技术特征：
技术总结
本发明提出一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械传感器设备配备有衬底(1)，该衬底具有膜片区域(M)，其中，在膜片区域(M)上构造有多个传感器层区域(S1‑S3)，所述传感器层区域具有相应的结构化传感器层(200；300；400)；和各个电极装置(L1a、L1b；L2a、L2b；L3a、L3b)，传感器层区域(S1‑S3)能够通过所述电极装置电连接所述膜片区域(M)的外部，其中，所述传感器层区域(S1‑S3)这样结构化，使得所述传感器层区域具有1到10微米之间的数量级的长度和宽度尺寸。
技术研发人员：A·克劳斯;E·普赖斯
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2018.01.09
技术公布日：2018.07.17