一种非制冷红外焦平面探测器及其制备方法与流程

文档序号:17786113发布日期:2019-05-31 19:26阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开了一种非制冷红外焦平面探测器,包括基底层;位于所述基底层上表面的支撑层;位于所述支撑层背离所述基底层的表面的功能层,且所述功能层中的图形化热敏层的侧壁与所述功能层中的图形化电极层不接触;位于所述功能层背离所述支撑层的表面的钝化层。本申请中非制冷红外焦平面探测器,包括依次叠加的基底层、支撑层、功能层和钝化层,功能层中图形化热敏层的侧壁与功能层中的图形化电极层之间不产生接触,从而避免图形化热敏层两端接触孔直接相连造成图形化热敏层短路,提高非制冷红外焦平面探测器的良率和性能。此外,本申请还提供一种具有上述优点的非制冷红外焦平面探测器制备方法。

技术研发人员:孙传彬;陈文礼;杨水长;孙俊杰;张磊;战毅;董国强
受保护的技术使用者:烟台睿创微纳技术股份有限公司
技术研发日:2019.02.20
技术公布日:2019.05.31
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