改善电镀均匀性的方法与流程

文档序号:11507401阅读:3834来源:国知局
改善电镀均匀性的方法与流程
本发明涉及电镀
技术领域
,特别涉及一种改善电镀均匀性的方法。
背景技术
:图形电镀均匀性一直以来为业内生产难题,传统改善图形电镀均匀性的方法为增设阴极挡板进行整体的调整,但传统阴极挡板设计为大区域性整体屏蔽设计,只能对阴极电力线分布整体性的调节,无法进行精细化调整,这样容易导致原本镀层厚偏薄区域,因阴极挡板整体调整导致镀层厚度变得更薄,无法满足产品品质对图形电镀均匀性控制的要求。技术实现要素:本发明的目的在于提供一种改善电镀均匀性的方法,能够改善图形电镀均匀性,提高产品品质。为实现本发明的目的,采取的技术方案是:一种改善电镀均匀性的方法,包括以下步骤:在无阴极挡板的情况下,对裸板进行电镀;将完成电镀的板面平均划分为n个电镀区域;测量各个电镀区域的电镀层厚度xi,并计算电镀层厚度均值设定电镀层厚度均值对应的阴极挡板开孔率为f;计算阴极挡板对应各个电镀区域的开孔率该方法通过计算在无阴极挡板条件下,产品表面电镀层厚度的平均值,从而建立阴极挡板开孔设计的参考基准,并通过对产品表面电镀层厚度的分析,反推阴极板面电力线的分布,根据“相似性”原则对阴极挡板进行开孔设计,通过调整阴极挡板各个位置的开孔率,达到平衡阴极板面电力线的分布,进而有效地改善图形电镀的均匀性,提高产品品质,且该方法通用性强,适用于所有龙门电镀产线。下面对技术方案进一步说明:进一步的是,测量各个电镀区域的电镀层厚度后,将测量的数据拟合出电镀层厚度曲面分布图。便于对电镀层的厚度进行分析。进一步的是,计算阴极挡板对应各个电镀区域的开孔率后,将计算的数据进行均化整合,并拟合出阴极挡板开孔区域分布图。对计算的数据进行均衡整合,阴极挡板根据区域性进行开孔设计,便于阴极挡板的开孔制作,降低制作难度。进一步的是,阴极挡板的一个开孔区域对应n个电镀区域,该开孔区域的区域性开孔率其中,1≤n≤n。进一步的是,同一个开孔区域内的任意两个电镀区域对应的开孔率偏差值为d,其中0≤d≤3%。进一步的是,计算开孔区域的开孔面积s=f'×s,其中,s为开孔区域的总面积。进一步的是,开孔面积s=t×d,其中,t为开孔个数,d为开孔尺寸。进一步的是,其中,6mm≤d≤12mm。进一步的是,通过调整阴极挡板不同区域的开孔个数或开孔尺寸来调整对应的开孔率。进一步的是,其中,30%≤f≤60%。与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:本发明通过计算在无阴极挡板条件下,产品表面电镀层厚度的平均值,从而建立阴极挡板开孔设计的参考基准,并通过对产品表面电镀层厚度的分析,反推阴极板面电力线的分布,根据“相似性”原则对阴极挡板进行开孔设计,通过调整阴极挡板各个位置的开孔率,达到平衡阴极板面电力线的分布,进而有效地改善图形电镀的均匀性,提高产品品质,且该方法通用性强,适用于所有龙门电镀产线。附图说明图1是本发明实施例改善电镀均匀性的方法的流程示意图;图2是本发明实施例电镀层厚度曲面分布图;图3是本发明实施例阴极挡板开孔区域分布图。附图标记说明:10.电镀区域,20.开孔区域。具体实施方式下面结合附图对本发明的实施例进行详细说明:如图1所示,一种改善电镀均匀性的方法,包括以下步骤:在无阴极挡板的情况下,对裸板进行电镀;将完成电镀的板面平均划分为n个电镀区域10;测量各个电镀区域10的电镀层厚度xi,并计算电镀层厚度均值设定电镀层厚度均值对应的阴极挡板开孔率为f;计算阴极挡板对应各个电镀区域10的开孔率该方法通过计算在无阴极挡板条件下,产品表面电镀层厚度的平均值,从而建立阴极挡板开孔设计的参考基准,并通过对产品表面电镀层厚度的分析,反推阴极板面电力线的分布,根据“相似性”原则对阴极挡板进行开孔设计,通过调整阴极挡板各个位置的开孔率,达到平衡阴极板面电力线的分布,进而有效地改善图形电镀的均匀性,提高产品品质,且该方法通用性强,适用于所有龙门电镀产线。在本实施例中,参照表1,将完成电镀的板面平均划分为200个电镀区域10,各个电镀区域10的电镀层厚度xi,并如图2所示,将测量的数据拟合出电镀层厚度曲面分布图,便于对电镀层的厚度进行分析。电镀区域10的数量还可以根据板面的大小设定为其他值。表1为各个电镀区域10的电镀层厚度值。