技术特征：
技术总结
本发明公开了一种近场耦合驱动的微机械悬臂梁执行器及其制作方法。包括衬底；绝缘介质层，所述绝缘介质层设置在所述衬底沿其厚度方向的一侧；固定件，所述固定件设置在所述绝缘介质层背离所述衬底的一侧；电感悬臂梁结构，所述电感悬臂梁结构与所述固定件连接，且所述电感悬臂梁结构悬空在所述绝缘介质层上方；激励电感结构，所述激励电感结构位于所述电感悬臂梁结构的上方，所述激励电感结构和所述电感悬臂梁结构之间形成电磁场的近场耦合；所述激励电感结构的两端用于连接交流信号源。本发明的微机械悬臂梁执行器采用无线方式工作，能在密闭环境或旋转环境等恶劣环境中工作，采用片上集成结构，具有体积小、响应快和可批量生产的优点。
技术研发人员：王立峰;董蕾;黄庆安
受保护的技术使用者：东南大学
技术研发日：2018.09.18
技术公布日：2019.02.01