3呈圆柱体状，并且支撑腿3共设置有四个；

其中，所述把手8长度设置为八厘米，并且把手8外表面设置有一层防滑纹路。

其中，所述机体1顶端中部设置有防尘罩2(承载盘9设置在防尘罩2中)。所述机体1底部四端固定有支撑腿3，用于起到相应的支撑作用。所述机体1前端面中部设置有多个控制开关4，用于接受不同的控制操作。所述机体1前端面上端设置有显示屏5，并且显示屏5与控制开关4电连接，当进行不同的操作控制时，显示屏5对应显示不同的信息。

所述机体1背面右端设置有电源线6，并且电源线6与控制开关4电连接。

所述机体1右端中部设置有活动门7，所述活动门7右端固定有把手8。所述防尘罩2内部设置有承载盘9。

所述机体1顶部右后端固定有第一伸缩杆10，并且第一伸缩杆10与控制开关4电连接。所述第一伸缩杆10前端面上端设置有第二伸缩杆11，并且第二伸缩杆11与控制开关4电连接。所述第二伸缩杆11底部前端设置有涂抹头12，所述涂抹头12右端设置有导管13。所述机体1内部右端安装有储料筒14，并且导管13与储料筒14呈贯通结构。

所述机体1内中部安装有第一电机15，并且第一电机15与控制开关4电连接。

所述第一电机15顶部设置有转盘16，并且转盘16与第一电机15输出端转动连接，所述转盘16内部等距嵌入有卡槽17。所述承载盘9底部等距固定有定位杆18，并且定位杆18与卡槽17内侧面相插接。所述防尘罩2内部下端左右水平相对设置有辅助顶出装置19。

其中，所述辅助顶出装置19包括第一活动块191、驱动机构192、第一连接件193、导向杆194、第二连接件195、第二活动块196、大齿轮197、第一转轴198和推杆199。

所述第一活动块191内中部设置有驱动机构192，所述第一活动块191左右水平相对固定有第一连接件193，有利于对第一连接件193进行固定安装。所述导向杆194贯穿于第一连接件193中部，并且第一连接件193与导向杆194外表面下端滑动连接，所述第二连接件195与导向杆194外表面上端活动连接，有利于对第二连接件195进行固定安装，所述第二活动块196与第二连接件195右端固定连接。

所述大齿轮197与第二活动块196内中部转动连接，有利于对大齿轮197进行固定安装，所述第一转轴198贯穿于第二活动块196中部，并且第一转轴198贯穿于大齿轮197右下端，所述推杆199左右水平相对固定于第二活动块196顶部，所述第一活动块191与防尘罩2内部左下端固定连接。

其中，所述驱动机构192包括第二电机1921、第二转轴1922和小齿轮1923。所述第二电机1921右端设置有第二转轴1922，并且第二转轴1922与第二电机1921输出端转动连接，有利于对第二转轴1922进行固定安装。所述第二转轴1922贯穿于小齿轮1923下端，有利于对小齿轮1923进行固定安装。所述小齿轮1923与大齿轮197外表面相互啮合，所述第二电机1921安装于第一活动块191左端。所述第二转轴1922贯穿于第一活动块191中部。

其中，所述导向杆194呈圆柱体状，并且导向杆194外表面设置为光滑平面，以便于第二活动块196更好的在导向杆194外表面进行滑动。

其中，所述推杆199长度设置为20厘米，并且推杆199外表面粘接有一层防水防氧化层，防止经长时间使用导致推杆199外表面生锈或被氧化腐蚀。

其中，所述第二转轴1922中心和第二电机1921输出端处于同一水平方向，并且第二电机1921带动第二转轴1922转动角度为360°，以便于第二电机1921更好的带动第二转轴1922进行转动。

其中，所述小齿轮1923呈圆形状，并且小齿轮1923直径设置为8厘米，以便于达到更好的驱动的效果。

其中，所述推杆199为碳钢材质，具有含碳量越高则硬度越大，强度也越高的优点。

其中，所述导管13为软管材质，具有更强的韧性和延展性的优点。

本实施例中，所述的导管13为软管材质，是现代工业中的重要部件，软管主要用作电线、电缆、自动化仪表信号的电线电缆保护管和民用淋浴软管，规格从3mm到150mm，小口径软管(内径3mm-25mm)主要用于精密光学尺之传感线路保护、工业传感器线路保护，用途：机械制造、电气绝缘保护、照明设备、汽车制造，航空设备，地铁，火车、自动化控制等行业的电线电缆保护，特性：柔韧性好，抗扭曲，弯曲性能好，可承受较重的负载；耐酸、润滑油、冷却液等，表面有光泽，耐摩擦，可以承受脚踩的重压，不断裂，不变型，可以迅速恢复，并且本身无任何损伤。

本发明的一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置,其工作原理如下：

第一，首先将本装置移动至需要使用的地方，接着将电源线6插入电源处，将晶圆放置在承载盘9上；

第二，通过控制开关4启动第一伸缩杆10，第一伸缩杆10带动第二伸缩杆11进行活动，通过控制开关4启动第二伸缩杆11，第二伸缩杆11对涂抹头12进行调节，接着通过控制开关4启动第一电机15，第一电机15带动转盘16进行转动，转盘16带动承载盘9进行转动，通过控制开关4启动涂抹头12，涂抹头12通过导管13从储料筒14内部对涂料进行抽取，并对晶圆表面进行涂抹；

第三，当需要对承载盘9进行顶出时，通过控制开关4启动第二电机1921，第二电机1921带动第二转轴1922进行转动，第二转轴1922带动小齿轮1923进行转动，小齿轮1923与大齿轮197外表面相互啮合，小齿轮1923带动大齿轮197进行转动；

第四，大齿轮197带动第二活动块196进行活动，第二活动块196通过第二连接件195在导向杆194外表面进行滑动，第二活动块196带动推杆199进行活动，推杆199带动承载盘9进行活动，达到辅助顶出承载盘9的效果；

第五，当本装置使用完毕后，通过控制开关4关闭第一电机15和第二电机1921，通过把手8打开活动门7，将储料筒14取出并清洗，最后将电源线6从电源处拔出即可。

本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。