0.3760.3780.380.3810.3790.3760.3790.3780.3770.3860.3610.3620.3640.3630.3660.3620.3680.360.3670.3720.3590.3530.3620.360.350.3550.3510.3540.3680.3630.3560.3510.3550.3520.3510.3520.3490.3540.3590.3630.3460.3430.3530.3530.3550.3490.3480.3470.3510.3570.3310.3410.3470.3490.3540.3420.3430.3430.3550.3510.3330.3360.3460.3460.3460.3440.3450.3390.3530.3630.3350.3350.3390.3540.3480.3390.3430.3430.3480.3510.3480.340.3420.3410.3430.3450.3410.3350.3490.3550.3540.3440.3530.3510.3480.340.3440.3450.3570.3670.3740.3680.3710.3650.3650.3580.3580.3510.3660.3730.3680.3620.3660.3660.3590.360.3560.3510.3580.3680.3670.3650.360.370.3610.3640.3550.3540.3570.3670.370.3630.3690.3720.3680.3660.3610.3560.3760.3690.370.3720.3740.3750.3730.3670.3670.3690.3830.3820.3780.3720.380.3790.3780.3740.3750.3730.3870.3890.3840.3760.3760.3730.3830.3820.3830.380.3860.3870.3830.3840.3870.3880.3850.3830.3840.3790.3840.390.3970.3970.3980.3990.3950.390.3920.390.3920.3930.4160.4090.4170.4130.4150.4050.4040.3960.3950.391表1根据表1的测量数据,该实施例的电镀层厚度均值为0.365μm,并设定该电镀层厚度均值对应的阴极挡板开孔率为f为50%,开孔率f还可以根据阳极和阴极的距离、电镀设备和电镀参数等因素在30%-60%之间选择。通过开孔率f计算阴极挡板对应各个电镀区域10的开孔率fi,参照表2,并如图3所示,将计算的数据进行均化整合,并拟合出阴极挡板开孔区域分布图。表2为各个电镀区域10的开孔率fi。在本实施例中,经过均化整合后,阴极挡板被划分为四种开孔区域20,如图3所示,由不同的颜色区分不同的开孔区域20,该四种开孔区域20对应的开孔率范围分别为45%-48%、48%-50%、50%-53%、53%-55%,同一个开孔区域20内的任意两个电镀区域10对应的开孔率偏差值为d,其中0≤d≤3%。如图3所示,阴极挡板的一个开孔区域20对应n个电镀区域10,该开孔区域20的区域性开孔率其中,1≤n≤n。对计算的数据进行均衡整合,阴极挡板根据区域性进行开孔设计,便于阴极挡板的开孔制作,降低制作难度。52%52%52%52%52%52%52%52%52%53%49%50%50%50%50%50%50%49%50%51%49%48%50%49%48%49%48%48%50%50%49%48%49%48%48%48%48%48%49%50%47%47%48%48%49%48%48%48%48%49%45%47%48%48%48%47%47%47%49%48%46%46%47%47%47%47%47%46%48%50%46%46%46%48%48%46%47%47%48%48%48%47%47%47%47%47%47%46%48%49%48%47%48%48%48%47%47%47%49%50%51%50%51%50%50%49%49%48%50%51%50%50%50%50%49%49%49%48%49%50%50%50%49%51%49%50%49%48%49%50%51%50%51%51%50%50%49%49%52%51%51%51%51%51%51%50%50%51%52%52%52%51%52%52%52%51%51%51%53%53%53%52%52%51%52%52%52%52%53%53%52%53%53%53%53%52%53%52%53%53%54%54%55%55%54%53%54%53%54%54%57%56%57%57%57%55%55%54%54%54%表2最后计算各个开孔区域20的开孔面积s=f'×s,并根据开孔面积设计各个区域的开孔个数t和开孔尺寸d,完成阴极挡板的开孔设计,其中,开孔面积s=t×d,s为对应开孔区域20的总面积。在本实施例中,每个开孔区域20的开孔尺寸相同,d=10mm,便于阴极挡板的制作,通过调整不同开孔区域20的开孔个数来调整对应的开孔率f'。每个开孔区域20的开孔尺寸还可以根据实际需要在6mm-12mm之间设定成不同值,即通过调整阴极挡板不同开孔区域20的开孔个数或开孔尺寸来调整对应的开孔率。以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。当前第1页12
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