技术总结
本发明提供了一种应用于高温压力传感器的金属微电极及其制备方法，该金属微电极包括：衬底；粘附层；形成在所述衬底上；至少一层金属层，位于所述粘附层上方；所述金属层的材料为铂族金属中的至少一种；金属焊接层，位于所述金属层的上方。该金属微电极为采用衬底、粘附层、金属层和金属焊接层形成的增强黏附性的低应力复合膜层，并且金属层采用耐高温难熔金属作为基础材料，提高了高温压力传感器的稳定性和可靠性。定性和可靠性。定性和可靠性。
技术研发人员：云世昌 孔延梅 焦斌斌
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2020.12.11
技术公布日：2021/4/12