一种硅材料制作方法与流程

文档序号:19569562发布日期:2019-12-31 18:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅材料制作方法,其特征在于包括以下步骤:

s1,将cacl2-(2~5%)sio2-(2~5%)cao或cacl2-(1~5%)casio3原料加入石英坩埚中;在400~600℃真空烘干预处理24~48h,随后在高纯氩气850℃下保温24~48h;

s2,采用两个电极分别作为阴极和阳极,在1.5~2.5v电压下进行间歇性预电解12~72h,从而获得熔盐电解池系统;

s3,将所述电极缓慢插入所述熔盐电解池系统中;保护气氛为高纯氩气,然后采用恒电流、恒电压连续性电沉积制备高纯硅材料;定期加入1~5%的sio2或casio3构成电沉积体系;

s4,将所述电沉积所得阴极产物用去离子水清洗以去除残留熔盐,然后烘干后即得高纯硅材料。

2.根据权利要求1所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述方法采用廉价氧化钙、二氧化硅、三氧化二硼、三氧化二锑、硅酸钙为原料。

3.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述步骤s2还包括通过对所述熔盐电解池系统进行预电解净化,净化技术条件为两根规格相同的高纯碳棒作为阴极和阳极,在850℃和1.5~2.5v电压下进行预电解4~12h,然后取出电极并让熔盐体系保温静置8~12h后,采用新石墨电极重复此预电解步骤1~8次。

4.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,可通过在熔盐中定期加入适量b2o3作为掺杂元素,实现电沉积过程直接原位电掺杂制备p型硅膜。

5.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,可通过在熔盐中定期加入适量sb2o3作为掺杂元素,实现电沉积过程直接原位电掺杂制备n型硅膜。

6.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述的周期性加入sio2或casio3,可在电解池硅原料消耗后定期加入氯化钙中,时间为48~72h。

7.根据权利要求6所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述的定期加入sio2或casio3后,需静置24~48h。

8.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述用于电沉积的基体为高纯碳棒或碳片或金属及合金,保护装置为高纯石英管。

9.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述的电沉积条件为:恒电流10~20ma/cm2或脉冲电流条件下进行电沉积;所述脉冲电流条件为20-120s沉积电流为10-20ma/cm2;然后10-30s电流为0ma/cm2

10.根据权利要求1或2所述的电沉积制备高纯硅的方法,其特征在于,所述的电沉积制备高纯硅材料,其高纯硅材料包含太阳能级高纯硅膜、硅微纳米线、晶体硅粉。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1