来自喷嘴的喷出量的响应延迟得到若干改善，但其效果并不明显，仍然存在涂敷流体的线宽度因喷出量的响应延迟而发生变化的现象。
[0027]并且，在使用上述螺纹槽式分液器的专利文献2的技术中，在涂敷开始时使螺纹槽的旋转加速后，使其迅速地恢复到稳态旋转，在涂敷结束时，使螺纹槽的旋转快速减速到停止。但是，在专利文献2中并没有提到有关在涂敷中途改变喷嘴的移动速度的任何内容。并且，即使仅仅将在涂敷中途改变喷嘴的移动速度这一技术用于上述专利文献2中，有时涂敷流体的线宽度也会因喷出量的过冲(over shoo t )、下冲(undershoot)而发生变化。
[0028]并且，在使用上述带两自由度的致动器的分液器的专利文献2的技术中，在涂敷开始时以及结束时利用合成压力(将第一致动器所产生的挤压压力和螺纹式第二致动器所产生的栗压加在一起的压力)。但是，在专利文献2中，控制喷出量时不利用合成压力。
[0029]另一方面，如上所述，在涂敷在工件上的流体的线宽度在中途发生变化的情况下，在向细线部的区域涂敷流体时和向粗线部的区域涂敷流体时，需要更换涂敷装置的喷嘴。关于此点，能够使用专利文献3的喷嘴更换装置。但是，更换喷嘴仍然会使制造效率降低，喷嘴更换装置的设置会使设备成本上升。因此，期望能够在不更换喷嘴的情况下，涂敷流体。
[0030]并且，在上述顺序A中，需要先完成细线部，再完成粗线部。关于此点，为了进一步提高效率，期望能够通过对细线部以及粗线部的各个区域连续涂敷流体，来一次完成细线部以及粗线部。当要一次完成细线部以及粗线部时，需要在细线部的区域与粗线部的区域之间的各个边界改变电动机的转速，以改变喷出量。
[0031]图4A?图4C为示出了线宽度在中途发生变化时一次涂敷流体时的控制的一个例子的示意图。在这些图中，图4A示出了经过时间与移动速度之间的关系。图4B示出了经过时间与涂敷装置的电动机(动力源)的转速之间的关系。图4C示出了工件上的涂敷流体的形态。在图4A?图4C中示出了形成如上述图3所示的由第一细线部51d、粗线部51e以及第二细线部51f所构成的涂敷流体的状况。图4A?图4C所示的C位置以及D位置分别对应上述图3中所示的C位置以及D位置。在图4C中，用虚线示出了喷出量的响应延迟被抑制后的理想的涂敷流体的形态，阴影箭头表示涂敷方向。
[0032]如图4A所示，使喷嘴相对于工件的移动速度一定，如图4B所示，使电动机的转速在细线部区域与粗线部区域的各个边界发生变化。在以这样的喷嘴的移动速度以及电动机的转速涂敷流体时，如图4C所示，在细线部与粗线部之间的各个边界形成因喷出量的响应延迟而线宽度模糊变化的部分51g。因此，当使涂敷流体的线宽度在中途变化时，不能一次涂敷。
[0033]鉴于上述状况，本发明的目的在于:提供一种在使来自喷嘴的每个单位时间的流体的喷出量发生变动时能够抑制喷出量的响应延迟的流体涂敷系统以及流体涂敷方法。
解决课题所采用的手段
[0034]本发明的实施方式所涉及的流体涂敷系统为包括将流体喷到工件上的涂敷装置、使该涂敷装置与工件相对移动的移动装置和控制涂敷装置的控制装置的流体涂敷系统。
所述涂敷装置包括动力源、根据该动力源的输出而使每个单位时间的所述流体的供给量发生变化的流体供给装置和将从该流体供给装置所供给的所述流体喷到工件上的喷嘴。
所述控制装置在从涂敷开始到结束的过程中，通过调整所述动力源的输出来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量改变目标变动量时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该变化的量的方式，使所述动力源的输出为暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的值，然后使其为所述理论上的输出。
[0035]所述系统能够为如下结构:
所述控制装置在以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度为一定的方式，降低所述喷嘴相对于所述工件的移动速度，并根据该移动速度的降低来减少所述动力源的输出，以使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量改变目标变动量时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该降低的量的方式，使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行减少，然后使其为所述理论上的输出。
[0036]所述系统能够为如下结构:
所述控制装置在以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度为一定的方式，增加所述喷嘴相对于所述工件的移动速度，并根据该移动速度的增加来增加所述动力源的输出，以使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量增加目标变动量时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该上升的量的方式，使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行增加，然后使其为所述理论上的输出。
[0037]所述系统能够为如下结构:
