技术特征：
1.一种硼烷混合气加工处理装置，包括尾气供给单元(1)，其特征在于：所述尾气供给单元(1)输出端设有缓冲罐(3)，所述缓冲罐(3)一侧底部输出端设有处理箱(6)，所述处理箱(6)内部转动连接有两个搅拌杆(7)，所述处理箱(6)顶部设有箱盖(8)，所述箱盖(8)一侧设有出气管(9)，所述出气管(9)输出端设有吸收塔(10)，所述吸收塔(10)底部输出端设有循环水泵(11)，所述循环水泵(11)输出端设有输水管(12)，所述输水管(12)一端延伸至吸收塔(10)内部，所述输水管(12)一端设有喷淋头(13)，所述吸收塔(10)内部两侧均设有吸附球(16)，所述吸附球(16)数量设置为多个，所述吸收塔(10)内部设有吸附板(14)，所述吸附板(14)数量设置为多个，多个所述吸附板(14)内部均开设有多个通孔(15)，所述循环水泵(11)输出轴设有储槽(17)。2.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述箱盖(8)顶部设有盖把(18)，所述缓冲罐(3)顶部设有提拉块(4)。3.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述处理箱(6)底部设有支撑腿(21)，所述支撑腿(21)数量设置为多个，多个所述支撑腿(21)与处理箱(6)连接处均设有减震弹簧(20)。4.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述喷淋头(13)数量设置为多个，多个所述喷淋头(13)沿输水管(12)一端水平方向等距离分布。5.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述箱盖(8)与处理箱(6)连接处设有密封圈(19)，所述吸收塔(10)顶部设有排气风机(22)。6.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述处理箱(6)和吸收塔(10)外壁均开设有观察窗(23)，两个所述观察窗(23)内部均设有玻璃。7.根据权利要求1所述的一种硼烷混合气加工处理装置，其特征在于：所述缓冲罐(3)与尾气供给单元(1)之间设有阀门(2)，所述阀门(2)数量设置为多个，所述缓冲罐(3)与处理箱(6)之间设有阻火器(5)，所述阻火器(5)数量设置为两个。
技术总结
本实用新型公开了一种硼烷混合气加工处理装置，包括尾气供给单元，所述尾气供给单元输出端设有缓冲罐，所述缓冲罐一侧底部输出端设有处理箱，所述处理箱内部转动连接有两个搅拌杆，所述处理箱顶部设有箱盖，所述箱盖一侧设有出气管，所述出气管输出端设有吸收塔，所述吸收塔底部输出端设有循环水泵，所述循环水泵输出端设有输水管。本实用新型通过缓冲罐的设置，可以应对突发的大量尾气产生时尾气处理受制于装置的处理能力而直接排放，同时也可控制尾气的处理速率，并且可将尾气处理过程变为间歇性的以减少能耗、水耗，通过处理箱的设置，可将大部分尾气在预处理箱桶中处理，大大减轻吸收塔的处理压力。吸收塔的处理压力。吸收塔的处理压力。
技术研发人员：戴荣国
受保护的技术使用者：江苏安瑞森电子材料有限公司
技术研发日：2021.01.05
技术公布日：2021/9/24