技术特征：
技术总结
本发明提供一种微机电系统红外探测器，包括配置至少二垂直导电区的衬底，相对固定于衬底、配置至少二电极的热敏感器件，及数量与电极的数量相同，电连接电极与垂直导电区的导电引线；其中，衬底配置热绝缘层，热绝缘层位于热敏感器件于衬底的投影面处。本发明提供MEMS红外探测器的结构，热敏感器件用于接收红外辐射信号，输出电学感应信号，将热敏感器件上面朝向待探测区域，并于热敏感器件的下部的热绝缘层，并于下热敏感器件的下部设置引线结构，提高测量的精准度。基于此，本发明还提供了一种微机电系统红外探测器的制作方法。
技术研发人员：赵继聪;葛明敏;孙海燕;孙玲;方家恩
受保护的技术使用者：南通大学;成都锐杰微科技有限公司
技术研发日：2018.11.27
技术公布日：2019.03.01