所述控制装置在使所述喷嘴相对于所述工件的移动速度为一定的状态下，通过减少所述动力源的输出，来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量减少目标变动量，以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度伴随着该喷出量的减少而变细时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该降低的量的方式，使所述动力源的输出以暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行减少，然后使其为所述理论上的输出。
[0038]所述系统能够为如下结构:
所述控制装置在使所述喷嘴相对于所述工件的移动速度为一定的状态下，通过增加所述动力源的输出，来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量增加目标变动量，以使涂敷在所述工件上的流体的线宽度伴随着该喷出量的增加而变粗时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该上升的量的方式，使所述动力源的输出以暂时超过根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的方式进行增加，然后使其为所述理论上的输出。
[0039]所述系统能够为如下结构:
所述流体为具有压缩性的流体。
[0040]所述系统能够为如下结构:
所述流体供给装置包括相应于所述动力源的输出而运动的运动元件和形成收容所述运动元件且伴随着所述运动元件的运动来将流体送出的空间的空间形成部件。
[0041 ]所述系统能够为如下结构:
所述流体供给装置为单轴偏心螺杆栗，包括作为所述运动元件的外螺纹型转子和作为所述空间形成部件的内螺纹型定子。
[0042]所述系统能够为如下结构:
所述移动装置为使所述涂敷装置移动的多关节机器人。
[0043]本发明的实施方式的流体涂敷方法为利用流体涂敷系统来将流体涂敷到所述工件上的方法，该流体涂敷系统包括将流体喷到工件上的涂敷装置和使该涂敷装置与所述工件相对移动的移动装置。
所述涂敷装置包括动力源、根据该动力源的输出而使每个单位时间的所述流体的供给量发生变化的流体供给装置和将从该流体供给装置所供给的所述流体喷到工件上的喷嘴。
在从涂敷开始到结束的过程中，通过调整所述动力源的输出来使来自所述喷嘴的每个单位时间的所述流体的喷出量改变目标变动量时，
以使所述喷嘴的内压力的变化量成为根据所述喷出量的目标变动量所求出的所述喷嘴的内压力的应该变化的量的方式，使所述动力源的输出为暂时超出根据所述喷出量的目标变动量而求出的所述动力源的理论上的输出的值，然后使其为所述理论上的输出。
发明的效果
[0044]本发明的流体涂敷系统以及流体涂敷方法能够通过调整动力源的输
出而在使来自喷嘴的流体的喷出量发生变动时能够抑制喷出量的响应延迟。因此，在以涂敷流体的线宽度成为一定的方式对工件涂敷流体时，在改变喷嘴的移动速度的情况下，能够使涂敷流体的线宽度为一定。并且，在改变涂敷流体的线宽度来涂敷流体的情况下，能够防止在粗线部与细线部之间的边界形成线宽度模糊变化的部分，能够一次涂敷。
【附图说明】
[0045]图1为示出了依次使喷嘴相对于工件以直线状、圆弧状以及直线状移动时被涂敷在工件上的流体的形态的示意图。 图2A为示出了依次使喷嘴相对于工件以直线状、圆弧状以及直线状移动时，使喷嘴的移动速度发生变化时的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与移动速度之间的关系O
图2B为示出了依次使喷嘴相对于工件以直线状、圆弧状以及直线状移动时，使喷嘴的移动速度发生变化时的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与涂敷装置的电动机(动力源)的转速之间的关系。
图2C为示出了依次使喷嘴相对于工件以直线状、圆弧状以及直线状移动时，使喷嘴的移动速度发生变化时的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与来自喷嘴的喷出量之间的关系。
图2D为示出了依次使喷嘴相对于工件以直线状、圆弧状以及直线状移动时，使喷嘴的移动速度发生变化时的控制的一个例子的示意图，示出了工件上的涂敷流体的形态。
图3为示出了线宽度在中途发生变化时涂敷在工件上的流体的形态的示意图。
图4A为示出了线宽度在中途发生变化的情况下，一次涂敷流体时的控制的一个例子的图，示出了经过时间与移动速度之间的关系。
图4B为示出了线宽度在中途发生变化的情况下，一次涂敷流体时的控制的一个例子的图，示出了经过时间与涂敷装置的电动机(动力源)的转速之间的关系。
图4C为示出了线宽度在中途发生变化的情况下，一次涂敷流体时的控制的一个例子的图，示出了工件上的涂敷流体的形态。
图5为示出了根据喷嘴相对于工件的移动速度的变化来改变涂敷装置的电动机(动力源)的转速，由此控制喷出量时的经过时间与喷嘴的内压力之间的关系的示意图。
图6为示出了作为本发明的一实施方式的流体涂敷系统的结构例的示意图。
图7A为示出了本发明的第一实施方式中的喷出量的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与移动速度之间的关系。
图7B为示出了本发明的第一实施方式中的喷出量的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与涂敷装置的电动机(动力源)的转速之间的关系。
图7C为示出了本发明的第一实施方式中的喷出量的控制的一个例子的示意图，示出了经过时间与喷嘴的内压力之间的关系。
图7D为示出了本发明的第一实施方式中的喷出量的控制的一个例子的示意图，示