技术特征：
技术总结
本公开内容涉及用于纳米光子器件的光学计量。根据本公开内容的计量系统包括样本相机和参考相机，每个相机连接到配置有计算机处理器和计算机化存储器的至少一个计算机。可调光源被引导到经受样本相机成像的纳米光子器件，并且参考光源经受所述参考相机成像以在存储器中记录参考照明参数。所述计算机化存储器存储计算机可读软件命令，其从所述样本相机和所述参考相机收集各组图像数据，以通过比较所述各组图像数据来识别纳米光子器件的至少一个纳米光子特性。示例示出了用于以晶片级或卷对卷组件制造的线栅偏振器和其他器件的计量。
技术研发人员：S·V·斯瑞尼瓦桑;B·加夫利克;S·辛格尔
受保护的技术使用者：得克萨斯州大学系统董事会
技术研发日：2017.10.26
技术公布日：2019.08.16