一种倾斜式电铸沉积装置的制作方法

文档序号:13442473阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种倾斜式电铸沉积装置,包括电铸槽单元、旋转阴极单元及象形阳极筐(11),其特征在于:所述的旋转阴极单元设置于电铸槽单元中间位置,电铸芯模单元固定在旋转阴极单元上,电铸芯模单元包括芯模轴(9)和电铸芯模(10),象形阳极筐设于电铸芯模(10)外围的环状空间内。

2.根据权利要求1所述的倾斜式电铸沉积装置,其特征在于:所述的电铸槽单元包括电铸槽(1)、溢流板(13)和楔形板支撑架(14),溢流板(13)固定在电铸槽中,楔形支撑架(14)右侧与电铸槽侧壁连接,下侧通过四个立柱(15)支撑,立柱(15)与电铸槽固定连接。

3.根据权利要求1所述的倾斜式电铸沉积装置,其特征在于:所述的旋转阴极单元包括底部支撑板(2)、电机支撑架(3)、旋转电机(4)、联轴器(5)、轴承座(6)、导电环(7)和连接主轴(8),底部支撑板(2)一侧与楔形板支撑架(14)连接,另一侧与电机支撑架(3)、轴承座(6)相连接,旋转电机(4)与电机支撑架(3)连接,连接主轴(8)设置于两个轴承座(6)上,通过联轴器(5)与旋转电机(4)相连接,导电环(7)固定在连接主轴(8)上,导电环(7)伸出的导线与电铸芯模(10)相连接。

4.根据权利要求1所述的倾斜式电铸沉积装置,其特征在于:所述的象形阳极筐(11)通过凹凸槽相嵌于两个象形阳极筐支撑架(12)上,象形阳极筐(11)与电铸芯模(10)间的间距为10mm,两个象形阳极筐支撑架(12)设置于电铸芯模(10)两侧,与底部支撑板(2)连接。

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